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高纯氨生产工艺技术探讨 被引量:1
1
作者 尹建华 尹爱华 +3 位作者 梁雄 王小波 凌磊 张健 《化工管理》 2023年第5期146-148,共3页
随着半导体和LED的应用范围越来越广泛,高纯氨市场需求持续增加,为获取更多经济效益,众多气体制造企业和相关研究机构针对高纯氨生产工艺技术持续加大研发力度。现阶段已有完全过滤吸附型、完全精馏型、过滤吸附精馏型等多种生产工艺技... 随着半导体和LED的应用范围越来越广泛,高纯氨市场需求持续增加,为获取更多经济效益,众多气体制造企业和相关研究机构针对高纯氨生产工艺技术持续加大研发力度。现阶段已有完全过滤吸附型、完全精馏型、过滤吸附精馏型等多种生产工艺技术。基于此,文章以上述三种高纯氨生产工艺技术进行简要探究,并对不同生产工艺技术在产品纯度、纯化过程、充装过程等方面进行对比分析。 展开更多
关键词 高纯氨 生产工艺 技术
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高纯氨的大规模生产 被引量:6
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作者 孙福楠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期44-46,共3页
详细介绍了大规模生产高纯氨的工业方法,采用吸附-精馏提纯工艺是生产高质量高纯氨切实可行的方法。
关键词 吸附 精馏 高纯氨
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高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨 被引量:1
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作者 孙福楠 吴江红 冯庆祥 《低温与特气》 CAS 2007年第2期18-22,共5页
充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原... 充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原因进行探讨,并提出解决问题的方法。 展开更多
关键词 高纯氨 水积累 包装容器
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高纯氨中ppm级氧、氮、水及碳氢化合物的气相色谱分析 被引量:2
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作者 汪毓云 王淑娟 《低温与特气》 CAS 1985年第4期26-30,共5页
叙述了电子级高纯氨中ppm级O2、N2、H2O、碳氢化合物的气相色谱分析方法。用热导色谱法检测氨中微量O2和N2。当进样量为3ml时,其灵敏度为1ppm/mm;用氢焰转化色谱法检测氨中微量水和碳氢化合物时,其灵敏度水为0.3~0.5ppm/mm,碳氢化... 叙述了电子级高纯氨中ppm级O2、N2、H2O、碳氢化合物的气相色谱分析方法。用热导色谱法检测氨中微量O2和N2。当进样量为3ml时,其灵敏度为1ppm/mm;用氢焰转化色谱法检测氨中微量水和碳氢化合物时,其灵敏度水为0.3~0.5ppm/mm,碳氢化合物为0.2ppm/mm。 展开更多
关键词 碳氢化合物 高纯氨 M级 pp 气相色谱分析方法 色谱法 灵敏度 电子级 H2O 进样量 微量水 O2 N2 检测 氢焰
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高纯氨中金属颗粒杂质检测方法 被引量:1
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作者 姜阳 董翊 +1 位作者 李春华 陈鹰 《上海计量测试》 2014年第6期44-47,共4页
通过蒸发捕集法与溶液吸收法两种前处理方法,利用高分辨电感耦合等离子体质谱对高纯氨中痕量金属杂质进行上机检测。实验表明,双聚焦磁质谱对稀氨水中金属杂质方法检出限低达10-12级,对高纯氨中金属杂质方法检测限低于1×10-9 m/m... 通过蒸发捕集法与溶液吸收法两种前处理方法,利用高分辨电感耦合等离子体质谱对高纯氨中痕量金属杂质进行上机检测。实验表明,双聚焦磁质谱对稀氨水中金属杂质方法检出限低达10-12级,对高纯氨中金属杂质方法检测限低于1×10-9 m/m。方法便捷、准确,容易避免前处理污染,可以作为高纯氨中金属杂质检测的有效手段。 展开更多
关键词 高纯氨 金属杂质 ICP-MS 溶液吸收法 检出限
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50例中度及以上膝关节骨关节病患者口服“蓝湾高纯氨糖”80天疗效观察 被引量:1
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作者 田得祥 汪永利 《中国卫生产业》 2012年第24期77-77,共1页
本文旨在观察口服"蓝湾高纯硫酸氨糖"对骨关节炎的疗效,为进一步推广应用提供临床依据。对50例患者,经80d观察后其结果显示,总有效率约为94.23%。这表明口服"蓝湾氨糖胶囊"、"蓝湾润节牌氨糖软骨素"对骨... 本文旨在观察口服"蓝湾高纯硫酸氨糖"对骨关节炎的疗效,为进一步推广应用提供临床依据。对50例患者,经80d观察后其结果显示,总有效率约为94.23%。这表明口服"蓝湾氨糖胶囊"、"蓝湾润节牌氨糖软骨素"对骨关节炎有明显的消除肿胀,缓解疼痛,改善关节功能的作用。 展开更多
关键词 高纯氨 骨关节炎
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催化分解方法分析高纯氨中微量水分含量
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作者 董翊 姜阳 《上海计量测试》 2014年第1期34-36,共3页
研究高纯氨中微量水分的测试。采用催化分解氨的方法得到氢气和氮气,测试氢氮混合气中的水分,用氦离子放电气相色谱仪检测得到氨中氧含量,换算可以得到高纯氨中的水含量。
关键词 催化分解 高纯氨 微量水分
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高纯氨装卸管路问题的探讨 被引量:3
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作者 沈钦赐 《化工管理》 2020年第20期118-119,共2页
随着国内经济的发展,电子工业和半导体工业正逐步崛起。高纯氨是一种高纯气体。其生产过程的自动化程度和精度远高于普通氨相关企业。国家有关法律法规滞后于高纯氨装卸生产管理需要,政府有关部门对氨装卸的要求过于笼统,脱离了高纯氨... 随着国内经济的发展,电子工业和半导体工业正逐步崛起。高纯氨是一种高纯气体。其生产过程的自动化程度和精度远高于普通氨相关企业。国家有关法律法规滞后于高纯氨装卸生产管理需要,政府有关部门对氨装卸的要求过于笼统,脱离了高纯氨生产的现状,这给高纯氨企业的正常生产带来了困难。讨论制定高纯氨装卸设备条件和操作技术标准迫在眉睫。 展开更多
关键词 高纯氨 太阳能 LED 7N ppb 氦检漏率
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高纯氨生产工艺技术探讨 被引量:1
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作者 沈钦赐 《新型工业化》 2020年第10期40-41,共2页
随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大。通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势。
关键词 半导体 LED 高纯氨 7N 生产工艺
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20ft高纯氨罐式集装箱的设计 被引量:5
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作者 祝军 《能源研究与管理》 2015年第1期92-94,共3页
主要介绍一种装载高纯度液氨的罐式集装箱,罐箱采用德国进口外电加热设备和内置加热盘管技术在运营过程中实现快速装卸货物,罐内与高纯氨的接触面都进行抛光处理,确保高纯氨在罐内不受污染保证高纯度。
关键词 高纯氨 罐式集装箱 设计 抛光
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高纯氨(99.99994%) 被引量:1
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《中国集成电路》 2009年第4期49-49,67,共2页
大连保税区科利德化工科技开发有限公司的高纯氨(99.99994%)荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。
关键词 高纯氨 创新产品 科技开发 半导体 保税区 化工
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空气产品公司在华投产全球最大高纯氨现场制气工厂
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《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期144-145,共2页
12月15日,空气化工产品公司(AirProducts,简称空气产品公司)宣布已在中国安徽省芜湖市投产一座现场大规模制氨工厂,为三安光电旗下子公司安徽三安光电有限公司提供超高纯度氨气。工厂位于三安光电在芜湖经济技术开发区新建的高亮度... 12月15日,空气化工产品公司(AirProducts,简称空气产品公司)宣布已在中国安徽省芜湖市投产一座现场大规模制氨工厂,为三安光电旗下子公司安徽三安光电有限公司提供超高纯度氨气。工厂位于三安光电在芜湖经济技术开发区新建的高亮度LED制造基地,年产2000t气体,是全球首座也是规模最大的超高纯氨现场制气工厂。 展开更多
关键词 化工产品 高纯氨 工厂 空气 制气 投产 经济技术开发区 高亮度LED
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高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法
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《低温与特气》 CAS 2016年第4期4-4,共1页
申请(专利)号:201610219093.6公开(公告)日:2016-08-17申请(专利权)人:海宁市英德赛电子有限公司摘要:本发明公开了一种高纯氨充装系统及利用该充装系统充装高纯氨的充装方法,充装系统包括产品缓冲罐、产品罐和冷却装置,... 申请(专利)号:201610219093.6公开(公告)日:2016-08-17申请(专利权)人:海宁市英德赛电子有限公司摘要:本发明公开了一种高纯氨充装系统及利用该充装系统充装高纯氨的充装方法,充装系统包括产品缓冲罐、产品罐和冷却装置,产品缓冲罐连接高纯氨生产线的采出端,其上装有第一液位计,产品缓冲罐的液相接口通过第一液相管线与产品罐的液相接口连接。 展开更多
关键词 充装系统 高纯氨 利用 接口连接 产品罐 缓冲罐 冷却装置 专利权
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跨国高纯氨企业大举扩产
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《低温与特气》 CAS 2011年第6期48-48,共1页
随着中国电子工业以及光伏产业的快速发展,市场对高纯氨的需求强劲增长。为顺应这一市场趋势,日本昭和电工、住友精化公司以及德国林德公司等近来迅速在中国设立生产基地,同时扩大日本和中国台湾的生产能力,增加仓储及配送等物流设... 随着中国电子工业以及光伏产业的快速发展,市场对高纯氨的需求强劲增长。为顺应这一市场趋势,日本昭和电工、住友精化公司以及德国林德公司等近来迅速在中国设立生产基地,同时扩大日本和中国台湾的生产能力,增加仓储及配送等物流设施,以满足市场的旺盛需求。 展开更多
关键词 高纯氨 日本昭和电工 扩产 企业 市场趋势 光伏产业 电子工业 生产基地
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昭和电工扩产东亚地区高纯氨产能
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作者 本刊编辑部 《低温与特气》 CAS 2011年第4期36-36,共1页
据报道,昭和电工表示,为了满足电子行业需求日益增长,将扩大中国,日本和台湾地区生产厂高纯度合成氨生产能力总计2000 t/a。其中日本川崎基地生产能力将由1000 t/a扩大至1500 t/a;位于台湾台南的台湾昭和化学品公司产能将从1500 t/a扩大... 据报道,昭和电工表示,为了满足电子行业需求日益增长,将扩大中国,日本和台湾地区生产厂高纯度合成氨生产能力总计2000 t/a。其中日本川崎基地生产能力将由1000 t/a扩大至1500 t/a;位于台湾台南的台湾昭和化学品公司产能将从1500 t/a扩大到2500 t/a; 展开更多
关键词 生产能力 昭和电工 东亚地区 高纯氨 扩产 台湾地区 行业需求 合成
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电子级高纯氨研制成功
16
作者 冯庆祥 孔祥芝 《低温与特气》 CAS 1984年第4期74-74,共1页
高纯氨是电子工业所需重要气体之一,主要用于生成高质量的氮化硅薄膜。如果氨的纯度低,氮化硅薄膜中将会出现其它硅化物,如碳化硅、氧化硅等,从而使微电子元件品质下降,甚至成为废品。
关键词 高纯氨 化工部光明化工研究所 电子级 中国
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高纯氨生产工艺技术探讨
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作者 梁雄 尹爱华 +1 位作者 王小波 谢小明 《新型工业化》 2022年第10期236-239,共4页
以工业氨为原料,采用多级吸附、低温精馏以及超滤相结合的纯化方法精制高纯超净氨,产品纯度达到99.9999%以上,同时建立与美国蓝氨技术指标相当的企业标准,建立气体杂质、金属杂质的分析方法,形成规模化生产能力,生产的高纯氨满足氮化镓... 以工业氨为原料,采用多级吸附、低温精馏以及超滤相结合的纯化方法精制高纯超净氨,产品纯度达到99.9999%以上,同时建立与美国蓝氨技术指标相当的企业标准,建立气体杂质、金属杂质的分析方法,形成规模化生产能力,生产的高纯氨满足氮化镓制造工艺的使用要求。 展开更多
关键词 半导体 高纯氨 生产工艺
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空气产品在华投产全球首座最大规模高纯氨现场制气工厂以支持快速发展的LED产业
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《上海化工》 CAS 2012年第1期47-47,共1页
空气化工产品公司(Air Products,简称空气产品公司)最近宣布已在中国安徽省芜湖市投产一座现场大规模制氨工厂,为三安光电旗下子公司安徽三安光电有限公司提供超高纯度氨气。工厂位于三安光电在芜湖经济技术开发区新建的高亮度发光... 空气化工产品公司(Air Products,简称空气产品公司)最近宣布已在中国安徽省芜湖市投产一座现场大规模制氨工厂,为三安光电旗下子公司安徽三安光电有限公司提供超高纯度氨气。工厂位于三安光电在芜湖经济技术开发区新建的高亮度发光二级管(LED)制造基地,可生产2000t/a气体,是全球首座也是规模最大的超高纯氨现场制气工厂。 展开更多
关键词 化工产品 高纯氨 LED产业 工厂 最大规模 空气 制气 首座
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昭和电工扩增中国高纯氨能力
19
作者 CE 《精细石油化工进展》 CAS 2014年第5期43-43,共1页
昭和电工公司于2014年1月30日表示,扩增该公司旗下的浙江衢州昭和电子化学材料子公司位于衢州的高纯氨生产能力,高纯氨是用于半导体生产的特种气体公司,该能力将从1 000吨/年扩增至2 000吨/年。扩增能力已于2014年1月投入操作。随着中... 昭和电工公司于2014年1月30日表示,扩增该公司旗下的浙江衢州昭和电子化学材料子公司位于衢州的高纯氨生产能力,高纯氨是用于半导体生产的特种气体公司,该能力将从1 000吨/年扩增至2 000吨/年。扩增能力已于2014年1月投入操作。随着中国的扩能,使昭和电工公司高纯氨的总能力达到60000吨/年。 展开更多
关键词 昭和电工公司 生产能力 高纯氨 中国 半导体生产 特种气体 衢州
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空气产品公司在中国投产全球首座且最大规模高纯氨现场制气工厂以支持快速发展的LED产业
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《现代显示》 2012年第1期14-14,共1页
空气化工产品公司(Air Products,简称空气产品公司)2011年12月15日宣布已在中国安徽省芜湖市投产一座现场大规模制氨工厂,为三安光电旗下子公司安徽三安光电有限公司提供超高纯度氨气。工厂位于三安光电在芜湖经济技术开发区新建的... 空气化工产品公司(Air Products,简称空气产品公司)2011年12月15日宣布已在中国安徽省芜湖市投产一座现场大规模制氨工厂,为三安光电旗下子公司安徽三安光电有限公司提供超高纯度氨气。工厂位于三安光电在芜湖经济技术开发区新建的高亮度LED制造基地,年产2,000公吨气体,是全球首座也是规模最大的超高纯氨现场制气工厂。 展开更多
关键词 化工产品 高纯氨 LED产业 工厂 最大规模 空气 制气 首座
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