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高纯氯气与铝加工技术 被引量:2
1
作者 孔祥芝 黄平 +2 位作者 唐剑 段玉波 陆政 《低温与特气》 CAS 2000年第1期13-17,共5页
概述了高纯氯气对铝加工技术的重要性 ,实践证明 ,铝熔体净化用高纯气体技术指标的优劣对铝材质量影响很大。
关键词 高纯氯气 金属净化 铝熔体 加工技术
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高纯氯气生产过程中能量的循环利用 被引量:1
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作者 王武 阮建青 马玉斌 《中国氯碱》 CAS 2009年第8期29-30,共2页
介绍了氯气低压液化和液氯气化两个过程的能量循环利用方法,为高纯氯气的生产提供了节能途径。
关键词 节能 高纯氯气 循环利用
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高纯氯气中痕量水的分析
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作者 刘忠国 《低温与特气》 CAS 1990年第3期41-43,共3页
众所周知,由于氯对水的亲和力极强,测定氯中水含量是比较困难的,而测定氯中痕量水尤为困难。目前,尽管国际上各特种气体生产厂家的电子级氯气的技术指标不完全一致,但对含水量的要求都比较严格。最先进的技术指标是1987年美国半导体设... 众所周知,由于氯对水的亲和力极强,测定氯中水含量是比较困难的,而测定氯中痕量水尤为困难。目前,尽管国际上各特种气体生产厂家的电子级氯气的技术指标不完全一致,但对含水量的要求都比较严格。最先进的技术指标是1987年美国半导体设备与材料学会(SEMI)公布的氯气纯度为99.9961%,其中,水含量小于3vpm。有关氯气中痕量水的分析方法。 展开更多
关键词 氯气 痕量水 分析 高纯氯气 气体
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中国气体的现状与发展 被引量:10
4
作者 孙福楠 于大秋 +4 位作者 任越 丛林 韩薇 柳蔚 刘晓红 《低温与特气》 CAS 2014年第6期1-6,共6页
对当下中国气体的市场、技术进行了详细的介绍,指出中国气体未来发展的方向。
关键词 高纯气体 硅烷 磷烷 砷烷 高纯N2O 高纯 高纯氯气 标准气体 气瓶 检测仪器
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2015中国气体 被引量:3
5
作者 孙福楠 《低温与特气》 CAS 2015年第6期1-4,18,共5页
回顾2015年中国气体的现状,对未来中国气体进行了预测。提出了我国标准气体属地化生产与经营的想法,对于我国各类主要电子气体同发达国家的差距做了详细的分析。
关键词 电子气体 标准气体 硅烷 高纯笑气 砷烷 锗烷 高纯氯气 高纯氨气
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