高纯电子特气痕量杂质分析方法进展

为保证高纯电子特气标准物质的质量,建立了痕量杂质的检测方法,对气体的研发、生产具有重要意义。高纯电子特气中的痕量杂质主要为痕量水、痕量氧、碳氧及碳氢化合物等,特殊杂质主要为氟化氢以及各种金属元素。针对不同痕量杂质的分析方法进行了论述,通过克服测量过程中的干扰因素可提高痕量杂质的测量准确性。