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影响XeCl准分子激光器寿命的因素 被引量：2
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作者 邓光明 吴旭峰 凌一鸣 《电子器件》 CAS 2003年第1期75-79,共5页
准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系。现以XeCl准分子激光器为例讨论了对激光器寿命影响比较大的两大因素
关键词 准分子激光器 寿命 气体污染 高速放电开关
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