高速粘片机晶片工作台的电机选型计算与运动控制

论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制。

线性电机在高速粘片机芯片拾放机构中的应用

论述了高速粘片机核心部件芯片拾放机构的工作原理以及美国SMAC线性电机的特性,采用线性电机驱动芯片拾放机构,实现了对芯片的高速、高精度和柔性拾放技术。

装片机晶片台运动控制系统的分析

论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统,实现了晶片台的高速、高精度定位控制。