FRED的特性参数及其外延材料的研制

随着绿色节能产品的发展,高频开关电源的应用越来越深入和广泛。高频大功率开关电路中主开关器件与快恢复二极管(FRED)配合使用,性能良好的FRED对提高开关电源的总体性能是至关重要的。文章对FRED的特性参数给出详细的描述,对一些关键参数与外延层的关系进行了探讨。依据FRED对外延片的特殊要求,选用缺陷低和特殊背损的衬底片,采取特殊外延工艺技术,减少外延层缺陷,使片内均匀性达到2%以下。