一种改进的THz-SAR高频振动误差补偿方法

将太赫兹波用于SAR成像可以解决常规SAR成像帧速低、慢动目标检测困难等问题。太赫兹合成孔径雷达(THz-SAR)与传统微波SAR成像最重要的区别在于运动补偿。因为THz-SAR的工作波长比传统微波SAR要短得多,平台的微小振动会影响成像质量,尤其是高频振动误差。平台的高频振动会在成像结果中引入成对回波,传统SAR成像算法无法实现成对回波的聚焦,也就无法准确估计振动参数,进而构造参考函数补偿高频振动带来的正弦调制相位。首先基于多普勒Keystone变换(DKT)的THzSAR成像算法实现成对回波的聚焦成像;然后提出小波多分辨分析的方法估计高频振动频率,结合参数空间投影法完成振动幅相的估计,并实现高频振动误差的补偿;最后采用点目标的回波数据仿真验证了所提方法的有效性。

基于加速度计的前馈补偿方法

针对半导体设备在高精密高加速运动时光学负载的动力学特性受到机器内部噪声的激励产生振动,导致超精密运动台在该振动影响下运动误差变大的问题。运用加速度计对光学负载的模态信号进行实时采集与处理,设计一种基于加速度的前馈补偿方法,利用该方法精准确定谐振频点并使其产生有效衰减。以实验室设备为例,通过Matlab等软件进行数据处理与仿真验证,证明基于加速度计的前馈补偿方法能够有效地抑制光学负载振动对伺服误差的影响,提高超精密运动台的伺服精度。