Co_(40)Fe_(40)B_(20)/SiO_2纳米多层膜磁各向异性研究

采用磁控溅射工艺制备Co40Fe40B20/S iO2纳米多层膜,研究影响纳米多层膜中磁各向异性的主要因素。基于实验结果及其分析讨论,探讨了CoFe基纳米多层膜中强单轴磁各向异性的起源问题,从而为更好地调控纳米多层膜的磁各向异性场和高频电磁性能提供理论参考和指导。