中国特色的半导体快速热处理技术——高频感应石墨加热技术介绍

快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。1 灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采用的是灯光辐射型热源。其由上下两个专用灯管组构成。

新型国产8英寸半导体快速热处理设备

在半导体圆片生产工艺中，快速热处理(也称“热退火”)是半导体圆片经过注入工艺后必不可少的工序之一。半导体圆片快速热处理设备是半导体器件生产的关键设备之一。自从20世纪60年代初，离子注入技术作为新的半导体掺杂工艺以来，大大促进了半导体集成电路的发展。