表面溅射FeGa薄膜的AT切型石英谐振磁场传感器

针对谐振传感器Q值低导致输出信号噪声水平高、传感分辨率低的问题,提出FeGa薄膜与AT切型石英晶片复合的高品质因数谐振磁场传感器。AT切型石英晶片受到交流电压激励以厚度剪切模态振动,FeGa薄膜在磁场中磁化而受到磁场作用力并通过层间耦合传递到石英晶片,由于石英晶片具有力频特性,其谐振频率因此会发生改变。此外,石英晶体低内损耗、高Q值的特性使得传感器具有很高的品质因数,可以实现稳定、低噪声的传感输出。实验结果显示:该谐振磁场传感灵敏度为0.2 Hz/Oe,品质因数达到46 000以上,功耗低于8μW,最大测量磁场可达1 200 Oe,具有较宽的磁场测量范围。该谐振磁场传感器在高信噪比输出信号、低功耗等方面均具有明显优势,且结构简单、易于加工。

盛群半导体推出A／D型单片机——HT46R232

HT46R232具备4KBOTP程序存储器及192B通用数据存储器．使程序撰写者在较大或较复杂的数据处理应用时，有更大的直用空间。40个I/O引脚可供设计者进行多输入及输出控制的没备应用，如外部按键输入控制、直接驱动LED显示，控制外部开关器件等：8通道10位分辨率的A/D转换输人，可监测外部模拟信号：搭配不同传感器可应用于侦测功能，如：电池电压、电流、温度、湿度、压力和明暗度等。可搭载4通道8位PWM高频载波输出，直接存取内部寄存器就能控制PWM占空比．使PWM的使用相当方便。PWM输出更可应用于控温、调速、定电压、定电流等方面。

射频集成软磁薄膜器件分析

文章首先介绍了在行波场存在的情况下，怎样对射频直到6GHz频率范围内的金属软磁薄膜的磁导率进行测量。然后，在软磁薄膜复数磁导率分布图的基础上，系统地论述了金属软磁薄膜在射频频段范围内的应用。这种磁膜用在工作频率为2GHz的绕有4匝尺寸为200×400（μm^2）矩形螺旋线圈的铁磁射频集成电感器及在AC场中，灵敏度为4．8×10^-6Am^-1／√HZ（6×10^-12T／√HZ）的高频载波型薄膜磁场传感器（也被称为GMI传感器）时具有最佳性能：L=7．9nH和Q=12．7。文章对这两种磁器件进行了详细分析。