MIM电容上下级板一步刻蚀的结构分析

阐述在一张光罩下,通过一次干法刻蚀,一步刻蚀出相对面积较小上极板和面积较大下级板的电容物理结构。对比传统的通过两道光罩和两次干法刻蚀形成不同面积的上、下级板结构,新的一步刻蚀方法简化了工艺流程。通过多个试验批次验证,新的一步刻蚀物理结构,其上下级板距离能够达到与传统结构一样的效果,防止刻蚀过程中金属反溅影响击穿电压电性能的问题。

Low TCR-MIM氮化钽极板制备及其性能研究

阐述TCR-MIM结构具有更好的稳定性、精度和可调性,适用于高精度、高稳定性的场景。通过研究沉积次数、溅射功率和N2流量对氮化钽(TaN)极板及MIM性能的影响,获得一种Low TCR TaN作为MIM结构底部极板。当沉积2次,保持基准功率,N_(2)流量约为基准流量1.2倍时,MIM结构TCR达到2ppm/℃,MIM结构可靠性测试通过,获得一种优异的低温度漂移系数TaN极板,有利于高性能MIM电容的制备。

面向联合作战的语义参考模型MIM研究与运用

针对盟国多军兵种联合作战数据共享交换的需求,北约面向指挥控制和仿真互操作域提出了多边互操作性规划信息模型(MIM)。MIM作为核心数据框架的语义参考模型,支持互操作性规范的开发及其特定流程。介绍了MIM的开发需求和发展历史,分析了MIM语义信息注释模型的方法,总结了MIM的工具和服务,然后结合其特点,从适用性、应用策略等方面对MIM作为语义参考模型支持跨系统信息共享进行了研究,并给出了具体的应用示例。为语义参考模型的应用及其在多军兵种联合作战中的数据共享交换提供基础。

MIM波导内嵌金属板结构Fano共振传感特性

基于法诺(Fano)共振传感特性,提出了一种金属-介质-金属(MIM)波导耦合矩形腔结构,目的是为了实现高灵敏度、高可靠性的折射率传感检测。通过耦合模理论和有限元数值模拟仿真,分析了矩形腔中有无内嵌金属板两种结构的Fano透射光谱特征,并且进一步优化了矩形腔内嵌金属板结构参数,最后阐明了结构参数对其传感特性的内在影响。结果表明,当入射光以TM模式入射到矩形谐振腔时,会形成两个Fano模式共振峰:第一种模式的品质因数(FOM)达9.4×10^(4),灵敏度为700 nm/RIU;第二种模式的FOM达8.4×10^(3),灵敏度为1200 nm/RIU。研究结果表明此结构设计实现了双Fano峰检测,同时各个模式品质因数都很高,这为高性能微纳光学折射率传感器的设计提供了一定的理论参考依据。

MIM用金属粉末的主要制备技术及其原理综述

金属粉末作为MIM技术的关键原料,其品质很大程度上决定了产品的最终质量。水气联合雾化制粉具有椭圆微观形貌、比表面积大等优异的理化性能,成为MIM制造高性能制品的主要原材料之一。但羰基法、气雾化法、气流磨粉碎法和等离子体雾化法制粉技术所制备的粉末各有其优势,也是MIM制品广泛应用的原材料。本文综述了MIM用金属粉末的主要几种制备技术原理,总结其存在问题,并对MIM用金属粉末制备技术提出新的展望。

粉末粒径对MIM小模数齿轮质量性能的影响研究

采用金属粉末注射成形(Metal powder Injection Molding,MIM)工艺研制小模数齿轮,为改善齿轮烧结件的质量性能,采用不同粒径的粉末进行制备;采用熔体流速测定仪、孔隙率测定软件、2.5次元影像测量仪和显微维氏硬度计等分析齿轮的烧结性能,研究了粉末粒径对齿轮表面质量、孔隙率和收缩率的影响机制。结果表明,5.0µm粉末制备的齿轮,粉末流动性能差,烧结后粉末浓度分布不均匀,表面存在黑线,并且尺寸收缩不均匀,影响尺寸精度;9.0µm粉末制备的齿轮,烧结颈形成能力差,扩散机制进程滞缓,导致烧结后孔隙率高,孔隙尺寸大;采用7.0µm粉末制备齿轮时,齿轮的质量性能最好,齿轮不存在表面缺陷,孔隙率降至2.9%,维氏硬度值达到355,收缩率均匀性高,尺寸精度高,所检项目精度等级在GB 2363—1990标准下均高于7级。

MIM数字孪生技术在眼前山铁矿的应用实践

近年来,数字孪生技术高速发展,已经在智慧城市,智慧园区等领域取得很多进展。但是矿山行业因为矿体资源埋藏不确定性,作业地点的移动性,生产工艺的多样性的特点,使得生产流程复杂,数字孪生发展缓慢、成功案例较少。通过对地下矿山工程实际需求分析,结合智能设备、工业自动化、5G等先进装备和技术,设计并研发了MIM数字孪生平台,并在眼前山铁矿进行了成功应用。通过应用MIM数字孪生平台,该矿山实现了部分作业工序无人化或智能化,提高了企业管理效率,优化了生产设计精度,减少了作业人员数量,取得了良好效果。

热等静压强化处理MIM 316L不锈钢的研究

采用金属粉末注射成形工艺在不同烧结温度下制备了316L不锈钢零件及拉伸试样条,并对该产品进行了热等静压不同温度的后处理。对试样的拉伸断口形貌进行分析。结果表明:采用MIM工艺制备的316L不锈钢件烧结温度在1300~1400℃时,随着烧结温度的提高,烧结件的相对密度逐渐提高,但屈服强度和抗拉强度在烧结温度达到1360℃后开始逐渐降低;采用热等静压强化处理的316L不锈钢件与未热等静压强化处理件相比,孔隙减少,相对密度提高,孪晶组织增多,屈服强度和抗拉强度均有提高。采用MIM+HIP后处理制备的316L不锈钢件与MIM制备的样件相比,断口形貌韧窝尺寸相对较大、较深,塑性优于MIM样的。

[C_(2)mim][BF_(4)]离子液体^(1)H NMR性质的理论研究

本研究选择1-甲基-3-乙基咪唑四氟硼酸盐(简称[C_(2)mim][BF_(4)])离子液体为研究对象,计算其^(1)H NMR化学位移。首先,我们构建了含有20对阴阳离子的凝聚相体系,采用分子动力学模拟方法获得其凝聚相的平衡态结构。随后,我们等间距的选择5个平衡态结构,用于构建QM/MM模型,详细考察两种QM/MM模型对离子液体^(1)H NMR性质的影响。选取的两种QM/MM模型中的QM分别是一个阳离子、一对阴阳离子。在QM/MM计算中,QM层采用B97-2/pcseg-2模型,MM层采用UFF点电荷模型。我们发现,QM/MM计算结果比仅采用一个阳离子的计算结果与实验值更加的接近。我们考察了MM背景电荷对计算结果的影响,研究表明,当MM层有背景电荷时,其实验值与计算值的偏差为0.30,当MM无背景电荷时,其实验值与计算值的偏差为0.31,表明MM的背景电荷对计算结果的影响较小。

粉末装载量对W-Ni-FeMIM合金喂料粘度及力学性能的影响

对粉末装载量对ＷＮｉＦｅＭＩＭ合金喂料的粘度及力学性能的影响进行了研究，发现喂料粘度随粉末装载量的升高而增大，但不同粉末装载量喂料的应变敏感性因子基本一致，呈现基本相同的假塑性体流变行为。ＷＮｉＦｅ喂料存在一最佳粉末装载量，此时合金力学性能最好，低于或高于这个粉末装载量都使得合金力学性能降低。

基于MIM软件行CT-MRI图像融合技术在脑胶质瘤精确放疗中的应用

目的研究脑胶质瘤精确放疗中应用MIM软件行CT-MRI图像融合技术的价值。方法选取2016年10月至2018年12月西安交通大学第一附属医院肿瘤放疗科收治的脑胶质瘤患者30例,利用MIM软件系统图像融合功能进行CT和MRI的图像融合,融合完成后由同一位放疗科医师对每例患者的CT图像及CT-MRI图像进行靶区勾画,并应用相同治疗计划系统分别为每例患者制作2组不同的治疗计划,比较2组勾画间的靶区体积差异、靶区剂量学差异及危及器官(OAR)受照剂量学差异。结果CT图像下勾画的GTV CT、CTV CT、PTV CT体积均大于CT-MRI融合图像下勾画的GTV CT+MRI、CTV CT+MRI、PTV CT+MRI体积(P<0.05);CT图像组计划PTV最大剂量及平均剂量均高于CT-MRI融合图像组计划PTV最大剂量及平均剂量(P<0.05);除右晶体、右视神经及右眼球外,CT图像组计划的OAR(脑干、视交叉、垂体、左视神经、左晶体、左眼球)最大剂量及平均剂量均大于CT-MRI融合图像组计划的OAR剂量(P<0.05)。结论在胶质瘤的调强放射治疗(IMRT)中,应用MIM软件行CT-MRI图像融合技术能提高靶区勾画及计划制定的合理性及精确性,且能有效降低正常组织的受照剂量,提高对正常组织的保护。

热等静压及后续热处理对MIM418涡轮合金组织与性能的影响

比较了热等静压前后MIM418合金组织与致密度的变化,研究了不同淬火(水冷和空冷)、时效工艺对热等静压后固溶态MIM418合金微观组织及各种析出相的影响,利用扫描电镜、透射电镜、能谱分析等手段分析了合金中主要强化相γ'和碳化物二者的形态、大小和分布的规律。结果表明,热等静压可明显提高MIM418合金的致密度,但对显微组织影响不大,"固溶+中温时效"可以获得较好的硬化效果,主要析出强化相γ'和二次碳化物的析出受固溶冷却方式的影响较大,γ'相纳米化和二次碳化物的析出或将有益于MIM418硬度的大幅度提高。

MIM粘结剂中聚合物性质的估算

介绍了金属注射成形中一些聚合物性质的估算方法 ,并探讨了一些粘结剂的表面性能。

基于MIM软件模版数据库的病例数对危及器官自动勾画的探讨

目的:探讨基于MIM软件的模板数据库中病例数对危及器官自动勾画的影响,指导临床选取最佳病例数构成自动勾画数据库。方法:选取150例鼻咽癌患者,按照数表法随机将其分为a组、b组、c组和d组,在MIM软件中建立a、b、c、d对应的四组患者的数据库,数据库包含CT图像和医生手动勾画的危及器官轮廓信息,另选取10例非数据库患者的头部CT图像进行危及器官的自动勾画,与医生手动勾画结果作为金标准进行比较。采用形状相似性系数(DICE)、豪斯多夫距离及Jaccard距离3个指标评价自动勾画的危及器官。结果:四组数据库自动勾画的危及器官DICE值在0.5~0.9之间,眼球、内耳、口腔、腮腺等器官勾画结果DICE值均在0.8以上。眼球、内耳、颞颌关节、晶体等危及器官或组织的豪斯多夫距离(标准差)均值<0.2。Jaccard距离值随模板数据库包含病例数增多而减小,其中内耳、颞颌关节、晶体和视神经均值<0.4。结论:模板数据库包含病例数越多,眼球、内耳、脊髓、视神经等器官DICE值越高,眼球、内耳、视神经等器官的豪斯多夫距离(标准差)值越小,各危及器官的Jaccard距离值越小。眼球、内耳、脊髓、视神经等危及器官宜选用病例数多的模板数据库进行自动勾画,模板数据库中包含的病例数对脑干、颞颌关节、晶体、口腔、腮腺等危及器官或组织的自动勾画无明显影响。

MIM与VEGF在胃癌中的表达及其预后意义的研究

目的检测MIM(missing in metastasis)和血管内皮细胞生长因子(vascular endothelial growth factor,VEGF)在胃癌中的表达,并探讨其变化与胃癌病理参数及预后的关系。方法在含有282例胃癌标本的组织芯片上,利用免疫组织化学检测MIM和VEGF在胃癌和胃正常组织中的表达,并统计分析相关结果与胃癌临床参数和预后的关系。结果 MIM在胃癌中阴性表达率分别为66.3%,VEGF在胃癌中阳性表达率为64.5%。MIM的阴性表达与淋巴结转移(阳性)、肿瘤分化程度(低分化)、TNM分期(晚期)有关;VEGF的阳性表达和患者年龄(>60岁)、肿瘤部位(贲门、胃底)和肿瘤分化程度(低分化)有关。Cox模型结果显示,MIM和VEGF是胃癌独立的预后因素。结论 MIM和VEGF可能是胃癌预后的重要影响因素,MIM可作为胃癌治疗的新靶点。

磺酸功能化离子液体催化制备薯蓣皂苷元研究

目的:探索磺酸功能化离子液体1-磺丁基-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐([BHSO_(3)MIm]CF3SO_(3))作为催化剂在薯蓣皂苷元制备中的应用。方法:以盾叶薯蓣提取粗皂苷为原料、[BHSO_(3)MIm]CF3SO_(3)为催化剂,水解制备薯蓣皂苷元。通过单因素试验对反应温度、反应时间、离子液体用量、溶剂体积进行考察,采用响应面分析方法进一步优化反应条件,确定最佳反应条件。进行12次循环实验,考察该离子液体循环使用性能。结果:最佳反应条件为反应温度100℃、反应时间5.17 h、离子液体用量2.56 g、水溶剂体积6 mL,在该条件下薯蓣皂苷元产率为12.99%。该离子液体循环6次时,循环效率为82.70%,循环10次时循环效率降至58.12%。结论:在薯蓣皂苷元制备过程中,[BHSO_(3)MIm]CF3SO_(3)作为酸催化剂,表现出了水解效率高、性能稳定、易于回收、循环使用性能良好等优势,具备较强的应用前景。

微晶蜡对MIM多元蜡基粘结剂性能的影响

研究了微晶蜡MW的加入对PW-EVA-HDPE蜡基粘结剂、喂料的均匀性、流变特性的影响。对比实验发现MW加入不会明显改变粘结剂的粘度,加入20%MW(质量分数)的蜡基体强度提高了5倍,体积收缩率降低到6.44%,使多元蜡基粘结剂从粗大层片状(50μm^150μm)结晶细化为均匀的微细晶(5μm^8μm);一定量的MW可以改善PW-EVA-HDPE三元蜡基粘结剂的组织均匀性和热稳定性,升高注射温度,能提高粉末装载量和粉末在粘结剂中分散的均匀性,从而提高产品的成品率和尺寸精度。

烧结气氛对MIM316L不锈钢致密化和尺寸精度的影响

用注射成形方法(MIM)制备了316L不锈钢样品,并在Ar、Ar+H2、N2、N2+H2和低真空5种气氛下对样品进行了烧结,讨论了烧结气氛对合金致密化、力学性能和尺寸精度的影响.结果表明:烧结气氛的露点显著影响着合金的致密化和最终力学性能;烧结气氛中的H2可以脱去合金中的碳来影响致密化和力学性能;用注射成形获得的最终样品尺寸精度受注射、脱脂和烧结工序的影响;在采用溶剂脱脂时,3个工序对尺寸精度的影响由大至小依次为烧结、注射和脱脂.在不同气氛下,3个工序对尺寸精度的影响相对稳定.

离子液体[C_16 mim]Cl对泥鳅的毒性效应

以泥鳅为受试动物,采用急性毒性、微核试验及酶活分析实验,研究了离子液体[C16mim]Cl对水生生物的生物毒性作用。急性实验表明:[C16mim]Cl对泥鳅有明显的毒性,其对泥鳅24、48和96h的LC50分别为2.533、1.763和1.379mg.L-1;微核实验表明:对照组红细胞微核率为0.5‰左右,而处理组红细胞微核率最高达到12.89‰,且各处理组均明显高于对照组(P<0.05);酶活分析实验表明:处理组血清的GPT和GOT活力均明显高于对照组,且随[C16mim]Cl浓度增高而呈现上升趋势。从以上结果可以得出:[C16mim]Cl对泥鳅具有显著的遗传毒性和生理毒性效应,因而推测其大量使用可能对水生生物及生态环境具有一定的毒害作用。

采用氢化-脱氢(HDH)钛粉和氢化钛粉制备MIMTi-6Al-4V合金

以HDH钛粉制备MIMTi-6Al-4V合金的过程为参照,对使用氢化钛粉为原料制备P/M模压钛合金以及MIM钛合金的工艺过程进行了探索。使用HDH钛粉制备的MIMTi-6Al-4V合金抗拉强度为819MPa,拉伸样延伸率为7%;使用氢化钛粉制备的P/M模压Ti-6Al-4V合金拉伸样抗拉性能高于850MPa;使用氢化钛粉为原料制备MIMTi-6Al-4V合金,顺利实现了脱氢-脱脂过程。