期刊文献+
共找到75篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
Density Functional Theory Study on the Structural and Electronic Properties of Ge(SiO_2)_n Clusters
1
作者 葛桂贤 闫红霞 +3 位作者 井群 周龙 曹海宾 张建军 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期913-919,共7页
The geometry,stability,binding energy and electronic properties of(SiO2)n and Ge(SiO2)n clusters(n = 7) have been investigated by Density functional theory(DFT).The results show that the lowest energy structur... The geometry,stability,binding energy and electronic properties of(SiO2)n and Ge(SiO2)n clusters(n = 7) have been investigated by Density functional theory(DFT).The results show that the lowest energy structures of Ge(SiO2)n are obtained by adding one Ge on the end site of the O atom or the Si near end site of the O atom in(SiO2)n.The chemical activation of Ge-(SiO2)n is improved compared with(SiO2)n.The calculated second-order difference of energies and fragmentation energies show that the Ge(SiO2)n clusters with n = 2 or 5 are stable. 展开更多
关键词 (sio2)n and ge(sio2)n clusters geOMETRIES electronic properties PACC:3640 3640B
下载PDF
Ge(SiO_2)_n团簇结构和电子性质的密度泛函理论研究 被引量:2
2
作者 葛桂贤 井群 +3 位作者 闫红霞 杨增强 曹海宾 张建军 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期667-675,共9页
采用密度泛函理论中的广义梯度近似(GGA)对Ge(SiO_2)_n(n=1~7)团簇的几何构型进行优化,并对能量、频率和电子性质进行了计算.结果表明,Ge(SiO_2)_n的最低能量结构是在(SiO_2)_n端位O原子以及近邻端住O原子的Si原子上吸附一个Ge原子优... 采用密度泛函理论中的广义梯度近似(GGA)对Ge(SiO_2)_n(n=1~7)团簇的几何构型进行优化,并对能量、频率和电子性质进行了计算.结果表明,Ge(SiO_2)_n的最低能量结构是在(SiO_2)_n端位O原子以及近邻端住O原子的Si原子上吸附一个Ge原子优化得到;随着锗原子数的增加,增加的锗原子易与原来的锗原子形成锗团簇.掺杂锗原子后团簇的能隙比(SiO_2)_n团簇的能隙小,当多个Ge原子掺杂到(SiO_2)_3团簇时,其能隙随着Ge原子个数的增加出现了振荡,Ge_m(SiO_2)_3的能隙从可见光区到近红外光区变化.二阶能量差分、分裂能表明Ge(SiO_2)_2和Ge(SiO_2)_5团簇是稳定的. 展开更多
关键词 (sio2)nge(sio2)n团簇 几何结构 电子性质
下载PDF
SiO_2/SiC界面对4H-SiC n-MOSFET反型沟道电子迁移率的影响 被引量:4
3
作者 徐静平 吴海平 +1 位作者 黎沛涛 韩弼 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期200-205,共6页
提出了一种基于器件物理的 4 H- Si C n- MOSFET反型沟道电子迁移率模型 .该模型包括了界面态、晶格、杂质以及表面粗糙等散射机制的影响 ,其中界面态散射机制考虑了载流子的屏蔽效应 .利用此模型 ,研究了界面态、表面粗糙度等因素对迁... 提出了一种基于器件物理的 4 H- Si C n- MOSFET反型沟道电子迁移率模型 .该模型包括了界面态、晶格、杂质以及表面粗糙等散射机制的影响 ,其中界面态散射机制考虑了载流子的屏蔽效应 .利用此模型 ,研究了界面态、表面粗糙度等因素对迁移率的影响 ,模拟结果表明界面态和表面粗糙度是影响沟道电子迁移率的主要因素 .其中 ,界面态密度决定了沟道电子迁移率的最大值 ,而表面粗糙散射则制约着高场下的电子迁移率 .该模型能较好地应用于器件模拟 . 展开更多
关键词 SIC n—M0sFET sio2/SiC界面 迁移率
下载PDF
SiO_2-BN-Si_3N_4系复相陶瓷制备及性能 被引量:7
4
作者 裴雨辰 李淑琴 +3 位作者 于长清 黄正宇 马景陶 李嘉禄 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A02期114-117,共4页
以Y2O3和Al2O3陶瓷粉体作为烧结助剂,对不同含量BN原料配比无压烧结制备SiO2-BN-Si3N4系复相陶瓷,生坯采用注凝成型制备,然后在1780℃保温2h烧结,烧结体主要由板条状的Si2N2O及长柱状的β-Si3N4晶粒构成,BN晶粒弥散在各晶粒之间。Si2N2... 以Y2O3和Al2O3陶瓷粉体作为烧结助剂,对不同含量BN原料配比无压烧结制备SiO2-BN-Si3N4系复相陶瓷,生坯采用注凝成型制备,然后在1780℃保温2h烧结,烧结体主要由板条状的Si2N2O及长柱状的β-Si3N4晶粒构成,BN晶粒弥散在各晶粒之间。Si2N2O相通过反应SiO2+Si3N4=2Si2N2O原位生成。Si2N2O具有优异的抗氧化性,Si3N4具有高的强度,而BN的加入大大提高了材料的可加工性能,材料结合了各相的优异性能。实验结果表明:材料热冲击性能优异,热冲击温差在800℃时,材料的弯曲强度还略有提高,1200℃时,材料的残余弯曲强度保持不变。 展开更多
关键词 sio2-Bn-Si3n4 性能 复相陶瓷
下载PDF
电沉积技术制备纳米SiO_2/Ni复合镀层工艺的研究 被引量:6
5
作者 成旦红 桑付明 +2 位作者 袁蓉 曹铁华 徐伟一 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期31-34,41,共5页
利用电沉积方法制备了纳米SiO2/Ni复合镀层。研究了阴极电流密度、微粒浓度、pH值、搅拌方式和表面活性剂种类以及浓度等对镀层沉积速率的影响,为正确制定电镀工艺提供了依据。扫描电镜观察表明,纳米微粒的加入增加了镀层表面的不工整性。
关键词 电沉积 复合镀层 纳米材料 纳米sio2/n1
下载PDF
SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料表面涂层的防潮性能和透波性能研究 被引量:10
6
作者 李俊生 张长瑞 +2 位作者 王思青 曹峰 王衍飞 《涂料工业》 CAS CSCD 2007年第1期5-7,10,共4页
SiO2/(Si3N4+BN)复合材料是近几年发展起来的综合性能优良的适用于高马赫数的导弹天线罩材料。本文分析了SiO2/(Si3N4+BN)复合材料的吸潮机理。采用有机硅树脂在SiO2/(Si3N4+BN)复合材料表面制备了防潮涂层,取得较好的防... SiO2/(Si3N4+BN)复合材料是近几年发展起来的综合性能优良的适用于高马赫数的导弹天线罩材料。本文分析了SiO2/(Si3N4+BN)复合材料的吸潮机理。采用有机硅树脂在SiO2/(Si3N4+BN)复合材料表面制备了防潮涂层,取得较好的防潮效果。涂装后SiO2/(Si3N4+BN)复合材料在40℃、90%的高温高湿条件下放置15d的吸水率约0.30%;在大气环境下(温度27-30℃,湿度45-60%)的吸水率小于0.01%。涂层对SiO2/(Si3N4+BN)复合材料的透波率影响较小,涂装后材料的透波率仍然能保持在85%以上。 展开更多
关键词 sio2/(Si3n4+Bn) 透波率 防潮涂层 吸水率
下载PDF
无压烧结制备Si_3N_4/SiO_2复合材料 被引量:7
7
作者 徐常明 王士维 +1 位作者 黄校先 郭景坤 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期935-938,共4页
以无压烧结工艺制备了Si3N4/SiO2复合材料.实验结果表明:Si3N4颗粒对石英基体的析晶起到了抑制作用和增韧补强作用.Si3N4含量为5vol%的样品在1370℃烧结2h后,抗弯强度达到96.2MPa,断裂韧性为2.4MPa·m1/2,介电常数和介电损... 以无压烧结工艺制备了Si3N4/SiO2复合材料.实验结果表明:Si3N4颗粒对石英基体的析晶起到了抑制作用和增韧补强作用.Si3N4含量为5vol%的样品在1370℃烧结2h后,抗弯强度达到96.2MPa,断裂韧性为2.4MPa·m1/2,介电常数和介电损耗分别在3.63-3.68和1.29-1.75×10-3之间. 展开更多
关键词 天线罩 无压烧结 Si3n4/sio2复合材料 力学性能 介电性能
下载PDF
光化学合成P(DMAA-co-MMA)/Nano-SiO_2复合水凝胶及其性能研究 被引量:3
8
作者 刘晓暄 王洪波 +1 位作者 白迎坤 吴光国 《感光科学与光化学》 EI CAS CSCD 2007年第6期436-444,共9页
以N,N-二甲基丙烯酰胺(DMAA)及甲基丙烯酸甲酯(MMA)为单体,Irgacure 2959为光引发剂,N,N′-二甲基双丙烯酰胺(Bis)为交联剂,利用紫外光引发自由基聚合制备了聚N,N′-二甲基丙烯酰胺(PDMAA)及P(DMAA-co-MMA)水凝胶,并通过加入少量表面改... 以N,N-二甲基丙烯酰胺(DMAA)及甲基丙烯酸甲酯(MMA)为单体,Irgacure 2959为光引发剂,N,N′-二甲基双丙烯酰胺(Bis)为交联剂,利用紫外光引发自由基聚合制备了聚N,N′-二甲基丙烯酰胺(PDMAA)及P(DMAA-co-MMA)水凝胶,并通过加入少量表面改性后的纳米SiO2对该水凝胶进行改性,制得了P(DMAA-co-MMA)/纳米SiO2复合水凝胶,用FT-IR和SEM对产物进行了表征,同时研究该复合凝胶的溶胀动力学、消溶胀动力学、pH值响应性、离子强度等.该方法简便、快捷,大大缩短了聚合时间,合成过程仅需2—3 min. 展开更多
关键词 n n-二甲基丙烯酰胺 温敏性水凝胶 纳米sio2 pH值敏感性
下载PDF
用于微机电系统的SiO_2/Si_3N_4驻极体的制备及电荷稳定性 被引量:2
9
作者 肖慧明 温中泉 +1 位作者 张锦文 陈钢进 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1297-1299,1303,共4页
驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极... 驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响。结果表明,电晕充电后SiO2/Si3N4双层膜的电荷存储稳定性明显优于SiO2单层膜;传统的电晕注极方法仅适用于大面积驻极体的制备,但对微米量级的材料表面不适用;微器件制备的工艺流程对驻极体电荷稳定性有显著影响,但存储环境对热极化驻极体电荷稳定性的影响很小。 展开更多
关键词 驻极体 微型发电机 sio2/Si3n4双层膜 电荷稳定性 微器件加工
下载PDF
The effects of radiation damage on power VDMOS devices with composite SiO_2-Si_3N_4 films 被引量:1
10
作者 高博 刘刚 +5 位作者 王立新 韩郑生 宋李梅 张彦飞 腾瑞 吴海舟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第3期393-398,共6页
Total dose effects and single event effects on radiation-hardened power vertical double-diffusion metal oxide semiconductor(VDMOS) devices with composite SiO2-Si3N4 film gates are investigated.The relationships amon... Total dose effects and single event effects on radiation-hardened power vertical double-diffusion metal oxide semiconductor(VDMOS) devices with composite SiO2-Si3N4 film gates are investigated.The relationships among the important electrical parameters of the samples with different thickness SiO2-Si3N4 films,such as threshold voltage,breakdown voltage,and on-state resistance in accumulated dose,are discussed.The total dose experiment results show that the breakdown voltage and the on-state resistance barely change with the accumulated dose.However,the relationships between the threshold voltages of the samples and the accumulated dose are more complex,and not only positively drift,but also negatively drift.At the end of the total dose experiment,we select the group of samples which have the smaller threshold voltage shift to carry out the single event effect studies.We find that the samples with appropriate thickness ratio SiO2-Si3N4 films have a good radiation-hardening ability.This method may be useful in solving both the SEGR and the total dose problems with the composite SiO2-Si3N4 films. 展开更多
关键词 power VDMOS device total dose effects single event effects composite sio2-Si3n4 films
下载PDF
N掺杂TiO2/SiO2双层中空微球的制备及可见光光催化活性研究 被引量:1
11
作者 张高文 杨侃 +1 位作者 叶莹 刘嘉宁 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第20期18-21,共4页
以阳离子PS为模板,正硅酸乙酯和钛酸丁酯为前驱体,三乙胺为氮源,采用溶胶-凝胶法,通过层层静电自组装制备了N掺杂TiO2/SiO2(N-TS)复合微球,并经高温焙烧得到具有介孔结构的N-TS双层中空微球。采用Zeta-plus激光粒度及电位仪、SEM、XRD、... 以阳离子PS为模板,正硅酸乙酯和钛酸丁酯为前驱体,三乙胺为氮源,采用溶胶-凝胶法,通过层层静电自组装制备了N掺杂TiO2/SiO2(N-TS)复合微球,并经高温焙烧得到具有介孔结构的N-TS双层中空微球。采用Zeta-plus激光粒度及电位仪、SEM、XRD、UV-Vis等对微球的结构进行表征,以亚甲基蓝为目标污染物,考察了NTS双层中空微球的可见光光催化活性。结果表明,通过SiO2和TiO2的交替包覆形成了双壳层结构,保持了中空微球完整的球形形貌;N的掺入有效拓宽了TiO2光响应范围且在可见光区域吸收明显增强,在掺N量为n(N)/n(Ti)=10、500℃焙烧得到的双层中空微球可见光催化活性最优,2h内亚甲基蓝几乎完全降解,同时中空微球在重复使用过程中依然能保持较高的可见光光催化活性。 展开更多
关键词 双层中空微球 TIO2 sio2 n掺杂
下载PDF
涂层对SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料力学、介电性能的影响 被引量:1
12
作者 李俊生 张长瑞 +4 位作者 王思青 曹峰 曹英斌 王衍飞 姜勇刚 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期671-673,共3页
采用硅树脂作为SiO_2/(Si_3N_4+BN)复合材料涂层,并取得较好的防潮效果。将SiO_2/(Si_3N_4+BN)复合材料涂层后弯曲强度提高约27%左右;介电常数和介电损耗角正切变化分别为0.02和0.2×10^(-3)。
关键词 sio2/(Si3n4+Bn) 透波材料 介电性能 弯曲强度 防潮
下载PDF
Si/SiO_2及Si/SiO_2/Si_3N_4系统的总剂量辐射损伤 被引量:1
13
作者 范隆 郝跃 余学峰 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期433-436,共4页
从微观氧化物电荷、界面态的感生变化及界面态的能量分布变化的角度,比较并分析了3种采用54HC电路工艺制作的MOS电容样品的总剂量电离辐射损伤退化,结果显示,采用单绝缘栅介质的Si/SiO2系统的双绝缘栅介质的Si/SiO2/Si3N4系统表现出对... 从微观氧化物电荷、界面态的感生变化及界面态的能量分布变化的角度,比较并分析了3种采用54HC电路工艺制作的MOS电容样品的总剂量电离辐射损伤退化,结果显示,采用单绝缘栅介质的Si/SiO2系统的双绝缘栅介质的Si/SiO2/Si3N4系统表现出对总剂量辐射损伤的明显特性差异.在抗总剂量电离辐射能量上,双绝缘栅介质结构甚至劣于常规非加固工艺的单介质Si/SiO2系统结构.同时,对辐射感生界面态的能量分布随辐照总剂量的变化进行了分析,发现试验的3种样品都存在一类深能级界面态,位于中带以上约80meV的位置,该类界面态随辐照剂量的增加最明显. 展开更多
关键词 氧化物电荷 界面态 能量分布 MOS电容 总剂量辐射损伤 SI/sio2 Si/sio2/Si3n4
下载PDF
Si_3N_4/SiO_2复合栅介质电离辐照的电子能谱分析 被引量:1
14
作者 范隆 郝跃 +1 位作者 严荣良 陆妩 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期302-305,共4页
采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/S... 采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/Si界面区亦被电离辐照展宽;电离辐照相当程度地减少位于SiO2/Si界面至Si衬底之间Si过渡态的浓度.在同样偏置电场中辐照,随着辐照剂量的增加SiO2/Si界面区中Si过渡态键的断开量也增加,同时辐照中所施偏置电场对SiO2/Si界面区Si过渡态键断开有显著作用.并对实验现象进行了机制分析. 展开更多
关键词 Si3n4/sio2复合栅介质 电离辐照 X光激发电子能谱 氢离子刻蚀 Si过渡态
下载PDF
Si_3N_4结合SiC制品中SiO_2含量的测定 被引量:2
15
作者 曹海洁 梁献雷 《耐火材料》 CAS 北大核心 2007年第3期236-236,240,共2页
关键词 sio2含量 碳化硅制品 测定方法 SI3n4 SiC 氮化硅 高温强度 抗热震性
下载PDF
肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究 被引量:1
16
作者 石霞 孙俊峰 顾晓春 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期344-348,共5页
对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以... 对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。 展开更多
关键词 sio2-Si3n4复合介质膜 钝化技术 漏电流 应力 增密
下载PDF
SiC晶须在SiO_2-C-N_2系统中的合成
17
作者 张颖 蒋明学 +1 位作者 张军战 崔曦文 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期30-32,61,共4页
对SiO2-C-N2系统中的主要化学反应和SiC晶须在该系统中的合成条件进行了热力学分析,采用SiO2微粉为硅源,石墨、活性炭和碳黑为碳源,氧化硼为催化剂,分别在1500℃、1550℃和1600℃利用碳热还原法合成碳化硅晶须,通过X射线衍射、扫描电子... 对SiO2-C-N2系统中的主要化学反应和SiC晶须在该系统中的合成条件进行了热力学分析,采用SiO2微粉为硅源,石墨、活性炭和碳黑为碳源,氧化硼为催化剂,分别在1500℃、1550℃和1600℃利用碳热还原法合成碳化硅晶须,通过X射线衍射、扫描电子显微镜和电子探针分析合成晶须的特征。结果表明:在氮气气氛下利用碳热还原反应合成SiC晶须的温度在1450℃以上,且随着温度的升高,SiC晶须的生成量增多,晶须直径变大;以炭黑和活性炭等较高活性的碳源代替石墨可以使反应速度加快,但合成的SiC晶须较粗甚至生成SiC颗粒;杂质含量较多会使得SiC晶须生成数量降低,同时晶须出现弯曲现象. 展开更多
关键词 sio2-C—n2系统 SIC晶须 热力学
下载PDF
Si_3N_4与TiO_2/SiO_2减反射膜用在单晶硅太阳电池的对比研究
18
作者 何京鸿 刘祖明 +1 位作者 李光明 张树明 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2010年第6期54-57,共4页
文章对比分析了Si3N4单层减反射膜与TiO2/SiO2双层减反射膜对单晶硅太阳电池性能的影响,发现Si3N4单层减反射膜单晶硅太阳电池短路电流Isc较高。并对这两种减反射膜的批量产品进行抽样检测,结果表明采用TiO2/SiO2双层减反射膜电池总体品... 文章对比分析了Si3N4单层减反射膜与TiO2/SiO2双层减反射膜对单晶硅太阳电池性能的影响,发现Si3N4单层减反射膜单晶硅太阳电池短路电流Isc较高。并对这两种减反射膜的批量产品进行抽样检测,结果表明采用TiO2/SiO2双层减反射膜电池总体品质(主要从效率看)相当于或略优于Si3N4单层减反射膜太阳电池,说明TiO2/SiO2双层减反射膜仍比较适于单晶硅太阳电池。 展开更多
关键词 SI3n4 TIO2/sio2 减反射膜
下载PDF
用Y_2O_3Al_2O_3SiO_2Si_3N_4钎料连接氮化硅复相陶瓷
19
作者 周飞 李志章 罗启富 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期514-518,共5页
研究了用Y2O3Al2O3SiO2Si3N4 钎料对氮化硅复相陶瓷的连接. 对连接界面进行SEM、EPMA和XRD分析.接头强度随着保温时间、连接温度的增加而逐渐增加. 在达到峰值后,连接强度逐渐降低.在YAS钎... 研究了用Y2O3Al2O3SiO2Si3N4 钎料对氮化硅复相陶瓷的连接. 对连接界面进行SEM、EPMA和XRD分析.接头强度随着保温时间、连接温度的增加而逐渐增加. 在达到峰值后,连接强度逐渐降低.在YAS钎料中添加氮化硅, 可以降低接头界面的热应力,改善接头强度. 微观分析表明:接头强度的变化主要与界面反应和界面孔洞损伤有关. 展开更多
关键词 氮化硅 复相陶瓷 氧氮玻璃 连接强度 钎料
下载PDF
SiO_2-Si_3N_4栅介质膜陷阱特性的高频C-V分析
20
作者 黄君凯 易清明 +2 位作者 刘伟平 钟雨乐 张坤 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期236-240,共5页
采用高频 C-V特性测试技术 ,研究由热氧化生成的超薄 Si O2 膜和低压化学汽相淀积法制备的非均匀结构 Si3N4膜 ,两者组成的栅介质膜的陷阱特性 (包括陷阱密度、能量和空间分布深度等参数 )。结果表明 :在栅复合膜陷阱电荷非稳态释放模... 采用高频 C-V特性测试技术 ,研究由热氧化生成的超薄 Si O2 膜和低压化学汽相淀积法制备的非均匀结构 Si3N4膜 ,两者组成的栅介质膜的陷阱特性 (包括陷阱密度、能量和空间分布深度等参数 )。结果表明 :在栅复合膜陷阱电荷非稳态释放模型下建立的高频 C-V理论及其分析方法 ,可以很好地表征实验曲线 。 展开更多
关键词 金属—氮化硅—二氧化硅—硅结构 存储陷阱分布 高频容—压特性 sio2—Si3n4栅介质膜 陷阱特性 非挥发性存储器
下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部