高精度半导体厂房暖通空调系统浅析

结合西南某半导体厂房ISO Class 1级洁净室的建设经验及对相关规范的理解,着重介绍了高精度半导体厂房空调系统的组成,从送回风系统、排风系统、干盘管布置、空调自控、调试验证、气流组织等方面进行了阐述,为后续高精度半导体厂房建设提供参考。