1034探针台平面电机功放部件的维修

在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能。本文拟从简述平面电机的原理入手,对该功放部件的性能、测试方法和维修作一讨论。