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评价1GDRAM的技术及设备
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作者 翁寿松 《电子产品可靠性与环境试验》 1998年第3期46-48,共3页
本文介绍了1GDRAM的电性能,论述了评价1GDRAM的技术及设备。
关键词 1gdram 评价 半导体产业 圆片制造
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256M/1G DRAM生产线的检测设备
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作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 1998年第1期20-25,共6页
介绍256M/1GDRAM生产线的检测设备,包括裸圆片、带图形圆片、膜厚及特性、条宽/线宽、掩模版、后道工序、环境检测设备、成品测试和环境试验设备。
关键词 256M/1gdram 检测 设备 IC 生产线
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