ITO陶瓷靶1MPa纯氧1600℃程控烧结电炉的研制

介绍了ITO陶瓷靶烧结工艺用电炉的研制过程 ,论述了其安全性解决方案、关键材料的选择、压力容器的设计要点。该电炉为国内首台高压纯氧烧结电炉。