1nm级表面粗糙度的双频激光测量系统

研究了一种基于共外光路双频激光光外差原理的 1nm级表面粗糙度的测量系统 .从理论上论证了测量系统的原理和测量精度 ,并用实验结果证明了测量系统的分辨率 .此测量系统没有测量基准误差 ,对测量环境要求不特别苛刻 。