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尘埃粒子计数器检校探讨 被引量:2
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作者 暴海霞 厉龙 +3 位作者 吴振一 韦恩泽 史苏娟 管瑛 《计量与测试技术》 2023年第6期22-24,共3页
洁净室环境中,尘埃粒子计数器通常用于监测生产线的颗粒污染,其检测结果是洁净室洁净度等级划分的依据。由于空气中不同大小的颗粒存在不同的相关风险,颗粒的数量、大小的检测及检测结果的准确性,对保证生产质量至关重要,因此,需进行定... 洁净室环境中,尘埃粒子计数器通常用于监测生产线的颗粒污染,其检测结果是洁净室洁净度等级划分的依据。由于空气中不同大小的颗粒存在不同的相关风险,颗粒的数量、大小的检测及检测结果的准确性,对保证生产质量至关重要,因此,需进行定期校准。本文依据ISO 21501-4:2018,对其检测、校准过程中遇到的问题进行分析和探讨。 展开更多
关键词 尘埃粒子计数器 ISO 21501-4 检测 校准
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