小水量超纯水制备系统的最佳工艺选择

超纯水作为与电子元器件接触最多的介质之一,在半导体行业中占据着重要地位。本文从工艺路线、费用投资、运行成本及二次污染等方面,探讨针对小水量超纯水制备的最佳工艺路线。最终证明:在进水水质、产水水质以及产水量等条件相同的前提下,采用全膜法制备超纯水比2B3T工艺更具有优势,也将成为未来制备小水量的超纯水系统的主体工艺。