前聚焦式3轴振镜的调焦原理与应用

使用两轴振镜配合ftheta透镜进行激光扫描加工已经获得了广泛应用,但该方式的扫描幅面较小,无法满足大幅面加工的要求。前聚焦式振镜不需要使用ftheta透镜,能够在保持近衍射极限聚焦光斑下获得数倍于ftheta透镜的扫描范围。文章研究讨论了前聚焦式3轴振镜的调焦原理和在典型大幅面加工上的应用。