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300mm晶圆线超纯水水质浅析
1
作者
林耀泽
《洁净与空调技术》
2008年第2期53-58,共6页
基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。
关键词
300mm
晶圆线
超纯水
水质
总有机碳
微粒
可溶硅
下载PDF
职称材料
题名
300mm晶圆线超纯水水质浅析
1
作者
林耀泽
机构
江苏无锡市荷叶新村
出处
《洁净与空调技术》
2008年第2期53-58,共6页
文摘
基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。
关键词
300mm
晶圆线
超纯水
水质
总有机碳
微粒
可溶硅
Keywords
300mm wafer line
Ultra-pure water
Water quality
Total organic carbon
Particle
Silica
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
300mm晶圆线超纯水水质浅析
林耀泽
《洁净与空调技术》
2008
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