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300mm芯片半导体厂废水处理工程分析 被引量:1
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作者 纪桂飞 《工程建设(维泽科技)》 2021年第11期126-128,共3页
近年来国内半导体产业发展态势良好,芯片生产规模不断扩大,但随之出现的就是废水排放以及处理问题。文中以300mm芯片生产废水处理工程为例,根据工程概况,阐述含氟废水、CMP废水、含铜废水的处理工艺,并以此为基础提出改进建议。
关键词 300mm芯片 半导体厂 废水处理 酸碱废水
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DISCO的300mm战略300mm和芯片的超薄化
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《集成电路应用》 2002年第11期79-81,共3页
关键词 DISCO 300mm芯片 超薄化 DBG 湿刻 干刻 化学机械抛光 3D封装 硅片支持系统
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SEMI:大陆小尺寸芯片供货商实力不可小觑
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《集成电路应用》 2005年第8期8-9,共2页
据国际半导体设备暨材料协会(SEMI)透露,我国正逐步发展成对业界具有指导意义的芯片产业,其中包括一家有300mm芯片制造能力的公司。SEMI的半导体分析师Samuel Ni和Dan Tracy在最近的一份电子邮件中表示,“中国拥有不少重要的芯片... 据国际半导体设备暨材料协会(SEMI)透露,我国正逐步发展成对业界具有指导意义的芯片产业,其中包括一家有300mm芯片制造能力的公司。SEMI的半导体分析师Samuel Ni和Dan Tracy在最近的一份电子邮件中表示,“中国拥有不少重要的芯片供货商。” 展开更多
关键词 300mm芯片 150mm芯片 供货商 SEMI 半导体行业
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