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300mm芯片半导体厂废水处理工程分析
被引量:
1
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作者
纪桂飞
《工程建设(维泽科技)》
2021年第11期126-128,共3页
近年来国内半导体产业发展态势良好,芯片生产规模不断扩大,但随之出现的就是废水排放以及处理问题。文中以300mm芯片生产废水处理工程为例,根据工程概况,阐述含氟废水、CMP废水、含铜废水的处理工艺,并以此为基础提出改进建议。
关键词
300mm芯片
半导体厂
废水处理
酸碱废水
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职称材料
DISCO的300mm战略300mm和芯片的超薄化
2
《集成电路应用》
2002年第11期79-81,共3页
关键词
DISCO
300mm芯片
超薄化
DBG
湿刻
干刻
化学机械抛光
3D封装
硅片支持系统
下载PDF
职称材料
SEMI:大陆小尺寸芯片供货商实力不可小觑
3
《集成电路应用》
2005年第8期8-9,共2页
据国际半导体设备暨材料协会(SEMI)透露,我国正逐步发展成对业界具有指导意义的芯片产业,其中包括一家有300mm芯片制造能力的公司。SEMI的半导体分析师Samuel Ni和Dan Tracy在最近的一份电子邮件中表示,“中国拥有不少重要的芯片...
据国际半导体设备暨材料协会(SEMI)透露,我国正逐步发展成对业界具有指导意义的芯片产业,其中包括一家有300mm芯片制造能力的公司。SEMI的半导体分析师Samuel Ni和Dan Tracy在最近的一份电子邮件中表示,“中国拥有不少重要的芯片供货商。”
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关键词
300mm芯片
150
mm
芯片
供货商
SEMI
半导体行业
下载PDF
职称材料
题名
300mm芯片半导体厂废水处理工程分析
被引量:
1
1
作者
纪桂飞
机构
浙江海芯微半导体科技有限公司
出处
《工程建设(维泽科技)》
2021年第11期126-128,共3页
文摘
近年来国内半导体产业发展态势良好,芯片生产规模不断扩大,但随之出现的就是废水排放以及处理问题。文中以300mm芯片生产废水处理工程为例,根据工程概况,阐述含氟废水、CMP废水、含铜废水的处理工艺,并以此为基础提出改进建议。
关键词
300mm芯片
半导体厂
废水处理
酸碱废水
Keywords
300
mm
chip
semiconductor plant
wastewater treatment
acid alkali wastewater
分类号
X76 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
DISCO的300mm战略300mm和芯片的超薄化
2
出处
《集成电路应用》
2002年第11期79-81,共3页
关键词
DISCO
300mm芯片
超薄化
DBG
湿刻
干刻
化学机械抛光
3D封装
硅片支持系统
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
SEMI:大陆小尺寸芯片供货商实力不可小觑
3
出处
《集成电路应用》
2005年第8期8-9,共2页
文摘
据国际半导体设备暨材料协会(SEMI)透露,我国正逐步发展成对业界具有指导意义的芯片产业,其中包括一家有300mm芯片制造能力的公司。SEMI的半导体分析师Samuel Ni和Dan Tracy在最近的一份电子邮件中表示,“中国拥有不少重要的芯片供货商。”
关键词
300mm芯片
150
mm
芯片
供货商
SEMI
半导体行业
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
F407.63 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
300mm芯片半导体厂废水处理工程分析
纪桂飞
《工程建设(维泽科技)》
2021
1
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职称材料
2
DISCO的300mm战略300mm和芯片的超薄化
《集成电路应用》
2002
0
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职称材料
3
SEMI:大陆小尺寸芯片供货商实力不可小觑
《集成电路应用》
2005
0
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职称材料
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