一种新型三维线性测头结构设计及其误差分析

为减小或消除三维线性测头的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制一种尽可能在三维方向上同时符合阿贝原则的线性测头。该测头做三维运动,水平导轨和竖直导轨采用共平面结构;测头三维测量系统的测量线正交于一点且正交点与测头中心点重合,水平方向和竖直方向测量系统的测量线与水平导轨和竖直导轨面共面。针对此测头的特点,在参考常规测头误差分析的基础上,详细分析该测头中各项误差的影响,给出影响测头不确定度的主要误差源,对这些误差提出了修正方法。