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题名基于LTCC的3D异质集成低通滤波器
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作者
曾竞涛
沈斌
徐金旭
沓世我
章秀银
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机构
华南理工大学电子与信息学院
广东风华高新科技股份有限公司
新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室
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出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2024年第4期69-73,共5页
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基金
国家自然科学基金(62031016,62001172)
广州市重点研发计划(202103020002)
中国博士后科学基金(2022M710818)。
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文摘
在射频应用中,低温共烧陶瓷(LTCC)技术是关键技术路线之一,然而使用单一介质的LTCC技术的性能很局限。为此,文中对基于LTCC的3D异质集成技术进行研究,通过调节流延配方、烧结速度、烧结温度、保温时间等工艺参数,设计异质匹配共烧的烧结行为控制、界面相容性和组织性能调控方案,开发出稳定可靠的LTCC集成工艺,给出基于LTCC异质集成的器件仿真设计、3D集成制备方法,并制作了一款共烧界面结合完好、性能优越的LTCC异质集成低通滤波器进行验证。验证结果表明,该异质集成技术的瓷粉性能指标和可加工特性满足使用要求,预期能够得到广泛应用。
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关键词
低温共烧陶瓷
3d异质集成
低通滤波器
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Keywords
low temperature co-fired ceramic
3d heterogeneous integration
low-pass filter
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分类号
TN713.4
[电子电信—电路与系统]
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