基于FIB的三维表征分析技术及应用进展

聚焦离子束技术凭借其独特的微纳尺度制造能力和优势,已成为纳米科技工作者不可或缺的工具之。随着新型FIB硬件设备的多功能化,FIB三维表征技术的不断完善,使FIB三维表征技术在材料研究领域的应用更加广泛和深入。与其他三维表征技术相比,FIB三维表征技术具有控制精度高、分析微观区域大、分辨率高等特点。FIB技术与SIMS、SEM、EDX、EBSD等系统的结合,可对不同材料进行三维空间状态下的形貌、成分、取向等信息的分析。文章简要概述了3DSIMS、3D-Imaging/EDX、3D-EBSD 4种基于FIB的三维表征技术,具体包括FIB三维表征技术的成像-切割的原理及过程。综述了几种不同表征手段在各种材料中的应用和发展。后指出FIB三维表征技术在应用中的些不足并对该技术发展方向进行了展望。