用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度

原子力显微镜靶丸４π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现４π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于１０ｎｍ，内表面粗糙度小于２０ｎｍ。