4-Mask工艺Cu腐蚀分析及改善研究

针对4-Mask工艺铜数据线腐蚀造成的锯齿状不良现象进行系统研究,发现铜腐蚀发生的工艺步骤和机理,并找到有效的措施。首先,通过显微镜对每道刻蚀工艺后铜数据线形貌进行观测,确定铜腐蚀发生的工艺步骤。接着,通过扫描电子显微镜和X射线电子能谱测量腐蚀生产物成分,对腐蚀机理提出合理解释。最后在铜腐蚀发生机理基础上,提出有效的改善措施。铜腐蚀是在有源半导体层干刻和光刻胶的灰化综合作用下发生,其主要产物为氧化铜、氯化铜。通过先进行灰化工艺然后进行有源半导体层干刻的工艺措施,在铜数据线两侧形成氧化铜保护膜,可以彻底改善铜腐蚀。改善措施可以解决铜腐蚀的问题,彻底消除铜数据线锯齿状不良。

一种基于背景的视频运动对象分割算法

就如何从视频序列中分割出具有语义意义的运动对象 ,本文提出了一种自动的基于背景的运动对象分割算法 ,利用颜色、形状和灰度等特征对第一帧图像进行初步分割 ,然后根据帧间运动信息构造背景图像 ,最后以背景图像和帧差图像作为参考图像 ,对同一场景中的所有视频帧进行快速可靠的分割 .

基于对象的视频分割算法研究与实现

通过对连续3帧图像进行二次差分,自适应估计差分图像的噪声特征参数并滤除噪声,结合边界信息进行数学形态学运算,最终提取运动目标。实验结果证明,该方法能够从背景不变的图像序列中较好的提取出视频运动对象,具有较强的鲁棒性。

分割视频运动对象的研究

随着新的视频压缩标准MPEG-4的出现，如何从视频序列中分割出在语义上有意义的单独运动对象显得极其重要。文章从组成视频运动对象的分割系统出发，详细分析视频分割的各种方法如运动参数模型。变化检测掩模、图象分割及运动对象跟踪等，并对分割运动对象所采用的技术和方法进行了讨论。

TFT-LCD制造工艺中金属残留的解决方案

在TFT-LCD阵列的四次掩模技术中,复合层刻蚀是非常难控制的一道工序,最突出的问题是在复合层刻蚀后信号线的两边有金属残留,金属残留会对之后的绝缘层产生影响,导致断层等不良。调整复合层刻蚀工艺是目前解决金属残留问题的通用方法,但是都没有根本地解决这个问题。文章通过研究信号线刻蚀时间对复合层刻蚀后金属残留的影响,认为通过调整信号线的刻蚀时间能够根本解决复合层刻蚀后金属残留的问题,并且不会使金属线线宽超出控制范围。

基于整数图像技术的自适应窗口立体匹配算法

针对固定窗口区域匹配算法在深度不连续处容易产生相对较大匹配误差的问题,提出了一种基于整数图像技术的自适应窗口立体匹配新算法。文中一种新的相似性测度函数和四方向线型掩模的采用不仅减少了噪声影响而且提高了匹配准确度。同时利用由窗口内平均误差、误差方差以及较大窗口偏移组成的窗口代价函数来确定窗口尺寸极大地提高了匹配精度;整数图像技术的引入将匹配时运算量降低为一常数。实验表明基于整数图像技术的自适应窗口立体匹配算法在局部匹配方法中是比较优秀的,便于实时实现。

自制鼻炎口罩治疗变应性鼻炎的临床研究

目的:观察自制鼻炎口罩治疗变应性鼻炎的临床疗效并探讨其作用机制。方法:将150例变应性鼻炎患者随机分为自制鼻炎口罩治疗组(观察组)、口服中药汤剂组(对照组I)、西药组(对照组Ⅱ),每组50例。3组患者在治疗前和治疗4 W后均进行Ig E、IL-4检测,用SF-36量表对患者生活质量进行评估,同时进行疗效评价。结果:3组患者治疗后Ig E、IL-4水平明显降低,治疗前后比较有统计学意义(P<0.05);治疗前后生活质量评分比较有统计学意义(P<0.05);3组总有效率分别是81.25%、78.72%、83.67%,差异无统计学意义(P>0.05)。结论:自制鼻炎口罩能提高患者生活质量,降低变应性鼻炎患者血清中Ig E、IL-4水平,有效治疗变应性鼻炎。

基于渐进比率掩蔽目标的自适应噪声估计方法

基于深度学习的语音增强算法的性能通常优于传统的基于噪声抑制的语音增强算法。然而当训练数据和测试数据之间存在不匹配时,基于深度学习的语音增强算法通常无法正常工作。针对上述问题,提出一种新的基于渐进比率掩蔽(PRM)的自适应噪声估计(PRM-ANE)方法,并把它作为语音识别系统的预处理方法。所提方法综合利用了具有帧级别的噪声跟踪能力的改进最小统计量控制递归平均(IMCRA)算法和具有学习噪声和语音之间复杂非线性映射关系的渐进学习算法这两种算法。首先,使用二维卷积神经网络(2D-CNN)学习随信噪比(SNR)增加的PRM;其次,通过传统的帧级语音增强算法组合句子级估计的PRM,进行语音增强;最后,将基于多级别信息融合的增强语音直接作为语音识别系统的输入,从而提高识别系统性能。在CHiME-4真实测试集上的实验结果表明,所提方法可以实现7.42%的相对字识别错误率(WER),与IMCRA语音增强方法相比下降了51.41%,可见所提方法能够有效提升下游识别任务的性能。

基于掩码迭代估计的多通道语音识别算法

提出一种基于多通道语音识别的用于波束形成的闭环掩码迭代估计算法,通过神经网络迭代和语音识别获得理想比例掩码估计和语音活动检测信息。结合输入特性数据和输出得分数据,在CHiME-4六通道语音识别实测数据上该算法优于基于复高斯混合模型算法,字识别错误率指标下降了24.1%。