激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究

提出了一种基于准分子激光制备45°微反射镜的新方法──激光阶梯刻蚀法,介绍了该方法的工艺流程。通过优化参数制备了微反射镜样品,详细分析了样品参数对微镜反射性能的影响。利用微反射镜样品进行垂直耦合实验,深入讨论了影响系统损耗的主要因素。实验结果表明,微反射镜样品造成的损耗约为3.5dB。该制备方法有望在大尺寸光波导互连背板耦合器件的研制中得到广泛应用。