期刊文献+
共找到370篇文章
< 1 2 19 >
每页显示 20 50 100
单轴应变对本征和N掺杂4H-SiC电子结构的影响 被引量:1
1
作者 秦彦军 张建强 +5 位作者 杨慧雅 方峥 范晓珍 邝富丽 叶慧群 方允樟 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第3期173-179,共7页
采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,研究了单轴应变对本征和N掺杂4H-SiC电子结构的影响.研究表明应变可以有效调控本征和N掺杂4H-SiC的带隙,在拉应变作用下,带隙单调减小;而在压应变作用下,带隙先增大后减小,当压应变为-1%时,带隙... 采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,研究了单轴应变对本征和N掺杂4H-SiC电子结构的影响.研究表明应变可以有效调控本征和N掺杂4H-SiC的带隙,在拉应变作用下,带隙单调减小;而在压应变作用下,带隙先增大后减小,当压应变为-1%时,带隙达到最大值.对态密度的分析可知本征和N掺杂4H-SiC的价带顶主要来自Si 3p和C 2p态电子,导带底主要来自Si 3p态电子,C 2p态和Si 3p态通过影响价带顶和导带底从而导致应变结构中带隙发生变化.通过Mulliken布局和差分电荷密度分析可知,随着晶格常数的增加Si原子向C原子和N原子转移的电荷减少,同时Si-C原子和Si-N原子之间的共价性减弱. 展开更多
关键词 4h-sic 单轴应变 电子结构 第一性原理
下载PDF
Li掺杂对4H-SiC光电性质影响的理论研究 被引量:1
2
作者 李萍 尹伟 +6 位作者 潘学聪 庞国旺 马亚斌 杨亚宏 杨菲宇 张盼 秦彦军 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2025年第2期151-158,共8页
采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,计算了Li掺杂4H-SiC体系的电子结构及光学性质.结果表明,掺杂前后的4H-SiC均为间接带隙半导体,Li原子间隙掺杂后形成n型半导体,Li原子替位式掺杂体系的禁带中出现了杂质能级,降低了电子跃迁时所... 采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,计算了Li掺杂4H-SiC体系的电子结构及光学性质.结果表明,掺杂前后的4H-SiC均为间接带隙半导体,Li原子间隙掺杂后形成n型半导体,Li原子替位式掺杂体系的禁带中出现了杂质能级,降低了电子跃迁时所需的能量;对电荷差分密度图的分析表明,Li原子失去电子,导致Li-C键和Li-Si键的共价性降低,以离子性为主;在可见光区域,相比于4H-SiC体系,掺杂体系的吸收率峰值均有所提高,其中Li间隙掺杂体系吸收带边最小,吸收率峰值最大,掺杂后的4H-SiC体系对红外、可见光、紫外均能够有所吸收,说明Li掺杂能够有效拓宽4H-SiC对光的响应范围. 展开更多
关键词 Li掺杂 4h-sic 电子结构 光学性质 第一性原理
下载PDF
真空慢退火工艺对4H-SiC核辐射探测器性能的影响
3
作者 杨凯 张春林 +3 位作者 李海霞 李占奎 李荣华 卢子伟 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期248-252,共5页
制备了一种肖特基二极管结构的4H-SiC辐射探测器.在真空环境下,用不同的温度对欧姆电极进行慢退火处理,达到良好的欧姆接触.对其反向I-V特性和能量分辨率进行测试对比,欧姆电极在800℃条件下性能最好,在全耗尽状态下能量分辨率为1.36%,... 制备了一种肖特基二极管结构的4H-SiC辐射探测器.在真空环境下,用不同的温度对欧姆电极进行慢退火处理,达到良好的欧姆接触.对其反向I-V特性和能量分辨率进行测试对比,欧姆电极在800℃条件下性能最好,在全耗尽状态下能量分辨率为1.36%,耐压测试运行稳定, 200 V偏压下漏电流仅有463 pA.与其他退火温度相比,该工艺下的4H-SiC探测器运行稳定,具有漏电流低、能量分辨率高的优势. 展开更多
关键词 4h-sic探测器 欧姆电极 退火 能量分辨率
下载PDF
基于4H-SiC APD单光子探测的主动淬灭电路研究
4
作者 陶晓强 李天义 +3 位作者 徐尉宗 周东 任芳芳 陆海 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期809-815,共7页
为了对比不同类型淬灭电路对4H-SiC雪崩光电二极管(APD)探测性能的影响,采用被动淬灭电路(PQC)和主动淬灭电路(AQC),对两种类型SiC紫外APD进行了单光子探测实验,发现在PQC较长死区时间内,会频发后脉冲现象,导致APD的暗计数率(DCR)较高,... 为了对比不同类型淬灭电路对4H-SiC雪崩光电二极管(APD)探测性能的影响,采用被动淬灭电路(PQC)和主动淬灭电路(AQC),对两种类型SiC紫外APD进行了单光子探测实验,发现在PQC较长死区时间内,会频发后脉冲现象,导致APD的暗计数率(DCR)较高,从而降低器件的信噪比;对APD后脉冲概率的时间分布进行了研究,并进一步对AQC在更高器件过偏压下单光子探测中出现的问题进行了分析,提出了电路改进方案。结果表明,通过将AQC死区时间调整至45 ns,在相同单光子探测效率下,可将器件DCR减少至原先水平的1/4;通过有效抑制后脉冲和加快APD恢复速度,AQC可使器件展现出更加优越的探测性能。此研究为SiC APD在单光子探测中的应用提供了一定的参考。 展开更多
关键词 传感器技术 雪崩光电二极管 主动淬灭电路 4h-sic 单光子探测
下载PDF
电子辐照对4H-SiC MOS材料缺陷的影响
5
作者 刘帅 熊慧凡 +3 位作者 杨霞 杨德仁 皮孝东 宋立辉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第9期1536-1541,共6页
4H-SiC金属氧化物半导体(MOS)基器件在电子辐照环境下应用时可能产生新的材料缺陷,导致其电学性能发生退化。本文选取结构最简单的MOS基器件(4H-SiC MOS电容器)为对象,研究了一系列电子辐照剂量下材料缺陷的演变情况。在10 MeV电子束下... 4H-SiC金属氧化物半导体(MOS)基器件在电子辐照环境下应用时可能产生新的材料缺陷,导致其电学性能发生退化。本文选取结构最简单的MOS基器件(4H-SiC MOS电容器)为对象,研究了一系列电子辐照剂量下材料缺陷的演变情况。在10 MeV电子束下对MOS样品进行30、50、100、500、1 000 kGy剂量的辐照,对辐照前、后样品进行深能级瞬态谱测试(DLTS)和电容-电压(C-V)曲线表征。DLTS实验结果表明,低剂量电子辐照前、后4H-SiC/SiO_(2)界面及近界面处的缺陷没有发生明显变化,而高剂量辐照导致双碳间隙原子缺陷的构型发生了改变,演变后的构型能级位置更深,化学结构更加稳定。C-V曲线测试结果发现,不同电子辐照剂量导致MOS电容器平带电压发生不同程度的负向漂移,这很可能是SiO_(2)氧化层中氧空位数量和4H-SiC/SiO_(2)界面及近界面处缺陷数量共同影响的结果。本文研究结果对研发和优化抗电子辐照的4H-SiC MOS制备工艺具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 4h-sic MOS 电子辐照 缺陷变化 双碳间隙原子 深能级瞬态谱
下载PDF
一种改进型4H-SiC超结UMOS器件
6
作者 张跃 黄润华 柏松 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第S01期254-260,共7页
介绍了1种改进型4H-SiC超结UMOS器件。该结构引入上下掺杂浓度不同的P柱并采用底部厚氧化层。P柱可以与N漂移层形成超结结构,从而在保持高击穿电压的同时减小比导通电阻,底部厚栅氧化层可以减小栅漏电容。结合实际的MOSFET工艺,通过SRI... 介绍了1种改进型4H-SiC超结UMOS器件。该结构引入上下掺杂浓度不同的P柱并采用底部厚氧化层。P柱可以与N漂移层形成超结结构,从而在保持高击穿电压的同时减小比导通电阻,底部厚栅氧化层可以减小栅漏电容。结合实际的MOSFET工艺,通过SRIM仿真给出了离子注入条件,并通过TCAD软件对器件结构参数进行优化仿真,得到了击穿电压为1035 V、比导通电阻为0.886 mΩ·cm^(2)的超结UMOS器件。 展开更多
关键词 4h-sic 超结 UMOS
下载PDF
4H-SiC基功率器件的high-k栅介质材料研究进展
7
作者 刘帅 宋立辉 +1 位作者 杨德仁 皮孝东 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第12期2027-2042,共16页
金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)作为碳化硅绝缘栅结构的典型器件被广泛使用,然而SiO_(2)介电常数低的缺点和SiO_(2)/4H-SiC界面特性差的问题一直制约着4H-SiC绝缘栅结构(金属-绝缘体-半导体,MIS)器件更大规模商业化应用,因此科... 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)作为碳化硅绝缘栅结构的典型器件被广泛使用,然而SiO_(2)介电常数低的缺点和SiO_(2)/4H-SiC界面特性差的问题一直制约着4H-SiC绝缘栅结构(金属-绝缘体-半导体,MIS)器件更大规模商业化应用,因此科研工作者一直致力于寻找能够替代或弥补SiO_(2)的high-k栅介质材料。本文对该科学问题的研究现状进行综述,首先指出合适的high-k栅介质材料应该拥有较宽的禁带宽度、较高的介电常数、良好的界面特性和热稳定性。然后,主要从栅薄膜制备工艺、沉积温度、栅介质界面特性和电学性能等方面对典型high-k栅介质材料的研究结果进行评价,包括氧化铪(HfO_(2))、氧化铝(Al_(2)O_(3))、氮化铝(AlN)、氧化钇(Y_(2)O_(3))、氧化铈(CeO_(2))、氧化锆(ZrO_(2))、氧化镧(La_(2)O_(3))、五氧化二钽(Ta_(2)O_(5))、钛酸钡(BaTiO_(3))、氧化钬(Ho_(2)O_(3))和由它们组合而成的堆栈栅介质。最后,对未来该领域的研究方向进行了展望和建议,例如对栅漏电流机理的研究、对新材料的更多尝试、器件在极端环境下的可靠性问题等。 展开更多
关键词 4h-sic MOS电容器 high-k栅介质材料 堆栈栅介质 界面特性 电学性能
下载PDF
基于4H-SiC的开槽四梁式压阻式加速度计设计及仿真研究
8
作者 白贵文 田学东 +1 位作者 雷程 梁庭 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第2期11-14,35,共5页
基于4H-SiC设计了一种开槽四梁式的压阻式加速度计,通过分析开槽位置、开槽大小对传感器灵敏度及固有频率的影响确定了开槽的相关参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在不同温度场下施加不同载荷时的理论电... 基于4H-SiC设计了一种开槽四梁式的压阻式加速度计,通过分析开槽位置、开槽大小对传感器灵敏度及固有频率的影响确定了开槽的相关参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在不同温度场下施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明:该结构相较于传统双端四梁结构输出灵敏度提升51.4%,固有频率仅下降14.2%,在ANSYS 600℃的稳态温度场环境下,传感器输入载荷与输出电压成线性关系,理论满量程输出为39.71 mV。 展开更多
关键词 4h-sic 开槽 压阻式加速度计 有限元方法 热-力耦合仿真
下载PDF
基于4H-SiC的低横向灵敏度压阻式加速度计设计仿真研究
9
作者 白贵文 雷程 +2 位作者 梁庭 王丙寅 赵艳栋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第8期1-5,共5页
文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论... 文中基于4H-SiC设计了一种开槽式低横向灵敏度压阻式加速度计,通过分析支撑梁位置及开槽尺寸对加速度计性能的影响确定了相关结构参数,并对该结构采用有限元方法进行了热-力耦合仿真,确定了该结构在600℃温度场中施加不同载荷时的理论电压输出。研究结果表明:该结构相较于已有的双端四梁结构X轴方向的横向灵敏度由3.3%降至2.6%,Y轴方向横向灵敏度由29.9%降至1.5%,传感器芯片在600℃高温环境下输入载荷与输出电压呈线性关系,100 g载荷下的理论输出电压为3.65 mV。 展开更多
关键词 4h-sic 低横向灵敏度 压阻式加速度计 有限元方法 热-力耦合仿真
下载PDF
KCl溶液结晶辅助表征4H-SiC衬底中的微划痕
10
作者 张翅腾飞 章嵩 +2 位作者 龚若程 杨军伟 宋华平 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第10期1745-1751,共7页
4H-SiC晶圆表面的微划痕会使外延层中产生大量缺陷,但其线宽低于光学表征技术的极限,无法以无损光学检测的方法获得微划痕在晶圆上的分布规律。本研究基于经典成核理论,利用微划痕上的高指数晶面,通过溶液干燥析晶的方法,使KCl晶体优先... 4H-SiC晶圆表面的微划痕会使外延层中产生大量缺陷,但其线宽低于光学表征技术的极限,无法以无损光学检测的方法获得微划痕在晶圆上的分布规律。本研究基于经典成核理论,利用微划痕上的高指数晶面,通过溶液干燥析晶的方法,使KCl晶体优先成核于高表面能的高指数晶面。实验结果表明:当KCl溶液的浓度为0.013 mol/L时,溶液蒸发后的KCl晶体嵌于微划痕的沟壑内,使微划痕可以间接地被光学方法检测。当KCl溶液的浓度大于0.013 mol/L时,KCl晶体会结晶于没有微划痕的区域,干扰对微划痕的表征。本方法制备的KCl晶体仅吸附成核于4H-SiC表面,不与4H-SiC发生化学反应,通过RCA清洗工艺即可完全去除表面的KCl晶体,不影响晶圆的后续加工工艺。 展开更多
关键词 4h-sic 微划痕 KCl溶液 成核理论 高指数晶面 表面能
下载PDF
具有沟槽氧化物和P-屏蔽层的4H-SiC MPS的设计与仿真
11
作者 蔡艺 汪再兴 +2 位作者 姜佳池 王林昌 党超 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第9期1063-1070,共8页
利用TCAD仿真研究了一种具有沟槽氧化物和P-屏蔽层结构的新型4H-SiC TP-MPS二极管。通过在传统MPS中引入沟槽氧化物和P-屏蔽层,能够有效地抑制器件的迅回效应和改善其反向恢复特性。分别仿真了漂移区掺杂浓度、P-区深度及SiO2厚度等关... 利用TCAD仿真研究了一种具有沟槽氧化物和P-屏蔽层结构的新型4H-SiC TP-MPS二极管。通过在传统MPS中引入沟槽氧化物和P-屏蔽层,能够有效地抑制器件的迅回效应和改善其反向恢复特性。分别仿真了漂移区掺杂浓度、P-区深度及SiO2厚度等关键参数对迅回效应和反向恢复特性的影响。研究结果表明:增加金属功函数、P-区厚度和SiO2厚度,以及减小漂移区掺杂浓度,均可以有效抑制MPS二极管的迅回效应;而增加SiO2厚度、减小P-区厚度和漂移区掺杂浓度均可以改善其反向恢复特性。对比传统MPS结构,TP-MPS结构在SiO2厚度为2.5μm、P-区厚度为2μm、漂移区掺杂浓度为4×10^(15)cm^(-3)的条件下,转折电压降低了34.8%,反向恢复峰值电流降低了23.5%,反向恢复软度因子增加了80%。TP-MPS二极管对迅回效应有明显抑制作用,并且其反向恢复特性得到改善。 展开更多
关键词 4h-sic MPS二极管 迅回效应 转折电压 反向恢复特性
下载PDF
Ultra-high voltage 4H-SiC gate turn-off thyristor for low switching time 被引量:1
12
作者 Qing Liu Hong-Bin Pu Xi Wang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期303-310,共8页
An ultra-high voltage 4H-silicon carbide(Si C) gate turn-off(GTO) thyristor for low switching time is proposed and analyzed by numerical simulation. It features a double epitaxial p-base in which an extra electrical f... An ultra-high voltage 4H-silicon carbide(Si C) gate turn-off(GTO) thyristor for low switching time is proposed and analyzed by numerical simulation. It features a double epitaxial p-base in which an extra electrical field is induced to enhance the transportation of the electrons in the thin p-base and reduce recombination. As a result, the turn-on characteristics are improved. What is more, to obtain a low turn-off loss, an alternating p^+/n^+region formed in the backside acts as the anode in the GTO thyristor. Consequently, another path formed by the reverse-biased n^+–p junction accelerates the fast removal of excess electrons during turn-off. This work demonstrates that the turn-on time and turn-off time of the new structure are reduced to 37 ns and 783.1 ns, respectively, under a bus voltage of 8000 V and load current of 100 A/cm^2. 展开更多
关键词 4h-sic gate turn-off(GTO) thyristor TURN-ON TURN-OFF
下载PDF
4H-SiC晶片热导率的激光拉曼光谱研究
13
作者 任春辉 郭之健 +1 位作者 张宇飞 王凯悦 《太原科技大学学报》 2024年第2期187-192,共6页
在本研究中,使用激光激发的激光拉曼光谱研究了4H-SiC晶片从低温(80 K)到室温(290 K)的热导率。在整个测量过程中,激光既作为拉曼光谱的激发源又作为热源,通过激光加热提高了晶片表面的局部温度。同样,拉曼峰的位置会随着晶片温度的升... 在本研究中,使用激光激发的激光拉曼光谱研究了4H-SiC晶片从低温(80 K)到室温(290 K)的热导率。在整个测量过程中,激光既作为拉曼光谱的激发源又作为热源,通过激光加热提高了晶片表面的局部温度。同样,拉曼峰的位置会随着晶片温度的升高而向高频侧偏移,通过分析拉曼光谱位置的偏移和局部温度升高的关系得到了4H-SiC晶片的热导率。结果表明,4H-SiC晶片的热导率在低温情况下随温度升高而升高,此时K∝T 3,当热导率的值达到最大后随着温度的升高而降低,此时K∝T-1,这归因于声子-声子间相互作用和声子缺陷散射的作用。 展开更多
关键词 4h-sic 热导率 拉曼光谱 低温
下载PDF
Demonstration of irradiation-resistant 4H-SiC based photoelectrochemical water splitting
14
作者 Yan Pei Wenhao Geng +4 位作者 Lingbo Xu Can Cui Xiaodong Pi Deren Yang Rong Wang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第11期74-80,共7页
4H silicon carbide(4H-SiC)has gained a great success in high-power electronics,owing to its advantages of wide bandgap,high breakdown electric field strength,high carrier mobility,and high thermal conductivity.Conside... 4H silicon carbide(4H-SiC)has gained a great success in high-power electronics,owing to its advantages of wide bandgap,high breakdown electric field strength,high carrier mobility,and high thermal conductivity.Considering the high carrier mobility and high stability of 4H-SiC,4H-SiC has great potential in the field of photoelectrochemical(PEC)water splitting.In this work,we demonstrate the irradiation-resistant PEC water splitting based on nanoporous 4H-SiC arrays.A new two-step anodizing approach is adopted to prepare 4H-SiC nanoporous arrays with different porosity,that is,a constant low-voltage etching followed by a pulsed high-voltage etching.The constant-voltage etching and pulsed-voltage etching are adopted to control the diameter of the nanopores and the depth of the nanoporous arrays,respectively.It is found that the nanoporous arrays with medium porosity has the highest PEC current,because of the enhanced light absorption and the optimized transportation of charge carriers along the walls of the nanoporous arrays.The performance of the PEC water splitting of the nanoporous arrays is stable after the electron irradiation with the dose of 800 and 1600 k Gy,which indicates that 4H-SiC nanoporous arrays has great potential in the PEC water splitting under harsh environments. 展开更多
关键词 4h-sic nanoporous arrays water splitting irradiation resistance photoanodes
下载PDF
4H-SiC光导开关性能的仿真研究
15
作者 蓝华英 罗尧天 +2 位作者 崔海娟 肖建平 孙久勋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第2期195-199,共5页
碳化硅光导开关是相关领域的研究热点,但是文献中对4H-SiC光导开关的理论研究仍然以集总元件模型为主,仅能给出定性结果,典型文献中瞬态条件下的实验数据还没有定量的理论解释。文章使用SilvacoTCAD软件中的器件-电路混合模式,结合自编... 碳化硅光导开关是相关领域的研究热点,但是文献中对4H-SiC光导开关的理论研究仍然以集总元件模型为主,仅能给出定性结果,典型文献中瞬态条件下的实验数据还没有定量的理论解释。文章使用SilvacoTCAD软件中的器件-电路混合模式,结合自编的载流子迁移率接口程序,对4H-SiC光导开关的光学电学特性进行模拟仿真。单脉冲响应的仿真结果表明,器件在瞬态条件下的峰值光电流随光能的变化与文献中的实验数据相符合,表明所用模型和参数具有合理性。对影响单脉冲响应的主要因素,包括脉冲能量、脉冲宽度、碳化硅厚度,进行了计算和分析。同时,针对两种碳化硅厚度的器件,进行了多脉冲串响应的计算和分析。文章得到的结果和结论对碳化硅光导开关的进一步研究具有较好的参考价值。 展开更多
关键词 4h-sic 光导开关 SilvacoTCAD 仿真模型
下载PDF
Defects evolution in n-type 4H-SiC induced by electron irradiation and annealing
16
作者 Huifan Xiong Xuesong Lu +5 位作者 Xu Gao Yuchao Yan Shuai Liu Lihui Song Deren Yang Xiaodong Pi 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第7期77-83,共7页
Radiation damage produced in 4H-SiC by electrons of different doses is presented by using multiple characterization techniques. Raman spectra results indicate that SiC crystal structures are essentially impervious to ... Radiation damage produced in 4H-SiC by electrons of different doses is presented by using multiple characterization techniques. Raman spectra results indicate that SiC crystal structures are essentially impervious to 10 Me V electron irradiation with doses up to 3000 kGy. However, irradiation indeed leads to the generation of various defects, which are evaluated through photoluminescence(PL) and deep level transient spectroscopy(DLTS). The PL spectra feature a prominent broad band centered at 500 nm, accompanied by several smaller peaks ranging from 660 to 808 nm. The intensity of each PL peak demonstrates a linear correlation with the irradiation dose, indicating a proportional increase in defect concentration during irradiation. The DLTS spectra reveal several thermally unstable and stable defects that exhibit similarities at low irradiation doses.Notably, after irradiating at the higher dose of 1000 kGy, a new stable defect labeled as R_(2)(Ec-0.51 eV) appeared after annealing at 800 K. Furthermore, the impact of irradiation-induced defects on SiC junction barrier Schottky diodes is discussed. It is observed that high-dose electron irradiation converts SiC n-epilayers to semi-insulating layers. However, subjecting the samples to a temperature of only 800 K results in a significant reduction in resistance due to the annealing out of unstable defects. 展开更多
关键词 4h-sic deep level transient spectroscopy(DLTS) photoluminescence(PL) DEFECTS
下载PDF
基于4H-SiC探测器多球谱仪的聚变中子能谱测量研究
17
作者 张明强 钟国强 +5 位作者 黄娟 常加峰 杜勤 陈传凯 陆洋 陈乐 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期77-84,共8页
Bonner多球谱仪作为主要用于测量中子能谱和剂量的仪器,对于聚变装置的辐射监测与防护具有重要意义。为了研究超导托卡马克(Experimental Advanced Superconducting Tokamak,EAST)在中性束注入(Neutral Beam Injector,NBI)加热实验条件... Bonner多球谱仪作为主要用于测量中子能谱和剂量的仪器,对于聚变装置的辐射监测与防护具有重要意义。为了研究超导托卡马克(Experimental Advanced Superconducting Tokamak,EAST)在中性束注入(Neutral Beam Injector,NBI)加热实验条件下的中子能谱和剂量当量,研制了一套由涂有6LiF的4H-SiC半导体探测器和8个慢化球组成的Bonner中子多球谱仪,在相应放电实验中进行了实验测量。通过与EAST上中子注量监测结果进行源强归一化处理,并结合模拟计算获得的每个慢化球中子响应函数,利用最大熵程序解算出大厅内部中子能谱分布。进一步通过中子注量-剂量转化系数获得中子剂量当量,并与蒙特卡罗方法模拟计算的主机大厅内相应位置的中子能谱和剂量当量进行比较,归一化聚变中子源项下测量位置的中子注量与模拟值的比值为0.98;归一化聚变中子源项下测量位置的周围剂量当量与模拟值的比值为1.05。对比结果验证了该多球谱仪在EAST装置上初步应用的可靠性。 展开更多
关键词 Bonner多球谱仪 4h-sic探测器 中子能谱 EAST
下载PDF
高压下4H-SiC结构、电子和光学性质的理论研究
18
作者 张盼 庞国旺 +4 位作者 尹伟 马亚斌 张钧洲 杨慧慧 秦彦军 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第12期2104-2112,共9页
本文采用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理计算方法对高压下4H-SiC的晶体结构、电子特性及光学性能进行了研究。通过分析不同压力条件下4H-SiC的相对体积、Si—C键长及结构能量的变化,发现该结构在70 GPa以内的压力范围内未发生结构相... 本文采用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理计算方法对高压下4H-SiC的晶体结构、电子特性及光学性能进行了研究。通过分析不同压力条件下4H-SiC的相对体积、Si—C键长及结构能量的变化,发现该结构在70 GPa以内的压力范围内未发生结构相变;大于70 GPa的压力时,具有金属相的RS结构在能量上更具有稳定性。进一步的研究表明,随着压力的不断增加,4H-SiC作为半导体的带隙值呈现增大趋势。同时,其光学性能,包括吸收特性、介电函数和折射率等,均发生了显著变化,揭示了压力在调节4H-SiC电子与光学性质方面具有巨大潜力。本文的研究不仅证实了4H-SiC在高压极端条件下仍具备优异的物理性能和应用潜力,还为其在高压光电材料领域的应用提供了新的理论依据。 展开更多
关键词 高压 4h-sic 晶体结构 电子性质 光学性质 第一性原理计算
下载PDF
1000V 4H-SiC VDMOS结构设计与特性研究
19
作者 李尧 牛瑞霞 +6 位作者 王爱玲 王奋强 蓝俊 张栩莹 张鹏杰 刘良朋 吴回州 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第3期378-383,共6页
设计并优化了一种基于4H-SiC的1000V垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS),在留有50%的裕度后,通过Silvaco仿真软件详细研究了器件各项参数与耐压特性之间的关系。经优化,器件的阈值电压为2.3V,击穿电压达1525V,相较于相同耐... 设计并优化了一种基于4H-SiC的1000V垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS),在留有50%的裕度后,通过Silvaco仿真软件详细研究了器件各项参数与耐压特性之间的关系。经优化,器件的阈值电压为2.3V,击穿电压达1525V,相较于相同耐压条件下的Si基VDMOS,4H-SiC VDMOS的击穿电压提升了12%。此外,击穿时4H-SiC VDMOS表面电场分布相对均匀,最大值为3.4×10^(6)V/cm。终端有效长度为15μm,约为Si基VDMOS的6%,总体面积减小了近1/10。并且4H-SiC VDMOS结构简单,与相同耐压条件下的Si基VDMOS相比,未增加额外的工艺步骤,易于实现。 展开更多
关键词 4h-sic 垂直双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管 击穿电压 漂移区参数 沟道长度
下载PDF
XRD法计算4H-SiC外延单晶中的位错密度 被引量:12
20
作者 贾仁需 张玉明 +1 位作者 张义门 郭辉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1995-1997,共3页
对用X射线衍射法计算4H-SiC外延中的位错密度方法进行了理论和实验研究。材料中的位错密度大于106cm-2会给材料位错密度的测试会带来一定的困难。首先从理论上分析了位错密度对X射线衍射结果的影响,得出位错密度和峰宽FWHM展宽的关系。... 对用X射线衍射法计算4H-SiC外延中的位错密度方法进行了理论和实验研究。材料中的位错密度大于106cm-2会给材料位错密度的测试会带来一定的困难。首先从理论上分析了位错密度对X射线衍射结果的影响,得出位错密度和峰宽FWHM展宽的关系。然后对4H-SiC样品进行了X射线三轴晶ω-2θ测试,采用不同晶面衍射峰,计算出样品的位错密度。分析了外延中位错产生的原因,并提出了相应的解决办法。 展开更多
关键词 4h-sic 同质外延生长 X射线衍射 位错密度
下载PDF
上一页 1 2 19 下一页 到第
使用帮助 返回顶部