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5层工艺技术可以制造更可靠、更复杂的MEMS 被引量：1
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作者 Alix L.Paultre 王正华 《今日电子》 2000年第5期6-7,共2页
5层多晶硅表面微加工工艺可以制成更为可靠,能够完成更为复杂作业的微机电系统(MEMS)。此项首先在美国能源部所属Sandia国家实验室(位于美国新墨西哥州的Albuquerque)实现的工艺技术,可望成为工业界的标准工艺技术;
关键词 5层工艺技术 微机电系统 表面微加工
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