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英特尔寻求半导体设备突破,以跟上摩尔定律
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《电子工业专用设备》 2004年第7期43-44,共2页
IC制造业成本高企,半导体设备产业需要新的、成本可承受的创新。英特尔公司制造技术部副总裁兼制造技术工程部总经理Jai Hakhu表示,半导体设备行业中,在若干个关键的领域上面临许多挑战。
关键词 英特尔公司 半导体设备行业 65nm晶圆设备 晶粒切割
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