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90nm pMOSFETs NBTI退化模型及相关机理(英文) 被引量:1
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作者 曹艳荣 马晓华 +3 位作者 郝跃 于磊 朱志炜 陈海峰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期665-669,共5页
对90nm pMOSFETs在不同温度及栅压应力下的NBTI效应进行了研究,从而提出了90nm pMOSFETs NBTI退化对时间t、温度T及栅压应力Vg的模型.时间模型及温度模型与过去研究所提出的模型相似,但是关键参数有所改变.栅压应力模型遵循双对数关系,... 对90nm pMOSFETs在不同温度及栅压应力下的NBTI效应进行了研究,从而提出了90nm pMOSFETs NBTI退化对时间t、温度T及栅压应力Vg的模型.时间模型及温度模型与过去研究所提出的模型相似,但是关键参数有所改变.栅压应力模型遵循双对数关系,这与传统的单对数栅压应力模型不同.将较低的栅压应力也考虑在内时,双对数栅压应力模型较单对数栅压应力模型更为准确. 展开更多
关键词 NBTI 90nm PMOSFETS 模型
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体硅90nm SRAM重离子单粒子多位翻转实验和数值模拟 被引量:4
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作者 罗尹虹 张凤祁 +2 位作者 郭红霞 陈伟 丁李利 《现代应用物理》 2017年第1期48-55,共8页
建立了单粒子多位翻转的测试方法和数据处理方法,在此基础上开展了体硅90nm SRAM重离子单粒子多位翻转的实验研究。通过分析单粒子多位翻转百分比、均值、尺寸等参数随线性能量转移(linear energy transfer,LET)的变化关系,表明了纳米... 建立了单粒子多位翻转的测试方法和数据处理方法,在此基础上开展了体硅90nm SRAM重离子单粒子多位翻转的实验研究。通过分析单粒子多位翻转百分比、均值、尺寸等参数随线性能量转移(linear energy transfer,LET)的变化关系,表明了纳米尺度下器件单粒子多位翻转的严重性,指出了单粒子多位翻转对现有重离子单粒子效应实验方法和预估方法带来的影响。构建了包含多个存储单元的全三维器件模型,数值模拟研究了不同阱接触布放位置对单粒子多位翻转电荷收集的影响机制,表明阱电势扰动触发多单元双极放大机制是导致单粒子多位翻转的主要因素,减小阱接触与存储单元之间的距离是降低单粒子多位翻转的有效方法。 展开更多
关键词 90nm SRAM 单粒子多位翻转 阱电势扰动 寄生双极放大
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90nm工艺及其相关技术 被引量:11
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作者 翁寿松 《微纳电子技术》 CAS 2003年第4期40-44,共5页
ITRS2001规划2004年实现90nm工艺,英特尔、AMD等世界顶级半导体公司将于2003年采用90nm工艺量产微处理器和逻辑器件。这样使ITRS2001整整提前了一年。90nm工艺包括193nm光刻技术、高k绝缘材料、高速多层铜互连技术、低k绝缘材料、应变... ITRS2001规划2004年实现90nm工艺,英特尔、AMD等世界顶级半导体公司将于2003年采用90nm工艺量产微处理器和逻辑器件。这样使ITRS2001整整提前了一年。90nm工艺包括193nm光刻技术、高k绝缘材料、高速多层铜互连技术、低k绝缘材料、应变硅技术和电压隔离技术等新技术。193nm光刻技术是实现90nm工艺达量产的最关键技术,为此,必须采用193nmArFstepper(准分子激光扫描分步投影光刻机)。讨论了90nm工艺达量产的难点,如掩模版成本较高、成品率较低和应用面暂时不宽等。 展开更多
关键词 90nm工艺 ArF光刻机 高k/低k绝缘材料 铜互连技术 应变硅技术 电压隔离技术 193nm光刻技术
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90nm技术进程
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《微纳电子技术》 CAS 2003年第6期46-46,共1页
关键词 90nm铜制程技术 联电公司 90nm可编程芯片 赛灵思公司
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集成电路迈向90nm新工艺 被引量:1
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作者 朱良辰 胡越黎 冉峰 《微纳电子技术》 CAS 2003年第10期42-44,共3页
介绍集成电路制造技术90nm最新工艺的一些动态及采用的新技术,如应变硅、50nm晶体管栅极长度,并对今后集成电路的发展做了简单展望。
关键词 集成电路 90nm工艺 应变硅 铜工艺 晶体管 多层铜线互连工艺
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Investigation of the characteristics of GIDL current in 90nm CMOS technology 被引量:2
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作者 陈海峰 郝跃 +5 位作者 马晓华 张进城 李康 曹艳荣 张金凤 周鹏举 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期645-648,共4页
A specially designed experiment is performed for investigating gate-induced drain leakage (GIDL) current in 90nm CMOS technology using lightly-doped drain (LDD) NMOSFET. This paper shows that the drain bias VD has... A specially designed experiment is performed for investigating gate-induced drain leakage (GIDL) current in 90nm CMOS technology using lightly-doped drain (LDD) NMOSFET. This paper shows that the drain bias VD has a strong effect on GIDL current as compared with the gate bias VG at the same drain-gate voltage VDG. It is found that the difference between ID in the off-state ID - VG characteristics and the corresponding one in the off-state ID - VD characteristics, which is defined as IDIFF, versus VDG shows a peak. The difference between the influences of VD and VG on GIDL current is shown quantitatively by IDIFF, especially in 90nm scale. The difference is due to different hole tunnellings, Furthermore, the maximum IDIFF(IDIFF,MAX) varies linearly with VDG in logarithmic coordiuates and also VDG at IDIFF,MAX with VF which is the characteristic voltage of IDIFF, The relations are studied and some related expressions are given. 展开更多
关键词 GIDL 90nm CMOS technology band-to-band tunnelling
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中芯通过尔必达90nm工艺认证将于北京300mm厂投产DDRII
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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期553-554,共2页
中芯国际19日正式对外宣布,获得其重要代工客户尔必达(Elpida)旗下90nm512MbDDRII认证,此一产品预期将于中芯北京300mm晶圆厂投产,且据悉,尔必达也是中芯北京300mm厂第一个采用90nm工艺投产的客户。
关键词 90nm工艺 北京 300MM晶圆 客户
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Xilinx 90nm FPGA发货量超过150万
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《电子技术应用》 北大核心 2005年第2期23-23,共1页
关键词 发货量 北京 中国 NASDAQ 厂商 供应商 行业 FPGA 赛灵思公司 90nm工艺
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联电2008年65nm工艺比重可超90nm工艺
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《微纳电子技术》 CAS 2006年第12期600-600,共1页
联电预言,2008年65nm工艺比重可望超过90nm工艺,引领先进工艺,并表示联电2007年投资65,45nm先进工艺的资本支出绝不手软。
关键词 90nm工艺 65nm工艺 比重 资本支出
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东芝采用90nm处理技术使NAND闪存容量达到4GB水平
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《微纳电子技术》 CAS 2004年第4期48-48,共1页
关键词 东芝美国电子元件公司 90nm处理技术 NAND闪存容量 闪存集成电路
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Chipidea的USB高速物理层IP获得特许半导体90nm和65nm客户就绪技术认证
11
《单片机与嵌入式系统应用》 2008年第1期71-71,共1页
MIPS科技公司模拟业务部Chipidea宣布,其USB高速物理层(PHY)IP已获得特许半导体(Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd)65nm和90nm工艺技术认证。Chipidea的USB2.0OTG物理层内核符合USB2.0标准并获得了独立认证权威USB实... MIPS科技公司模拟业务部Chipidea宣布,其USB高速物理层(PHY)IP已获得特许半导体(Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd)65nm和90nm工艺技术认证。Chipidea的USB2.0OTG物理层内核符合USB2.0标准并获得了独立认证权威USB实施者论坛(USB-IF)的认证,是USB高速物理层IP最丰富产品组合的一部分,经过了硅验证并获得了特许半导体客户就绪代工厂解决方案0.18μm、0.13μm、90nm及65nm认证。Chipidea的USB IP有助于缩短用户设计的USB和USB OTG Supplement进入便携式计算设备的时间,如手持设备、移动电话、海量存储设备及数码相机,这些设备的市场正在迅速发展。 展开更多
关键词 USB2.0标准 技术认证 物理层 半导体 SEMICONDUCTOR 客户 90nm工艺 计算设备
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90nm工艺时间表可能放慢
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《电子产品世界》 2003年第06B期25-25,45,共2页
关键词 90nm工艺 运营模式 电子制造工艺 成本
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Elpida Memory公司90nm硅晶片工艺
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《电子产品世界》 2005年第04B期28-28,共1页
Elpida Memory公司开发出制造高性能DRAM产品的90nm工艺。90nm是继100nm之后的下一代硅晶片制造工艺尺寸。采用这一工艺后,可缩小每个芯片的尺寸,而且总体生产效率也得到提高,可实现单个晶片制造出更多硅芯片。这种90nm工艺技术将首... Elpida Memory公司开发出制造高性能DRAM产品的90nm工艺。90nm是继100nm之后的下一代硅晶片制造工艺尺寸。采用这一工艺后,可缩小每个芯片的尺寸,而且总体生产效率也得到提高,可实现单个晶片制造出更多硅芯片。这种90nm工艺技术将首先应用到明年开始生产的高性能512Mb和1Gb DDR2 SDRAM产品上。Elpida新的90nm生产线将采用KrF光刻技术, 展开更多
关键词 Elpida Memory公司 硅晶片工艺 90nm工艺 DRAM产品 动态随机存储器 芯片
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90nm/12英寸来了
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《电子产品世界》 2004年第04A期29-29,共1页
关键词 90nm工艺 12英寸生产线 市场 芯片业
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飞利浦将扩大其90nm工艺芯片产量
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《电子元器件应用》 2005年第12期127-127,共1页
飞利浦电子公司在位于法国的Crolles2联盟晶圆厂开始批量生产三种采用90-nm工艺制造的CMOS产品。飞利浦称其中一款基带芯片(用于高集成度系统级封装SiP的连通性器件)已经以每月100万片的出货量发货。针对SiP的基带芯片,主要用于WLAN... 飞利浦电子公司在位于法国的Crolles2联盟晶圆厂开始批量生产三种采用90-nm工艺制造的CMOS产品。飞利浦称其中一款基带芯片(用于高集成度系统级封装SiP的连通性器件)已经以每月100万片的出货量发货。针对SiP的基带芯片,主要用于WLAN与蓝牙应用。 展开更多
关键词 飞利浦电子公司 基带芯片 90nm工艺 产量 系统级封装 CMOS 工艺制造 批量生产 高集成度 蓝牙应用
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Xilinx采用90nm工艺制造FPGA器件
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《电子产品世界》 2003年第07B期103-103,共1页
作为采用300mm晶圆和90nm制造技术制造FPGA产品的供应商,赛灵思公司(Xilinx)继续保持与竞争解决方案间的巨大成本优势。与目前的130nm技术相比,采用90nm工艺技术使芯片面积和芯片成本降低了50%-80%,结合300mm晶圆技术,每晶圆可生... 作为采用300mm晶圆和90nm制造技术制造FPGA产品的供应商,赛灵思公司(Xilinx)继续保持与竞争解决方案间的巨大成本优势。与目前的130nm技术相比,采用90nm工艺技术使芯片面积和芯片成本降低了50%-80%,结合300mm晶圆技术,每晶圆可生产的有效芯片数量是采用130nm技术在200mm晶圆上获得芯片数量的5倍。 展开更多
关键词 90nm工艺 300MM晶圆 有效芯片数 赛灵思公司 FPGA器件 解决方案 制造技术 成本优势 供应商 成本降低
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飞利浦推出首批由90nm CMOS生产线生产的硅芯片
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《电源技术应用》 2004年第6期380-380,共1页
皇家飞利浦电子日前宣布其位于法国Crolles的Crolles2晶圆厂的CMOS生产线和台积电晶圆厂生产出了首批硅芯片,开创了90nm CMOS芯片投产的先河,具有里程碑意义。飞利浦CMOS090LP是世界首批低电漏90nm CMOS工艺制造的系统芯片解决方案之... 皇家飞利浦电子日前宣布其位于法国Crolles的Crolles2晶圆厂的CMOS生产线和台积电晶圆厂生产出了首批硅芯片,开创了90nm CMOS芯片投产的先河,具有里程碑意义。飞利浦CMOS090LP是世界首批低电漏90nm CMOS工艺制造的系统芯片解决方案之一。该商用硅芯片集成了ARM处理内核和SRAM、ROM以及专为无线应用设计的模拟信号电路。 展开更多
关键词 硅芯片 90nm CMOS生产线 模拟信号电路 半导体芯片 飞利浦公司
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飞利浦推出90nm基于ARM9的微控制器系列
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《电子产品世界》 2005年第05B期22-22,共1页
飞利浦电子公司(Philips Electronics)推出90nm基于ARM9的32位微控制器系列LPC3000,该系列基于Nexperia平台,采用飞利浦、飞思卡尔半导体和意法半导体在法国建立的Crolles2联盟先进90nm工艺、300mm晶圆设备制造。该公司称通过采用先进... 飞利浦电子公司(Philips Electronics)推出90nm基于ARM9的32位微控制器系列LPC3000,该系列基于Nexperia平台,采用飞利浦、飞思卡尔半导体和意法半导体在法国建立的Crolles2联盟先进90nm工艺、300mm晶圆设备制造。该公司称通过采用先进的90nm工艺和ARM926EJ—S内核,可以降低芯片成本,减少功耗,并提高其先进的32位微控制器的运行速度。 展开更多
关键词 推出 32位微控制器 NEXPERIA 90nm工艺 飞利浦电子公司 300MM晶圆 意法半导体 设备制造 运行速度
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飞利浦首推基于ARM9的90nm微控制器系列
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《单片机与嵌入式系统应用》 2005年第5期14-14,共1页
2005年3月28日,皇家飞利浦电子公司在2005年飞利浦半导体微控制器研讨会上宣布,利用其一直以来对90nm技术的承诺及技术专长,推出基于ARM9系列的90nm 32位微控制器系列。LPC300系列基于飞利浦的Nexperia平台,采用飞利浦,飞思卡尔半... 2005年3月28日,皇家飞利浦电子公司在2005年飞利浦半导体微控制器研讨会上宣布,利用其一直以来对90nm技术的承诺及技术专长,推出基于ARM9系列的90nm 32位微控制器系列。LPC300系列基于飞利浦的Nexperia平台,采用飞利浦,飞思卡尔半导体和意法半导体在法国建立的Crolles2联盟先进的300mm试验设备开发的90nm工艺技术制造。 展开更多
关键词 皇家飞利浦电子公司 NEXPERIA 32位微控制器 2005年 90nm工艺 300系列 300mm 意法半导体 技术制造 设备开发 研讨会 LPC
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飞利浦首推基于ARM9^(TM)的90nm微控制器系列
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《电源技术应用》 2005年第5期i008-i008,共1页
皇家飞利浦电子公司(NYSE交易代号:PHG,AEX交易代号:PHI)利用其一直以来对90nm技术的承诺及技术专长,推出业界首个基于ARM9^TM系列的90nm32位微控制器系列。LPC3000系列基于飞利浦的Nexpcria^TM平台,采用飞利浦、飞思卡尔半导体和... 皇家飞利浦电子公司(NYSE交易代号:PHG,AEX交易代号:PHI)利用其一直以来对90nm技术的承诺及技术专长,推出业界首个基于ARM9^TM系列的90nm32位微控制器系列。LPC3000系列基于飞利浦的Nexpcria^TM平台,采用飞利浦、飞思卡尔半导体和意法半导体在法国建立的Crolles2联盟先进的300nm验设备开发的90nm工艺技术制造。通过采用90nm工艺技术和ARM 926EJ-S^TM内核,飞利浦可以降低生产成本,减少功耗,并提高其先进的32位微控制器的运行速度。对行业、外设控制、电动机、网络和安全应用领域的生产商而言,高性能、低功耗和低成本得到了最佳的结合。 展开更多
关键词 32位微控制器 皇家飞利浦电子公司 90nm工艺 意法半导体 技术制造 设备开发 工艺技术 生产成本 运行速度 应用领域 M系列 ARM 电动机 生产商 低功耗 代号 交易 内核 外设
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