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PECVD法制备a-Si_(1-x)C_x∶H薄膜的结构及光学性能研究 被引量:2
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作者 张翼英 杜丕一 +2 位作者 韩高荣 翁文剑 汪建勋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期192-195,203,共5页
aSi1xCx∶H的禁带宽度能随着薄膜中碳和氢的含量的变化而发生改变。深入了解薄膜中的键合情况及其对薄膜光学带隙的影响尤为重要。本文采用PECVD法,以硅烷(SiH4)和甲烷(CH4)为反应气源,通过选用不同的沉积功率及不同的组成制备出aSi1xCx... aSi1xCx∶H的禁带宽度能随着薄膜中碳和氢的含量的变化而发生改变。深入了解薄膜中的键合情况及其对薄膜光学带隙的影响尤为重要。本文采用PECVD法,以硅烷(SiH4)和甲烷(CH4)为反应气源,通过选用不同的沉积功率及不同的组成制备出aSi1xCx∶H薄膜,并采用红外光谱、喇曼光谱及紫外可见光谱等分析测试手段对薄膜中SiC键的形成及其对光学能隙的影响进行了研究分析。分析表明SiC键的形成几率及SiC键的形成能力随着C和Si的含量接近而显著增加,SiC键随着沉积功率的提高显著增加。研究得出,薄膜的光学能隙Eg受到aSi1xCx∶H薄膜中的键合情况及薄膜缺陷态的影响。Eg随着薄膜中SiC键含量的增加而变大,随着薄膜中的H含量的减少缺陷态的增加而减小。 展开更多
关键词 a-si1-xCx:H薄膜 Si-C键 光学带隙
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RF-PECVD法制备a-Si_(1-x)C_x:H薄膜的光学性能研究 被引量:2
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作者 邱毅娇 李伟 +2 位作者 吴茂阳 傅俊威 蒋亚东 《电子器件》 CAS 2011年第1期21-24,共4页
以SiH4和CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,通过改变CH4/SiH4流量比和射频功率制备非化学计量比氢化非晶碳化硅(a-Si1-xCx:H)薄膜。采用傅里叶转换红外光谱(FTIR)和紫外-可见(UV-Vis)光谱等测试手段,对薄膜的... 以SiH4和CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,通过改变CH4/SiH4流量比和射频功率制备非化学计量比氢化非晶碳化硅(a-Si1-xCx:H)薄膜。采用傅里叶转换红外光谱(FTIR)和紫外-可见(UV-Vis)光谱等测试手段,对薄膜的成键情况及其对光学带隙的影响进行了研究分析。结果表明,Si-C键的强度和光学带隙随着CH4/SiH4流量比的增加而增大;但是,随着射频功率的增加,a-SiC:H薄膜的光学带隙反而略有减小。 展开更多
关键词 a-si(1-x)Cx:H薄膜 PECVD 傅里叶转换红外光谱 紫外-可见光谱 光学性能
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衬底温度对a-Si_(1-x)C_x:H薄膜成分的影响
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作者 田帅 简红彬 《鲁东大学学报(自然科学版)》 2011年第3期229-231,共3页
采用热壁低压化学气相沉积(LPCVD)技术,在Si(100)衬底上成功制备出了具有化学计量的氢化非晶碳化硅(a-Si1-xCx∶H)薄膜,并用傅里叶变换红外光谱仪和X射线光电子能谱仪对薄膜成分进行了分析,探讨了衬底温度对a-Si1-xCx∶H薄膜成分的影响... 采用热壁低压化学气相沉积(LPCVD)技术,在Si(100)衬底上成功制备出了具有化学计量的氢化非晶碳化硅(a-Si1-xCx∶H)薄膜,并用傅里叶变换红外光谱仪和X射线光电子能谱仪对薄膜成分进行了分析,探讨了衬底温度对a-Si1-xCx∶H薄膜成分的影响,结果发现随着衬底温度升高,CH4分解效率得到提高,过量的C形成了C-C键. 展开更多
关键词 热壁LPCVD a-si1-xCx∶H薄膜 衬底温度 薄膜成分
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Positive Magnetoresistance in Hydrogenated Amorphous Alloys Silicon Nickel a-Si<sub>1-y</sub>Niy:H at Very Low Temperature with Magnetic Field
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作者 Abdelfattah Narjis Abdelhamid El kaaouachi +5 位作者 Jamal Hemine Abdelghani Sybous Lhoussine Limouny Said Dlimi Rachid Abdia Gerard Buskipski 《Journal of Modern Physics》 2012年第6期447-450,共4页
We present results of an experimental study of magnetoresistance phenomenon in an amorphous silicon-nickel alloys a-Si1-yNiy:H:H (where y = 0.23) on the insulating side of the metal-insulator transition (MIT) in prese... We present results of an experimental study of magnetoresistance phenomenon in an amorphous silicon-nickel alloys a-Si1-yNiy:H:H (where y = 0.23) on the insulating side of the metal-insulator transition (MIT) in presence of magnetic field up to 4.5 T and at very low temperature. The electrical resistivity is found to follow the Efros-Shklovskii Variable Range Hopping regime (ES VRH) with T -1/2. This behaviour indicates the existence of the Coulomb gap (CG) near the Fermi level. 展开更多
关键词 Amorphous Silicon-Nickel Alloys a-si1-yNiy:H Variable Range Hopping Conductivity Metal Insulator Transition Positive Magnetoresistance
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Numerical simulation of a triple-junction thin-film solar cell based on μc-Si_(1-x)Ge_x :H 被引量:3
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作者 黄振华 张建军 +5 位作者 倪牮 曹宇 胡子阳 李超 耿新华 赵颖 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期680-685,共6页
In this paper, a-Si:H/a-SiGe:H/μc-SiGe:H triple-junction solar cell structure is proposed. By the analyses of mi- croelectronic and photonic structures (AMPS-1D) and our TRJ-F/TRJ-M/TRJ-B tunneling-recombination... In this paper, a-Si:H/a-SiGe:H/μc-SiGe:H triple-junction solar cell structure is proposed. By the analyses of mi- croelectronic and photonic structures (AMPS-1D) and our TRJ-F/TRJ-M/TRJ-B tunneling-recombination junction (TRJ) model, the most preferably combined bandgap for this structure is found to be 1.85 eV/1.50 eV/1.0 eV. Using more realistic material properties, optimized thickness combination is investigated. Along this direction, a-Si:H/a-SiGe:H/μc-SiGe:H triple cell with an initial efficiency of 12.09% (Voc = 2.03 V, FF = 0.69, Jsc = 8.63 mA/cm^2, area = 1 cm^2) is achieved in our laboratory. 展开更多
关键词 a-si:H/a-siGe:H/μc-SiGe:H triple-junction solar cell simulation analyses of microelectronic andphotonic structures (AMPS-1D)
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Effect of Ge Incorporation on Bandgap and Photosensitivity of Amorphous SiGe Thin Films 被引量:2
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作者 Gopal G. Pethuraja Roger E. Welser +5 位作者 Ashok K. Sood Changwoo Lee Nicholas J. Alexander Harry Efstathiadis Pradeep Haldar Jennifer L. Harvey 《Materials Sciences and Applications》 2012年第2期67-71,共5页
We investigated the structural and optical properties of amorphous-SiGe thin films synthesized via a low-cost, high-growth rate deposition method. Films were formed by e-beam evaporation of mixed pellets of Si and Ge.... We investigated the structural and optical properties of amorphous-SiGe thin films synthesized via a low-cost, high-growth rate deposition method. Films were formed by e-beam evaporation of mixed pellets of Si and Ge. Film composition was varied by changing the weight ratio of Si and Ge pellets mixture. Films were amorphous with a composition uniform. Ge-rich films are in tensile stress, while Si-rich films are in compressive stress. As the Ge fraction increases (from 22 at.% to 94 at.%), the optical bandgap decreases (from 1.7 eV to 0.9 eV) and the photosensitivity of the films extends into IR band of solar spectrum. By changing the weighted ratio of the evaporation source mixture, the bandgap and optical sensitivity of a-SiGe films can be easily tuned. Our studies prove that a-SiGe films are a tunable absorber. This can be used for photo-detector, photovoltaic and microelectronic applications to extend the spectral response. 展开更多
关键词 a-si1–xgex THIN FILMS Structural PROPERTIES Optical PROPERTIES Compositional EFFECT Bandgap Tuning
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等离子体增强磁控溅射沉积碳化硅薄膜的化学结构与成膜机理 被引量:5
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作者 孙文立 徐军 陆文琪 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2311-2316,共6页
以CH4和Ar为工作气体,单晶硅为溅射靶,通过微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体增强非平衡磁控溅射方法在不同的CH4流量和沉积温度下制备了a-Si1-xCx∶H薄膜.利用傅里叶变换红外(FT-IR)光谱,X光电子能谱(XPS)和纳米硬度仪等表征方法研究... 以CH4和Ar为工作气体,单晶硅为溅射靶,通过微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体增强非平衡磁控溅射方法在不同的CH4流量和沉积温度下制备了a-Si1-xCx∶H薄膜.利用傅里叶变换红外(FT-IR)光谱,X光电子能谱(XPS)和纳米硬度仪等表征方法研究不同沉积参数下薄膜的化学结构、化学配比和硬度的变化.结果表明:室温(25℃)下随CH4流量由5cm·3min-1增加到45cm3·min-1(标准状态)时,薄膜中Si—CH2键,C—H键含量逐渐增加,Si—H键变化不明显;膜中C原子百分比由28%增至76%,Si原子百分比由62%降至19%.当CH4流量为15cm3·min-1时,随沉积温度的升高,薄膜中Si和C原子百分比含量分别为52%和43%,且基本保持不变;膜中Si—H键和C—H键转化为Si—C键,薄膜的显微硬度显著提高,在沉积温度为600℃时达到29.7GPa.根据分析结果,提出了室温和高温下a-Si1-xCx:H薄膜生长模型. 展开更多
关键词 等离子体增强磁控溅射 a-si1-xCx∶H薄膜 FT-IR 化学结构 硬度 成膜机理
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硅锗量子阱结构在硅异质结太阳电池中应用的数值模拟 被引量:1
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作者 张晓宇 张丽平 +1 位作者 马忠权 刘正新 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第13期304-310,共7页
利用半导体工艺和器件仿真软件silvaco TCAD(Technology Computer Aided Design),模拟研究了采用硅/硅锗合金(silicon/silicon germanium alloy,Si/Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构作为吸收层的薄膜晶体硅异质结太阳电池各项性能.模拟结果显示... 利用半导体工艺和器件仿真软件silvaco TCAD(Technology Computer Aided Design),模拟研究了采用硅/硅锗合金(silicon/silicon germanium alloy,Si/Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构作为吸收层的薄膜晶体硅异质结太阳电池各项性能.模拟结果显示,长波波段光学吸收随锗含量的增加而增加,而开路电压则因Si_(1-x)Ge_x)层带隙的降低而下降.锗含量为0.25时,短路电流密度的增加补偿了开路电压的衰减,效率提升0.2%.氢化非晶硅/晶体硅(a-Si:H/c-Si)界面空穴密度以及Si_(1-x)Ge_x)量子阱的体空穴载流子浓度制约着空穴费米能级的位置,进而影响到开路电压的大小.随着锗含量增加,a-Si:H/c-Si界面缺陷对开压的影响降低,Si_(1-x)Ge_x)量子阱的体缺陷对开压的影响则相应增加.高效率含Si_(1-x)Ge_x)量子阱结构的硅异质结太阳电池的制备需要a-Si:H/c-Si界面缺陷的良好钝化以及高质量Si_(1-x)Ge_x)量子阱的生长. 展开更多
关键词 Si/Si1-xgex量子阱 异质结太阳电池 界面复合 a-si:H/c-Si
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Variable Range Hopping in Hydrogenated Amorphous Silicon-Nickel Alloys
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作者 Abdelfattah Narjis Abdelhamid El kaaouachi +6 位作者 Abdelghani Sybous Lhoussine Limouny Said Dlimi Abdessadek Aboudihab Jamal Hemine Rachid Abdia Gerard Biskupski 《Journal of Modern Physics》 2012年第7期517-520,共4页
On the insulating side of the metal-insulator transition (MIT), the study of the effect of low Temperatures T on the electrical transport in amorphous silicon-nickel alloys a-Si1-yNiy:H exhibits that the electrical co... On the insulating side of the metal-insulator transition (MIT), the study of the effect of low Temperatures T on the electrical transport in amorphous silicon-nickel alloys a-Si1-yNiy:H exhibits that the electrical conductivity follows, at the beginning, the Efros-Shklovskii Variable Range Hopping regime (ES VRH) with T-1/2. This behaviour showed that long range electron-electron interaction reduces the Density Of State of carriers (DOS) at the Fermi level and creates the Coulomb gap (CG). For T higher than a critical value of temperature TC, we obtained the Mott Variable Range Hopping regime with T-1/4, indicating that the DOS becomes almost constant in the vicinity of the Fermi level. The critical temperature TC decreases with nickel content in the alloys. 展开更多
关键词 AMORPHOUS Silicon-Nickel Alloys a-si1-yNiy:H Variable Range HOPPING CONDUCTIVITY Transport Phenomenon Metal INSULATOR Transition
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