热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针

提出了原子力 光子扫描隧道显微镜 (AF PSTM)系统的关键部分———双功能弯曲光纤探针的制作方法 .采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF PSTM弯曲光纤探针 ,弯曲角度约为 15 0°,尖端曲率半径优于 10 0nm ,锥角范围为 60°— 90° .将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF PSTM系统上 ,同时获得了样品的光学与形貌图像 。