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用于GaAs贯穿注入和包封退火的AIN薄膜
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作者 曹昕 罗晋生 +1 位作者 陈堂胜 陈克金 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期302-306,共5页
用直流反应溅射淀积的AIN薄膜作包封介质对GaAs进行了贯穿注入和包封退火。用电化学C-V法测量了载流子的分布。实验结果与TRIM模拟结果符合得很好。用50nm的AIN包封进行贯穿注入和退火,得到了较小的标准偏差,较陡峭的载流子分布和较... 用直流反应溅射淀积的AIN薄膜作包封介质对GaAs进行了贯穿注入和包封退火。用电化学C-V法测量了载流子的分布。实验结果与TRIM模拟结果符合得很好。用50nm的AIN包封进行贯穿注入和退火,得到了较小的标准偏差,较陡峭的载流子分布和较高的激活率。应用AIN包封层后,当注入能量180keV,注入剂量7.5×10~13cm~-2时,所得到的最高载流子浓度为1.84×10~18cm~-3,样品方块电阻为118Ω/□。 展开更多
关键词 离子注入 快速热退火 热退火 ALN薄膜 砷化镓
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氮化铝薄膜结构和表面粗糙度的研究 被引量:19
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作者 许小红 武海顺 +1 位作者 张富强 金志浩 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期394-397,共4页
采用直流磁控溅射的方法 ,在 Si(111)基片上沉积 Al N(10 0 )面择优取向薄膜 ,研究了溅射功率对 Al N薄膜结构及表面粗糙度的影响。结果表明 ,随着溅射功率的增加 ,沉积速率增大 ,但薄膜结构择优取向度变差 ,表面粗糙度增大 ,这说明要... 采用直流磁控溅射的方法 ,在 Si(111)基片上沉积 Al N(10 0 )面择优取向薄膜 ,研究了溅射功率对 Al N薄膜结构及表面粗糙度的影响。结果表明 ,随着溅射功率的增加 ,沉积速率增大 ,但薄膜结构择优取向度变差 ,表面粗糙度增大 ,这说明要制备择优取向良好、表面粗糙度小的 Al N薄膜 ,需选择较小的溅射功率。 展开更多
关键词 氮化铝薄膜 表面粗糙度 结构 压电材料
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Si基薄膜体声波谐振器(FBAR)技术研究 被引量:4
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作者 韩东 胡顺欣 +3 位作者 冯彬 王胜福 邓建国 许悦 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期456-459,469,共5页
介绍了目前国际上主流的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,分析了FBAR谐振器的结构设计和压电薄膜选取方案。依托Si基半导体工艺平台,采用牺牲层技术完成了空气腔的制作,利用磁控反应溅射技术制备的高质量(002)AlN薄膜作为压电材料,基于FBAR... 介绍了目前国际上主流的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术,分析了FBAR谐振器的结构设计和压电薄膜选取方案。依托Si基半导体工艺平台,采用牺牲层技术完成了空气腔的制作,利用磁控反应溅射技术制备的高质量(002)AlN薄膜作为压电材料,基于FBAR多层立体结构,实现了空气腔型FBAR谐振器的制作工艺,实际制作了FBAR谐振器样品。实测FBAR谐振器样品典型指标:Q值≥300,谐振频率为1.46 GHz,谐振频率覆盖L波段。测试结果验证了设计方案及工艺路径的正确性与可行性,为后续产品的研发提供了技术基础。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器 氮化铝薄膜 空气腔 牺牲层技术 谐振器
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AlN基片的薄膜金属化 被引量:7
4
作者 高能武 陆吟泉 +1 位作者 秦跃利 吴云海 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1999年第5期22-23,共2页
讨论了AlN基片的薄膜金属化。通过试验,确定了有效的清洗方法及优化溅射参数。实验证明,TiW-Au 是AlN的优良金属化体系。AlN材料经激光划片后出现导电物质,
关键词 AlN基片 薄膜 金属化 混合集成电路
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反应式脉冲激光溅射淀积AlN薄膜化学稳定性研究 被引量:7
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作者 汪洪海 郑启光 +1 位作者 魏学勤 丘军林 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期28-31,46,共5页
就反应式脉冲激光溅射淀积制备氮化铝(AlN)薄膜的过程,讨论了激光脉冲能量密度及脉冲频率对所制备薄膜结构性能的影响,并对薄膜的化学稳定性作了比较详细的研究。结果表明,当薄膜中存在有未反应的单质铝时,薄膜的化学稳定性极... 就反应式脉冲激光溅射淀积制备氮化铝(AlN)薄膜的过程,讨论了激光脉冲能量密度及脉冲频率对所制备薄膜结构性能的影响,并对薄膜的化学稳定性作了比较详细的研究。结果表明,当薄膜中存在有未反应的单质铝时,薄膜的化学稳定性极差。比较而言,具有高取向性,择优生长的致密AIN微晶膜的化学稳定性优于结构相对疏松的非晶膜。实验测试得到,在75℃,85%的H3PO4溶液和20℃,05M的NaOH溶液中,AlN微晶膜的溶解速度分别为265nm·min-1和146nm·min-1,激活能为232KJ·mol-1和363KJ·mol-1;在同样条件AlN非晶膜的溶解速率分别为552nm·min-1和306nm·min-1,AlN非晶膜在H3PO4中的激活能为184KJ·mol-1。 展开更多
关键词 ain薄膜 化学稳定性 反应式脉冲激光溅射淀积
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用于GaAs功率MESFET的新型钝化膜 被引量:3
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作者 曹昕 罗晋生 +1 位作者 陈堂胜 陈克金 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期165-169,共5页
用直流反应溅射淀积的AlN薄膜对GaAs功率MESFET进行了钝化。给出了钝化后器件的直流特性。器件的直流参数BVGD、IDSS和Vp在钝化后几乎没有改变。还给出了器件的微波特性。实验证明,AlN钝化的器件性能较好,它是一种很有前途的GaAs钝化... 用直流反应溅射淀积的AlN薄膜对GaAs功率MESFET进行了钝化。给出了钝化后器件的直流特性。器件的直流参数BVGD、IDSS和Vp在钝化后几乎没有改变。还给出了器件的微波特性。实验证明,AlN钝化的器件性能较好,它是一种很有前途的GaAs钝化材料。 展开更多
关键词 功率MESFET 钝化 ALN薄膜 砷化镓 溅射
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AlN电子薄膜材料的研究进展 被引量:12
7
作者 周继承 石之杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期14-16,24,共4页
AlN是一种在热、电、光和机械等方面具有良好综合性能的材料,作为电子薄膜材料在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用。简介了AlN薄膜的制备方法,评述了国内外各科研团体的最新研究成果和进展,阐述了AlN... AlN是一种在热、电、光和机械等方面具有良好综合性能的材料,作为电子薄膜材料在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用。简介了AlN薄膜的制备方法,评述了国内外各科研团体的最新研究成果和进展,阐述了AlN薄膜的应用,并综述了近年来AlN薄膜作为缓冲层、SOI结构的绝缘埋层和吉赫兹级声表面波器件压电薄膜的研究现状。 展开更多
关键词 ain电子薄膜材料 电子元器件 应用 进展
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中频磁控反应溅射AlN薄膜及微观结构研究 被引量:3
8
作者 陈勇 袁军林 +3 位作者 段丽 杨雄 翁卫祥 郭太良 《真空》 CAS 北大核心 2010年第1期34-38,共5页
采用中频磁控反应溅射工艺进行了氮化铝薄膜的制备,对沉积速率、晶体结构和表面形貌与氮气流量和溅射功率之间的变化关系进行了研究。结果表明,通过调节N2流量和溅射功率选择性地获得非晶态和沿着c轴方向择优生长的晶态AlN薄膜。在化合... 采用中频磁控反应溅射工艺进行了氮化铝薄膜的制备,对沉积速率、晶体结构和表面形貌与氮气流量和溅射功率之间的变化关系进行了研究。结果表明,通过调节N2流量和溅射功率选择性地获得非晶态和沿着c轴方向择优生长的晶态AlN薄膜。在化合物沉积模式下,增加溅射功率和增加反应气体流量均有利于获得非晶态AlN薄膜,并且减小薄膜表面粗糙度,获得光滑的AlN薄膜,并采用薄膜生长原理对这种现象进行了解释。 展开更多
关键词 中频磁控反应溅射 氮化铝薄膜 沉积速率 晶体结构 表面粗糙度
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用于高温压力传感器的AlN绝缘膜的研究 被引量:3
9
作者 李辉 孙以材 +1 位作者 潘国锋 邱美艳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第10期778-781,共4页
采用直流磁控反应溅射法制备了高温压力传感器用的AlN薄膜。用X射线衍射对薄膜的晶向结构进行了分析,研究了薄膜的绝缘特性和化学稳定性,分析了AlN与Si的热膨胀系数、热导系数的关系。选用AlN在力敏电阻条和硅弹性膜之间进行绝缘隔离,... 采用直流磁控反应溅射法制备了高温压力传感器用的AlN薄膜。用X射线衍射对薄膜的晶向结构进行了分析,研究了薄膜的绝缘特性和化学稳定性,分析了AlN与Si的热膨胀系数、热导系数的关系。选用AlN在力敏电阻条和硅弹性膜之间进行绝缘隔离,由于无p-n结,力敏电阻无反向漏电,得到了极好的压力传感器特性,即零点电漂移及热漂移小及非线性小。 展开更多
关键词 氮化铝薄膜 高温压力传感器 直流磁控反应溅射
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TiN/AlN纳米多层膜的制备及耐蚀性能 被引量:2
10
作者 潘应君 陈淑花 +1 位作者 周青春 吴新杰 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期39-41,共3页
采用多弧离子镀技术制备了TiN/AlN纳米多层膜,并通过多层膜在酸中的浸泡试验及极化曲线测定,对比研究了TiN/AlN纳米多层膜和TiN薄膜的耐蚀性能。结果表明,由于TiN/AlN纳米多层膜中铝的钝化作用及薄膜的特殊层结构,TiN/AlN纳米多层膜比Ti... 采用多弧离子镀技术制备了TiN/AlN纳米多层膜,并通过多层膜在酸中的浸泡试验及极化曲线测定,对比研究了TiN/AlN纳米多层膜和TiN薄膜的耐蚀性能。结果表明,由于TiN/AlN纳米多层膜中铝的钝化作用及薄膜的特殊层结构,TiN/AlN纳米多层膜比TiN薄膜具有更优良的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TiN/AlN薄膜 耐蚀性
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沉积参数及退火条件对AlN薄膜电学性能的影响 被引量:3
11
作者 周继承 胡利民 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1336-1341,共6页
利用射频反应磁控溅射在Si(100)基底上沉积AlN介质薄膜,并在不同温度下对薄膜进行快速退火。通过抗电强度测试仪、电容电压测试C-V、X射线衍射仪、电子能谱仪、原子力显微镜和椭圆偏振仪等研究薄膜的击穿电压、介电常数、晶体结构、化... 利用射频反应磁控溅射在Si(100)基底上沉积AlN介质薄膜,并在不同温度下对薄膜进行快速退火。通过抗电强度测试仪、电容电压测试C-V、X射线衍射仪、电子能谱仪、原子力显微镜和椭圆偏振仪等研究薄膜的击穿电压、介电常数、晶体结构、化学成分、表面形貌及薄膜的折射率。结果表明:溅射功率和溅射气压对薄膜的击穿电压有很大的影响,溅射功率为250 W,气压为0.3 Pa时薄膜的抗电性能较好;薄膜的成分随溅射气压发生变化,N与Al摩尔比最高达到0.845;随退火温度的增加,薄膜晶体结构发生非晶—闪锌矿—纤锌矿的转变;薄膜的折射率随退火温度的升高而增加。 展开更多
关键词 ALN薄膜 磁控溅射 击穿电压 快速退火
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离子源对中频反应磁控溅射AlN薄膜结构和性能的影响 被引量:1
12
作者 刘兰兰 林松盛 +2 位作者 曾德长 代明江 胡芳 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期42-46,共5页
采用离子源辅助中频反应磁控溅射技术在单晶硅及硬质合金基体上沉积AlN薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度计、薄膜结合强度划痕试验仪等对薄膜结构及性能进行表征,着重研究了离子源对中频反应磁控溅射AlN薄膜... 采用离子源辅助中频反应磁控溅射技术在单晶硅及硬质合金基体上沉积AlN薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度计、薄膜结合强度划痕试验仪等对薄膜结构及性能进行表征,着重研究了离子源对中频反应磁控溅射AlN薄膜结构和性能的影响。结果表明:离子源的辅助沉积有利于AlN相的合成,当离子源功率大于0.7kW时,AlN沿(100)晶面择优取向明显,当离子源功率为1.3kW时,所沉积膜层有向非晶化转变的趋势。同时,随着离子源功率的增加,所沉积的AlN薄膜致密度和膜/基结合力均显著提高,而膜层沉积速率和硬度则呈先上升后降低的规律。 展开更多
关键词 ALN薄膜 离子源 中频反应磁控溅射 非晶化
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AlN:TbF_3薄膜的电致发光 被引量:2
13
作者 赵彦立 钟国柱 +1 位作者 范希武 李长华 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期320-324,共5页
用射频磁控反应溅射的方法,以金属AI和TbF3为靶材,在总压为1Pa,N2/Ar比为20/80的气氛下,制备了AIN:TbF3薄膜.研究了不同制备条件对薄膜光致发光相对亮度的影响.进一步实验表明,电致发光的相对亮度具... 用射频磁控反应溅射的方法,以金属AI和TbF3为靶材,在总压为1Pa,N2/Ar比为20/80的气氛下,制备了AIN:TbF3薄膜.研究了不同制备条件对薄膜光致发光相对亮度的影响.进一步实验表明,电致发光的相对亮度具有与光致发光相近的对浓度和温度的依赖关系.在衬底温度为600℃,TbF3含量约为4.0mol%的条件下制备的AIN:TbF3ACT-FEL器件,在交流驱动条件下,得到了Tb3+离子的特征发光.为电致发光提供了新的候选材料.这在国际上是首次报导. 展开更多
关键词 电致发光 薄膜 ALN TbF3 氮化铝 氟化铽
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AlN基板表面处理对薄膜附着力的影响 被引量:2
14
作者 刘刚 王从香 符鹏 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期45-47,共3页
用扫描电镜和X射线能谱分析仪研究高温氧化及薄膜工艺过程中主要溶液对氮化铝陶瓷(AlN)基板的影响。结果表明:高温氧化使表面氧含量增加,在1000℃氧化2h,表面已形成致密的氧化层。碱性溶液清洗和去离子水煮会使表面产生多孔的疏松化合... 用扫描电镜和X射线能谱分析仪研究高温氧化及薄膜工艺过程中主要溶液对氮化铝陶瓷(AlN)基板的影响。结果表明:高温氧化使表面氧含量增加,在1000℃氧化2h,表面已形成致密的氧化层。碱性溶液清洗和去离子水煮会使表面产生多孔的疏松化合物。采用高温氧化、酸性清洗、溅射前加强离子轰击等措施,磁控溅射TiCu,其薄膜膜层附着力不低于15MPa。 展开更多
关键词 无机非金属材料 ain 表面处理 薄膜 附着力
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AlN薄膜有源SAW滤波器集成及性能研究 被引量:1
15
作者 刘桥 王代强 +1 位作者 冯杰 王忠良 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期35-37,共3页
在AlN压电薄膜上(以SiO2/Si为衬底),使用MOS集成电路工艺制作叉指电极和单元电路,制成中心频率为320MHz的有源SAW滤波器并进行了测试。结果表明,该滤波器的插入损耗低于10dB,带外衰减高于45dB。
关键词 电子技术 ain压电薄膜 叉指换能器 有源SAW滤波器
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Performance of Chemical Vapor Deposited Boron-Doped AlN Thin Film as Thermal Interface Materials for 3-W LED: Thermal and Optical Analysis 被引量:1
16
作者 S. Shanmugan D. Mutharasu 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第1期97-104,共8页
Boron-doped aluminum nitride (B-AlN) thin films were synthesized on Al substrates by using chemical vapor deposition method by changing the synthesis parameters and were used as thermal interface material for high p... Boron-doped aluminum nitride (B-AlN) thin films were synthesized on Al substrates by using chemical vapor deposition method by changing the synthesis parameters and were used as thermal interface material for high power light emitting diode (LED). The B-AlN thin film-coated Al substrate was used as heat sink and studied the performance of high power LED at various driving currents. The recorded transient cooling curve was evaluated to study the rise in junction temperature (Tj), total thermal resistance (gth_tot) and the substrate thermal resistance (Rth_sub) of the given LED. From the results, the B-AlN thin film (prepared at process 4) interfaced LED showed low Rth-tot and Tj value for all driving currents and observed high difference in Rth_tot (△Rth_tot =2.2 K/W) at 700 mA when compared with the Rth-tot of LED attached on bare Al substrates (LED/Al). The Tj of LED was reduced considerably and observed 4.7 ℃ as ATj for the film prepared using process 4 condition when compared with LED/Al boundary condition at 700 mA. The optical performance of LED was also tested for all boundary conditions and showed improved lux values for the given LED at 700 mA where B-AlN thin film was synthesized using optimized flow of Al, B and N sources with minimized B and N content. The other optical parameters such as color correlated temperature and color rendering index were also measured and observed low difference for all boundary conditions. The observed results are suggested to use B-AlN thin film as efficient solid thin film thermal interface materials in high power LED. 展开更多
关键词 Light emitting diode (LED) B-ain thin film Chemical vapor deposition (CVD) Thermal transient analysis Junction temperature Optical performance
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氮化铝薄膜的制备及介电性能研究 被引量:1
17
作者 杨克涛 傅仁利 《山东陶瓷》 CAS 2007年第3期7-13,共7页
采用直流磁控反应溅射的方法在金属铝基板表面沉积AlN薄膜。通过XRD、SEM对绝缘膜层进行了研究分析,并测试了膜层的介电性能。结果表明:在靶基距和溅射功率分别为5cm、150W,衬底温度在室温25℃~300℃内制备的AlN薄膜为六方晶型,沿c轴... 采用直流磁控反应溅射的方法在金属铝基板表面沉积AlN薄膜。通过XRD、SEM对绝缘膜层进行了研究分析,并测试了膜层的介电性能。结果表明:在靶基距和溅射功率分别为5cm、150W,衬底温度在室温25℃~300℃内制备的AlN薄膜为六方晶型,沿c轴平行于衬底表面的(100)和(110)晶面生长。AlN薄膜表面有很多蠕虫状形态的晶粒随机地分布在膜平面内,这可能是200℃的衬底温度下AlN薄膜介电性能较好的原因。 展开更多
关键词 直流磁控反应溅射 ALN薄膜 介电性能 蠕虫状
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氮化时间对脉冲激光沉积AlN薄膜性能的影响
18
作者 刘作莲 王海燕 +2 位作者 杨为家 王文樑 李国强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第11期836-840,845,共6页
应用脉冲激光沉积(PLD)技术在氮化处理后的蓝宝石衬底上外延生长AlN薄膜。研究了氮化处理时间对AlN薄膜结构性能和表面形貌的影响,利用原位反射式高能电子衍射(RHEED)对生长过程进行实时观测,利用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)和扫描电子显... 应用脉冲激光沉积(PLD)技术在氮化处理后的蓝宝石衬底上外延生长AlN薄膜。研究了氮化处理时间对AlN薄膜结构性能和表面形貌的影响,利用原位反射式高能电子衍射(RHEED)对生长过程进行实时观测,利用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)和扫描电子显微镜(SEM)对AlN薄膜的结构性能以及表面形貌等进行表征和分析。结果表明,随着氮化时间的增加,AlN形核种子数量增加并逐渐有序,促进AlN薄膜由多晶转为单晶并提高其晶体质量,有利于AlN薄膜由三维生长转为二维生长,改善AlN薄膜表面形貌。为采用PLD技术制备高质量AlN基器件提供了一种新思路。 展开更多
关键词 ALN薄膜 脉冲激光沉积(PLD) 氮化时间 高分辨X射线衍射(HRXRD) 描电子显微镜(SEM)
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氮气含量对硅基AlN薄膜结构及性能的影响
19
作者 刘永智 李海翼 《物理实验》 2012年第2期10-13,共4页
研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN... 研究了直流磁控溅射法沉积AlN薄膜过程中氮气含量对AlN薄膜结构及性能的影响.实验结果表明:当真空腔的氩气含量较低时,薄膜呈非晶态,在红外波段的傅里叶变换光谱中没有明显的吸收峰,当氮气流量为75%时薄膜中出现明显的六方AlN(100)和AlN(110)衍射峰,在波数为670~700cm-1处有强烈的吸收峰;增加氮气含量,薄膜又呈现出非晶状态.薄膜的表面粗糙度和颗粒大小都随氮气含量的增加先增大后减小.. 展开更多
关键词 ALN薄膜 氮气含量 直流磁控溅射 非晶态 吸收
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IDT/AlN/LiNbO_3结构声表面波滤波器模拟和分析 被引量:1
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作者 李健雄 杨成韬 +2 位作者 王锐 陈运祥 张树人 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第6期655-657,共3页
研究了IDT/AlN/LiNbO3结构声表面波滤波器的频散特性,发现了高机电耦合系数(>18%),高声速(>10 km/s)的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟,其结果与文献报道的实验结果基本一致。
关键词 声表面波 ALN薄膜 假声表面波 模拟
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