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1.3μm无致冷AlGaInAs/InP应变补偿量子阱激光器设计与制作 被引量:3
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作者 马宏 易新建 +2 位作者 金锦炎 杨新民 李同宁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期191-195,共5页
基于半导体量子阱激光器的基本理论 ,设计了合理的 1 .3 μm无致冷 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱激光器结构 ,通过低压金属有机化学气相外延 ( LP-MOVPE)工艺在国内首次生长出了高质量的 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱结构材料 ... 基于半导体量子阱激光器的基本理论 ,设计了合理的 1 .3 μm无致冷 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱激光器结构 ,通过低压金属有机化学气相外延 ( LP-MOVPE)工艺在国内首次生长出了高质量的 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱结构材料 ,用此材料制作的器件指标为激射波长 :1 2 80 nm≤λ≤ 1 3 2 0 nm,阈值电流 :Ith( 2 5℃ )≤ 1 5m A,Ith( 85℃ )≤ 3 0 m A,量子效率变化 :Δηex( 2 5℃~ 85℃ )≤ 1 .0 d B,线性功率 :P0 ≥ 1 0 m 展开更多
关键词 algainas 应变补偿 量子阱 低压金属有机化学气相外延 半导体激光器 设计 制作 致冷器 铝镓铟砷化合物
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1.3μm AlGaInAs/InP量子阱激光器材料研究 被引量:1
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作者 陈宏泰 车相辉 +6 位作者 张宇 赵润 杨红伟 余般梅 王晶 位永平 林琳 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期220-223,共4页
设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采用此外延材料制作的脊宽为2.5μm脊形波导结构FP单模激... 设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采用此外延材料制作的脊宽为2.5μm脊形波导结构FP单模激光器芯片,解理为250,500和750μm不同腔长,进行了内部参数提取,内量子效率ηi为76%、内损耗αi为7.06/cm、模式增益Γg0为81.90/cm、透明电流密度Jtr为1 045 A/cm2。对250μm腔长管芯镀膜,进行电光特性测试,室温性能指标为:阈值电流Ith<10 mA,斜率效率η=0.6 W/A,达到国际同类产品水平,实现1.3μm FP材料国产化。 展开更多
关键词 1 3 μm FP激光器材料 无致冷 algainas INP MOCVD
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高功率1.31μm AlGaInAs应变多量子阱DFB激光器
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作者 杨新民 李同宁 +3 位作者 刘涛 周宁 金锦炎 李晓良 《光通信研究》 北大核心 1999年第6期44-46,59,共4页
采用金属有机化学汽相淀积工艺和脊型波导结构,同1.31μmAlGaInAs/InP应变多量子阱分布反馈激光器高功率输出。在25℃时,管芯最大输出功率超过50mW,阈值电流范围在13-20mA之间,发光面斜效率高于0.... 采用金属有机化学汽相淀积工艺和脊型波导结构,同1.31μmAlGaInAs/InP应变多量子阱分布反馈激光器高功率输出。在25℃时,管芯最大输出功率超过50mW,阈值电流范围在13-20mA之间,发光面斜效率高于0.45mW/mA,边模抑制比超过35dB,室温中值寿命大于3*10^5小时。 展开更多
关键词 algainas 应变多量子阱 DFB激光器
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AlGaInAs/InP应变补偿多量子阱激光器 被引量:1
4
作者 朱天雄 贾华宇 +3 位作者 李灯熬 罗飚 刘应军 田彦婷 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期654-658,共5页
为了优化在长距离光纤通讯系统中采用的1.31μm波长的量子阱激光器,对AlGaInAs/InP材料的有源区应变补偿的量子阱激光器进行了设计研究。采用应变补偿的方法,根据克龙尼克-潘纳模型理论计算出量子阱的能带结构,设计出有源区由1.12%的压... 为了优化在长距离光纤通讯系统中采用的1.31μm波长的量子阱激光器,对AlGaInAs/InP材料的有源区应变补偿的量子阱激光器进行了设计研究。采用应变补偿的方法,根据克龙尼克-潘纳模型理论计算出量子阱的能带结构,设计出有源区由1.12%的压应变AlGaInAs阱层和0.4%的张应变AlGaInAs垒层构成。使用ALDS软件对所设计出的器件进行了建模仿真,对其进行了阈值分析和稳态分析。结果表明,在室温25℃下,该激光器具有9mA的低阈值电流和0.4W/A较高的单面斜率效率;在势垒层采用与势阱层应变相反的适当应变,可以降低生长过程中的平均应变量,保证有源区良好的生长,改善量子阱结构的能带结构,提高对载流子的限制能力,降低阈值电流,提高饱和功率,改善器件的性能。 展开更多
关键词 激光器 量子阱结构 应变补偿 algainas/InP
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1.31μm AlGaInAs/InP多量子阱激光器设计及其温度特性 被引量:1
5
作者 任大为 贾华宇 +3 位作者 赵霞飞 李灯熬 汤宝 罗飚 《激光杂志》 北大核心 2018年第6期16-22,共7页
为了优化适用于长距离的光纤通讯系统的1.31μm波长的量子阱激光器,采用AlGaInAs/InP材料设计应变多量子阱激光器,选取合适的量子阱个数、合适的应变量,并研究其温度特性。采用载流子和光分别限制的梯度折射率波导(GRIN-SCH)结构设计... 为了优化适用于长距离的光纤通讯系统的1.31μm波长的量子阱激光器,采用AlGaInAs/InP材料设计应变多量子阱激光器,选取合适的量子阱个数、合适的应变量,并研究其温度特性。采用载流子和光分别限制的梯度折射率波导(GRIN-SCH)结构设计了多量子阱结构,采用BCB(苯并环丁烯)材料平面化脊波导结构,使用E-beam曝光技术和低损伤ICP干法刻蚀技术制作非对称相移光栅,设计了AlGaInAs/InP应变多量子阱激光器。使用ALDS激光器材料和结构设计软件包,选取了最佳量子阱个数,在此基础上,通过实验对比引入合适的应变量,并选取最佳温度。仿真及实验结果表明,在量子阱个数为10时达到最佳量子阱个数;有源区由1.3%的压应变AlGaInAs阱层和0.6%的张应变AlGaInAs垒层构成时,温度在25℃时,激光器发光特性得到优化。 展开更多
关键词 algainas/InP 量子阱个数 应变 温度特性
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MOCVD生长AlGaInAs/InP多量子阱激光器 被引量:1
6
作者 朱天雄 贾华宇 +2 位作者 李灯熬 罗飚 刘应军 《光通信研究》 北大核心 2018年第4期31-34,60,共5页
为研制符合高线性大功率的应变多量子阱激光器,文章在理论上计算了应变补偿,实验选用了金属有机物化学气相沉淀(MOCVD)工艺来研制生长AlGaInAs应变补偿多量子阱结构,最终有源区采用了7组张压应变交替的势垒和势阱层。激光器样本芯片采... 为研制符合高线性大功率的应变多量子阱激光器,文章在理论上计算了应变补偿,实验选用了金属有机物化学气相沉淀(MOCVD)工艺来研制生长AlGaInAs应变补偿多量子阱结构,最终有源区采用了7组张压应变交替的势垒和势阱层。激光器样本芯片采用共面电极结构,使得激光器的工作电流无需通过衬底,从而降低了激光器工作电容,其电容与传统激光器相比得到相应地减小,提高了激光器的光电特性。实验室制作出了应变多量子阱激光器样本芯片,光荧光分析得出光致发光谱,激射波长为1 304nm;阈值电流为Ith≤9mA;单面斜率效率为0.44 W/A。测试结果表明该器件有良好的性能参数。 展开更多
关键词 激光器 量子阱 金属有机物化学气相沉淀 应变补偿 algainas/InP 共面电极
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AlGaInAs半导体饱和吸收体调Q特性的理论与实验研究
7
作者 张真 张行愚 +5 位作者 王青圃 刘兆军 丛振华 陈晓寒 范书振 张琛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期193-196,共4页
利用通过金属化学气相沉积法长成的AlGaInAs饱和吸收体,对808nmLD泵浦的Nd∶YVO4键合晶体进行被动调Q,获得了波长为1.06μm的激光脉冲,测量了脉冲能量、脉冲宽度、脉冲重复率随泵浦功率的变化.当泵浦功率为10.57W时,激光平均输出功率为3... 利用通过金属化学气相沉积法长成的AlGaInAs饱和吸收体,对808nmLD泵浦的Nd∶YVO4键合晶体进行被动调Q,获得了波长为1.06μm的激光脉冲,测量了脉冲能量、脉冲宽度、脉冲重复率随泵浦功率的变化.当泵浦功率为10.57W时,激光平均输出功率为3.45W,斜效率为39%,重复频率达到最大值101kHz.当泵浦功率为8.07W时,脉冲宽度达到最小值1.76ns.利用速率方程对该激光器进行理论分析,计算出输出脉冲能量、峰值功率、脉冲宽度和重复频率的理论值,实验结果和理论结果基本一致. 展开更多
关键词 激光物理 algainas 饱和吸收体 调Q 速率方程
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生长温度对长波长InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长的影响
8
作者 陈博 王圩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1054-1058,共5页
研究不同生长温度下的InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长,用光致发光和X射线双晶衍射等测试手段分析了其材料特性,得到了室温脉冲激射1.3μm AlGaInAs 有源区SCH-MQW 结构材料,为器件... 研究不同生长温度下的InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长,用光致发光和X射线双晶衍射等测试手段分析了其材料特性,得到了室温脉冲激射1.3μm AlGaInAs 有源区SCH-MQW 结构材料,为器件制作研究打下了基础. 展开更多
关键词 半导体激光器 INP algainas LP-MOCVD 生长温度
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Design and Realization of InP/AlGaInAs MultipleQuantum Well Ring Laser 被引量:3
9
作者 Xie Sheng Guo Jing +4 位作者 Guan Kun Mao Luhong Guo Weilian Qi Lifang Li Xianjie 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2014年第6期402-406,共5页
Using beam propagation method (BPM), key optical design parameters of InP/AlGaInAs multiple quantumwell (MQW) ring laser were numerically analyzed. The influences of waveguide dimensions, curvature radiusand gap s... Using beam propagation method (BPM), key optical design parameters of InP/AlGaInAs multiple quantumwell (MQW) ring laser were numerically analyzed. The influences of waveguide dimensions, curvature radiusand gap size on the coupling efficiency were discussed. An InP/AlGaInAs MQW ring laser with radius of 350 μm wasdesigned and realized. The experimental results show that the designed device, lasing at 1 563.2 nm with side modesuppression ratio higher than 20 dB, exhibited unidirectional bistability between the clockwise and counterclockwisemodes. 展开更多
关键词 semiconductor laser MULTIPLE quantum WELL optical BISTABILITY algainas
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高性能低阈值高温无致冷1.3μm AlGaInAs量子阱激光器
10
作者 郑鹏 王任凡 +2 位作者 岳爱文 李林 沈坤 《光通信研究》 北大核心 2001年第4期48-51,共4页
讨论了影响激光器高温特性的主要因素 ,提出了在 1 .3μm高温无致冷 Al Ga In As应变量子阱激光器中采用倒台脊波导 ( RM- RWG)结构可以改善激光器高温无致冷的工作特性 ,研制出了 RM- RWG结构的 1 .3μm高温无致冷 Al Ga In As应变量... 讨论了影响激光器高温特性的主要因素 ,提出了在 1 .3μm高温无致冷 Al Ga In As应变量子阱激光器中采用倒台脊波导 ( RM- RWG)结构可以改善激光器高温无致冷的工作特性 ,研制出了 RM- RWG结构的 1 .3μm高温无致冷 Al Ga In As应变量子阱激光器 ,其阈值电流为 6m A,特征温度达到 95 K( 2 5℃~ 85℃ ) 。 展开更多
关键词 半导体激光器 algainas 量子阱激光器 高温无致冷
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A Novel Investigation on Using Strain in Barriers of 1.3 μm AlGaInAs-InP Uncooled Multiple Quantum Well Lasers
11
作者 Vahid BahramiYekta Hassan Kaatuzian 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2010年第9期529-535,共7页
In this study we investigate strain effect in barriers of 1.3 μm AlGaInAs-InP uncooled multiple quantum welllasers.Single effective mass and Kohn-Luttinger Hamiltonian equations have been solved to obtain quantum sta... In this study we investigate strain effect in barriers of 1.3 μm AlGaInAs-InP uncooled multiple quantum welllasers.Single effective mass and Kohn-Luttinger Hamiltonian equations have been solved to obtain quantum states andenvelope wave functions in the structure.In the case of unstrained barriers,our simulations results have good agreementwith a real device fabricated and presented in one of the references.Our main work is proposal of 0.2% compressivestrain in the structure Barriers that causes significant reduction in Leakage current density and Auger current densitycharacteristics in 85℃.20% improvement in mode gain-current density characteristic is also obtained in 85℃. 展开更多
关键词 多量子阱激光器 algainas 非致冷 贸易壁垒 应变 INP 漏电流密度 方程组求解
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Low Distortion 1.31μm AlGaInAs/InP MQW DFB Laser Module for CATV Systems
12
作者 YANG Xin-min, LIU Tao, ZHOU Ning, JIN Jin-yan, HUANG Tao, WANG Chang-hong, LI Tong-ning (Wuhan Telecommunication Devices Co.,Wuhan 430074,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1999年第2期92-95,共4页
1IntroductionLonghaulopticalfibercommunication,multi-channeltransmisionandopticalfiberCATVsystemrequire1.31μ... 1IntroductionLonghaulopticalfibercommunication,multi-channeltransmisionandopticalfiberCATVsystemrequire1.31μmand1.55μmDFBlase... 展开更多
关键词 光纤通信 多量子阱 分布式反馈 激光二极管 有线电视 algainas/InP 半导体
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反射各向异性谱在线监测852nm半导体激光器AlGaInAs/AlGaAs量子阱的MOCVD外延生长 被引量:2
13
作者 徐华伟 宁永强 +4 位作者 曾玉刚 张星 张建伟 张建 张立森 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期53-58,共6页
研究了生长温度和中断时间对AlGaInAs/AlGaAs量子阱外延质量的影响,并使用金属有机化合物汽相沉积(MOCVD)外延生长了AlGaInAs/AlGaAs量子阱和852nm半导体激光器。通过使用反射各向异性谱(RAS)和光致发光谱在线监测和研究了AlGaInAs/AlG... 研究了生长温度和中断时间对AlGaInAs/AlGaAs量子阱外延质量的影响,并使用金属有机化合物汽相沉积(MOCVD)外延生长了AlGaInAs/AlGaAs量子阱和852nm半导体激光器。通过使用反射各向异性谱(RAS)和光致发光谱在线监测和研究了AlGaInAs/AlGaAs界面的外延质量。研究结果表明高温生长可以导致从AlGaInAs量子阱层到AlGaAs势垒层的In析出现象。通过优化生长温度和在AlGaInAs/AlGaAs界面处使用中断时间,可以有效抑制In析出,从而获得AlGaInAs/AlGaAs陡峭界面。使用优化后的外延生长条件,外延生长了整个852nm半导体激光器,使用RAS在线监测了激光器的外延生长过程,可以有效地分辨出不同外延层和生长阶段。 展开更多
关键词 激光器 algainas 反射各向异性谱 金属有机化合物汽相沉积
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刻蚀端面AlGaInAs/AlInAs激光器的制作与特性 被引量:1
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作者 王健 熊兵 +2 位作者 孙长征 郝智彪 罗毅 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1031-1034,共4页
利用Cl2/BCl3/CH4电感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术,实现了对AlGaInAs,InP材料的非选择性刻蚀。AlGaInAs与InP的刻蚀速率分别为820nm/min与770nm/min,获得了刻蚀深度为4.9μm,垂直光滑的AlGaInAs/AlInAs激光器的刻蚀端面。在此基础... 利用Cl2/BCl3/CH4电感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术,实现了对AlGaInAs,InP材料的非选择性刻蚀。AlGaInAs与InP的刻蚀速率分别为820nm/min与770nm/min,获得了刻蚀深度为4.9μm,垂直光滑的AlGaInAs/AlInAs激光器的刻蚀端面。在此基础上制作出宽接触的刻蚀端面AlGaInAs/AlInAs激光器,实现了室温脉冲激射,其阈值电流和微分量子效率与传统的解理端面激光器基本相当。并通过刻蚀端面与解理端面激光器特性的比较(包括电流-电压、电流-输出光功率以及远场特性),分析了刻蚀端面的引入对激光器特性的影响。 展开更多
关键词 激光技术 刻蚀端面激光器 algainas Cl2/BCl3/CH4 感应耦合等离子体
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MOVPE生成AlGaInAs/InP应变量子阱材料研究
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作者 马宏 金锦炎 +1 位作者 江斌 赵修建 《武汉工业大学学报》 EI CSCD 2001年第2期12-14,共3页
用低压金属有机化学气相沉积 (L P- MOCVD)设备生长了 Al Ga In As压应变量子阱材料、应变补偿量子阱材料并进行了材料特性的测试 ,通过二次离子质谱仪 (SIMS)的测试讨论了材料中氧含量对材料特性的影响 ,通过采用高纯原料和纯化载气 ,... 用低压金属有机化学气相沉积 (L P- MOCVD)设备生长了 Al Ga In As压应变量子阱材料、应变补偿量子阱材料并进行了材料特性的测试 ,通过二次离子质谱仪 (SIMS)的测试讨论了材料中氧含量对材料特性的影响 ,通过采用高纯原料和纯化载气 ,生长出了较高质量的 Al Ga In As应变量子阱材料 :氧含量小 ,光荧光强度大 (2 5 m W,PL=0 .3) ,光荧光谱线窄 (FWHM=31me V) 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 algainas INP 应变量子阱材料 应变补偿 二次离子质谱仪
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MOVPE生长1.3μm无致冷AlGaInAs/InP应变补偿量子阱激光器研究 被引量:5
16
作者 马宏 易新建 +2 位作者 金锦炎 杨新民 李同宁 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期193-196,共4页
通过低压金属有机化学气相外延 (LP MOVPE)工艺生长了AlGaInAs应变补偿量子阱材料 ,通过X射线双晶衍射、光荧光、二次离子质谱的测试分析得到了材料生长的优化工艺参数 ,降低了材料中的氧杂质含量 ,得到了高质量AlGaInAs应变补偿量子阱... 通过低压金属有机化学气相外延 (LP MOVPE)工艺生长了AlGaInAs应变补偿量子阱材料 ,通过X射线双晶衍射、光荧光、二次离子质谱的测试分析得到了材料生长的优化工艺参数 ,降低了材料中的氧杂质含量 ,得到了高质量AlGaInAs应变补偿量子阱材料 ,室温光致发光半宽FWHM =2 6meV。采用此外延材料成功制作了 1 3μm无致冷AlGaInAs应变量子阱激光器 ,器件测试结果为 :激射波长 :12 90nm≤ λ≤ 1330nm ;阈值电流 :Ith(2 5℃ )≤15mA ;Ith(85℃ )≤ 2 5mA ;量子效率变化 :Δηex(2 5~ 85℃ )≤ 1 0dB。 展开更多
关键词 algainas 应变补偿量子阱 低压金属有机化学气相外延 无致冷 半导体激光器
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AlGaInAs多量子阱材料增益偏振相关性分析
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作者 孙然 缪庆元 +1 位作者 何平安 余文林 《光学与光电技术》 2017年第3期44-48,共5页
考虑光场限制因子、温度变化和阱间载流子非均匀分布,给出AlGaInAs多量子阱增益求解的分析模型。对量子阱应变量、阱宽和载流子浓度对材料增益TE模和TM模的影响进行了分析。设计出C波段内增益低偏振相关的混合应变多量子阱结构。在15~4... 考虑光场限制因子、温度变化和阱间载流子非均匀分布,给出AlGaInAs多量子阱增益求解的分析模型。对量子阱应变量、阱宽和载流子浓度对材料增益TE模和TM模的影响进行了分析。设计出C波段内增益低偏振相关的混合应变多量子阱结构。在15~45℃温度范围,其模式增益具有低的偏振相关性(2%以内);当注入载流子浓度从2×10^(24) m^(-3)增大到3×10^(24) m^(-3)时,模式增益逐渐增大,且能在一定温度下保持低的偏振相关(3%以内)。 展开更多
关键词 algainas多量子阱 增益 低偏振相关 温度
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AlGaInAs/InP coupled-circular microlasers 被引量:1
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作者 黄永箴 林建东 +4 位作者 姚齐峰 吕晓萌 杨跃德 肖金龙 杜云 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期49-51,共3页
AlGalnAs/InP coupled-circular microlasers with radius of 10-and 2-μm width middle bus waveguide are fabricated by photolithography and inductively coupled plasma etching techniques. Room-temperature continuous-wave s... AlGalnAs/InP coupled-circular microlasers with radius of 10-and 2-μm width middle bus waveguide are fabricated by photolithography and inductively coupled plasma etching techniques. Room-temperature continuous-wave single-mode operation is realized with an output power of 0.17 mW and a side-mode suppression ratio of 23 dB at 45 mA. A longitudinal mode interval of 11 nm is obtained from the lasing spectra, and mode Q factor of 6.2×10^3 is estimated from 3-dB width of a minor peak near the threshold current. The mode characteristics are simulated by finite-difference time-domain technique for coupled- circular resonators. The results show that, in addition to the coupled modes, high-radial-order whispering gallery modes with travelling wave behaviors can also have high Q factors in the coupled-circular resonators with a middle bus waveguide. 展开更多
关键词 INP BUS MODE algainas/InP coupled-circular microlasers
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Hybrid AlGaInAs/Si Fabry–Pérot lasers with near-total mode confinements
19
作者 Yuede Yang Shaoshuai Sui +4 位作者 Mingying Tang Jinlong Xiao Yun Du Andrew W.Poon Yongzhen Huang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第8期41-46,共6页
We have proposed and demonstrated hybrid Al Ga In As/Si Fabry–Pérot(FP) lasers, with the FP cavity facet covered by the p-electrode metal for enhancing mode confinement. Continuous-wave lasing is obtained at roo... We have proposed and demonstrated hybrid Al Ga In As/Si Fabry–Pérot(FP) lasers, with the FP cavity facet covered by the p-electrode metal for enhancing mode confinement. Continuous-wave lasing is obtained at room temperature with a threshold current of 45 m A for the hybrid FP laser with a cavity length of 415 μm and a width of 7 μm. Near-field optical microscope images indicate an efficient output emission from the underneath evanescently-coupled silicon waveguide. Furthermore, single-mode lasing with a side-mode suppression-ratio of29 d B and a threshold current of 16 m A is realized for the 150 μm-long hybrid FP laser. 展开更多
关键词 hybrid algainas/Si laser Fabry–Pérot cavity mode Q factor metal confinement
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852nm半导体激光器InGaAlAs、InGaAsP、InGaAs和GaAs量子阱的温度稳定性 被引量:4
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作者 徐华伟 宁永强 +4 位作者 曾玉刚 张星 秦莉 刘云 王立军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期640-646,共7页
为了提高852 nm半导体激光器的温度稳定性,理论计算了InGaAlAs、InGaAsP、InGaAs和GaAs量子阱的增益,模拟对比并研究了不同量子阱的增益峰值和峰值波长随温度的漂移。结果显示,采用In0.15Ga0.74-Al0.11As作为852 nm半导体激光器的量子... 为了提高852 nm半导体激光器的温度稳定性,理论计算了InGaAlAs、InGaAsP、InGaAs和GaAs量子阱的增益,模拟对比并研究了不同量子阱的增益峰值和峰值波长随温度的漂移。结果显示,采用In0.15Ga0.74-Al0.11As作为852 nm半导体激光器的量子阱可以使器件同时具有较高的增益峰值和良好的温度稳定性。使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长了压应变In0.15Ga0.74Al0.11As单量子阱852 nm半导体激光器,实验测得波长随温度漂移的数值为0.256 nm/K,实验测试结果验证了理论计算结果。 展开更多
关键词 激光器 algainas 量子阱 数值模拟
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