空气洗涤器在洁净空调中的使用

文摘通过对一工程改造的实例分析,阐明了空气洗涤器在新风空调箱中的作用及其工作原理,肯定了它在处理部分化学气态污染物的作用。

高纯气体的湿度控制方法

随着特征尺寸(CD)的不断减小和套刻精度的不断提高,对AMC(气相分子污染物)引起的污染问题越来越重视。投影光刻机中对AMC的浓度的控制,通常使用高纯气体(如高纯氮气、超洁净干空气、超洁净湿空气等)"气浴"吹扫关键元器件,可有效阻断AMC的扩散、稀释AMC的浓度。阐述超洁净湿空气在投影光刻机中的应用以及超洁净湿空气的制备、湿度控制方法等。通过实验分析影响湿度控制的主要因素。