300mm晶圆制造厂AMHS系统工程设计及仿真

集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集型产业,包括几十种生产流程,每道流程之间都需要进行物料流转,在这种情况下,物料流转的精确性和稳定性就极为重要。自动物料搬运系统(AMHS,Automated Material Handling System)应运而生,其是半导体制造实现自动化的重要一环。本文结合某300mm晶圆制造厂的实际情况,基于仿真模型理论,对工厂的AMHS系统进行了建模,并搭建三维仿真模型,分析研究其工程设计、轨道布局设计,提出了符合实际工程情况的评价模型的指标,提高了实际工程问题中AMHS的搬运效率。

AMHS系统中DL地址处理案例分析

在AMHS系统运行中,各个地区和各个厂家的AMHS系统都存在差异性,特别国际民航组织的建议标准修改得比较频繁,也就使得系统运行存在很多不确定因素。遇到问题时,需按照国际民航组织发布的建议标准及时更新系统,或与其他地区用户协商处理。方法:跟踪系统日志记录,分析出问题的起因,查询国际民航组织发布的建议标准,确认与之对应的条目,沟通对端用户协商处理。结果:建立软件保护措施,建立沟通机制,及时更新新版本。结论:通过案例分析,及时更新AMHS 软件版本,测试双方系统的连通性和互操作性,保证系统正常运行。

ASYST推出AMHS新方案增加晶圆厂生产力

ASYST近13宣布推出Agile Automation，这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理（Automated Material Handling）方式。Agile Automation是开创业界先例的解决方案。它大幅增加晶圆厂的生产力，”通过模块化增强现有AMHS制度。Agile Automation具有并行加载和卸载几项工具的功能，同时大幅度减少对搭载置顶输送工具（Overhead Transport Vehicles，OHV）的依赖。

通过案例论AFTN短板与AMHS优势

本文从真实案例出发,对现有AFTN 转报系统短版进行分析,并对 AMHS进行介绍,并对其优势进行阐述。从现状来看国内范围内用 AMHS 替换 AFTN 也是拥有一定必要性的。

ATN/AMHS系统在民航华东地区应用展望与实现

近年来,全球民航新航行系统的发展方兴未艾,欧美一些国家已经在相关的新理念、行业标准和实际应用中走在了前面,而我国在相关领域却刚刚起步.

基于强化学习的整体式AMHS防堵塞路径规划方法

整体式自动化物料运输系统(automated material handling system,AMHS)广泛应用于12英寸晶圆制造系统,AMHS中天车(overhead hoist transport,OHT)频繁堵塞严重制约AMHS的生产运输效率。为消减OHT堵塞,提出一种实时数据驱动强化学习(real-time data-driven rein⁃forcement learning,RTDRL)的防堵塞路径规划方法。该方法根据导轨实时工况信息建立实时堵塞指标,基于实时堵塞指标与Q值对应的历史通行经验,构建动作选择策略进行路径优化决策,并设计奖励函数,提高Q值反映AMHS通行情况的真实性,从而提高防堵塞效果。实验研究表明,与现有OHT防堵塞路径规划方法相比,该方法在晶圆卡平均运输时间和晶圆卡平均等待时间指标方面具有更好的性能,有效减少堵塞发生,即RTDRL方法是有效的。

300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用

针对晶圆厂OHB系统的建设,通过调研现有OHB系统,总结并优化该系统的几个重点要素,即硬件结构、安装形式和AMHS运输轨道的匹配,以及和AMHS运输车的位置匹配,形成OHB系统的设计思路和方法。参考此方法设计的OHB系统,能充分利用洁净室上部空间,配合AMHS运输轨道和运输车,满足晶圆厂在制品储存的需要,并且不占用洁净室地面面积。该设计思路和方法可以作为晶圆厂OHB系统规划设计的参考。

第一个国际AMHS互通性试验成功完成

最近，斯洛伐克共和国的空中导航服务提供者LPSSR选择COMSOFT公司将他们的自动信息处理系统升级到最新的标准。因此，在2008年的11月，LPSSR已经在斯洛伐克的不拉迪斯拉发机场完成了他们的复合航空固定电信网（AFTN），国际民航组织公用数据交换网（CIDIN）／自动信息处理系统（AMHS）的试运转。

太行鸡AMH基因多态性与产蛋性状相关性研究

为了研究抗缪勒氏管激素(Anti-Müllerian Hormone,AMH)基因多态性与鸡产蛋性状之间的相关性,本试验随机选取145只麻羽系太行鸡为研究对象,采用直接测序的方法,对AMH基因SNPs进行检测并分析其与产蛋性状的相关性。结果表明:在太行鸡扩增的AMH基因片段上共存在14个SNPs位点(g.1156G>A、g.1345A>G、g.1396T>C、g.1445T>C、g.1636C>T、g.2358C>T、g.3036A>C、g.3155G>A、g.3164G>A、g.3940G>A、g.4108A>G、g.4126G>T、g.4551G>A、g.4917C>T),其中5个位点(g.1156G>A、g.1345A>G、g.1636C>T、g.4126G>T、g.4551G>A)与开产日龄显著相关;g.4126G>T位点TT基因型的开产日龄显著早于GT基因型,其余4个位点均表现为纯合突变型开产日龄显著早于野生型;g.1445T>C位点与300 d产蛋数和500 d产蛋数显著相关,表现为TC基因型300 d产蛋数显著高于TT基因型,TC和CC基因型的500 d产蛋数极显著高于TT基因型。上述6个SNPs位点基因型分布均处于哈代-温伯格平衡状态。其余位点未发现与产蛋性状显著相关。综上可知,AMH基因上存在与太行鸡产蛋性状相关的SNPs位点,进一步推测上述6个SNPs位点可作为改善太行鸡产蛋性状的潜在分子标记。

AMHS／MSMQ 网关技术研究

为解决当今快速增长的航空运输量与空中交通管理保障能力问矛盾日益突出的问题，欧美等主要航空发达国家早在20世纪末期就开始研究和发展新一代空中交通管理系统，其中广域信息管理（SWIM）是该系统发展的基础和关键技术之一。随着SWIM系统的研究工作在国内的深入，中间层不同的通信协议的系统间互联互通问题逐渐凸显，其主要问题集中在网络支撑不同，上层通信协议间无标准的接口定义。如何解决空管通信系统与其他系统间数据高效无缝传输是摆在SWIM课题中的一个亟待解决的难题。本文将着重阐述空管地面通信系统AMHS与业界具有典型性的中间件通信系统MSMQ（microsoft message queue）之间信息对象转换的解决方案。

AMH联合性激素检测在多囊卵巢综合征诊断中的价值

目的疑诊多囊卵巢综合征(PCOS)的病人,探讨联合检测血清抗苗勒激素(AMH)及性激素在诊断中的价值。方法选取我院首次就诊并确诊为多囊卵巢综合征的50例患者,作为观察组;并从我院健康管理中心同期体检的患者中抽取58例体检者作为对照组。两组患者血清中的AMH、卵泡刺激素(FSH)、促黄体生成素(LH)、雌激素(E2)、睾酮(T)的水平均采用电化学发光免疫分析技术进行测定后,再进行相关统计学分析。结果观察组的AMH、LH、T的平均水平高于对照组,而FSH的平均水平低于对照组,组间差异具有统计学意义(P<0.05),E2水平虽低于对照组,但组间差异不具有统计学意义(P>0.05)。与其他性激素相比较,AMH对PCOS诊断的灵敏度(86.00%)较高,且与性激素联合检测后,联合诊断的价值高于单项检测。结论血清AMH对多囊卵巢综合征的诊断有意义,并且联合性激素检测后诊断价值更高。

AMH、FSH和LH联合检测在评估备孕妇女卵巢储备功能的临床应用

目的:探讨备孕妇女卵巢储备功能的评估预测中联合检测AMH、FSH和LH指标的临床价值。方法:于2021年3月-2022年3月阶段采集病例展开研究,对象为备孕妇女(育龄期女性)200例,根据年龄分为5组,分别是<25岁组(32例)、25~30岁组(58例)、31~35岁组(50例)、36~40岁组(41例)、41~45岁组(19例),均检测AMH、FSH和LH水平,比较各年龄阶段育龄期女性的AMH、FSH和LH水平差异;同时AMH水平≤1.0ng/mL的132例,以AMH水平分组为0.6~1.0 ng/mL、0.1~0.5ng/mL、<0.1ng/mL共3组,另AMH水平>1.0 ng/mL的68例育龄期女性为对照组,对比各组的FSH和LH水平差异;根据受试者工作曲线(ROC)分析以上指标对卵巢储备功能的预测价值。结果:随着年龄增加AMH水平逐渐降低,与其他年龄阶段相比,>35岁的女性AMH水平下降程度更大(P<0.05),各年龄组的育龄期女性LH、FSH水平比较有统计学差异(P<0.05);低AMH水平0.6~1.0 ng/mL、0.1~0.5ng/mL、<0.1 ng/mL各组女性LH、FSH水平差异明显,<0.1 ng/mL组LH、FSH水平明显高于0.6~1.0ng/mL、0.1~0.5ng/mL组(P<0.05),随着AMH水平的下降LH、FSH水平逐渐升高(P<0.05);ROC曲线分析,AMH、LH、FSH检测对卵巢储备功能预测均具有一定价值,AMH+LH+FSH检测灵敏度为0.880、特异度为0.974,均高于单一AMH检测(0.805、0.083)、LH检测(0.774、0.678)、FSH检测(0.748、0.503)。结论:备孕妇女联合检测AMH、FSH和LH指标可较好的评估育龄期女性卵巢储备功能,为备孕妇女合理安排孕育计划提供可靠参考。

补肾调经汤治疗卵巢储备功能下降患者对性激素、AMH水平及AFC、OV的影响

目的探讨补肾调经汤治疗卵巢储备功能下降患者对性激素及抗苗勒管激素(AMH)水平、窦卵泡计数(AFC)、卵巢体积(OV)的影响。方法将2022年6月~2023年5月于我院收治的92例卵巢储备功能下降患者作为研究对象,按照随机数字表法分为对照组及观察组。对照组46例采用常规西药治疗,观察组46例采用补肾调经汤治疗。比较两组患者中医症状评分、性激素和AMH水平、AFC、OV,并评价临床疗效。结果治疗后,观察组雌二醇(E2)和AMH水平均高于对照组,观察组卵泡刺激素(FSH)、黄体生成素(LH)、睾酮(T)水平均低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗后,两组AFC增多,OV增大,且观察组改善程度优于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗后,两组月经量异常、月经周期异常、经血颜色异常、腰骶酸痛、头晕耳鸣、潮热多汗、失眠健忘和性欲减退等中医症状评分均降低,且观察组低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组总有效率为93.48%,对照组总有效率为73.91%,观察组高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论补肾调经汤治疗卵巢储备功能下降患者疗效显著,可以减轻患者的临床症状,改善患者的性激素、AMH水平和AFC、OV。

亚太区ATN实施协调工作组第三次会议及亚太区AMHS实施计划研讨会举行

AMHS实施计划研讨会和亚太区ATN实施协调工作组第三次会议（ATNICGW G3）于2008年1月21日至25日在泰国清迈举行。其中AMHS实施计划研讨会旨在对空中交通电报处理服务的实施问题交换意见，获取他国在实施ATN／AMHS方面的经验和教训。ATNICG WG3会议旨在推动2007年9月召开的APANPIRG第18次会议批准的相关工作的进展，并确定ATN实施协调组议题，探讨与亚太地区ATN基础设施和AMHS实施相关的技术问题。

AMHS在中东得到快速发展

AMHS即航空信息处理系统，于2007年底由阿曼民用航空和气象总局（DGCAM）同德国的空中交通管制和空中交通管理专家COMSOFT公司签订合同，最近该系统已经通过了工厂验收测试（FAT）和现场验收测试（SAT），并在创纪录的时间内投入运行。

民航AFTN向AMHS的演进

随着世界航空业的发展，ICAO(国际民航组织)的FANS(Future Air Navigation System)未来空中航行系统委员会于上世纪80年代提出了CNS／ATM(通信导航监视／空中交通管理)即新航行系统概念，准备利用数据通信和卫星技术改善原有通信导航系统。其中航空通信网ATN(Aeronautical

腹腔镜全子宫切除联合双侧输卵管切除对患者卵巢功能的影响

通过评估围术期指标、血清AMH和卵巢激素水平、绝经期症状、术后并发症观察腹腔镜全子宫切除术中切除和保留双侧输卵管对子宫疾病患者卵巢功能的影响。方法 选择2021年5月至2022年5月子宫良性疾病实施腹腔镜全子宫切除患者80例,根据手术方式分为对照组(保留输卵管),和观察组(切除输卵管)各40例。对照组术中保留输卵管。观察组术中完整切除输卵管,随访1年,比较治疗效果及并发症。结果 治疗后两组围术期指标无差异;两组AMH、E2激素水平3个月、6个月显著降低(P<0.05);术后并发症低于对照组(P<0.05)。结论 全子宫切除术中切除输卵管对围术期指标恢复情况无影响,可降低患者血清AMH水平,短期内卵巢功能衰减发生率低,有效降低术后盆腔并发症发生率。

大口黑鲈amh基因全长cDNA克隆、表达及多克隆抗体制备

为研究大口黑鲈(Micropterus salmoides)抗缪勒氏管激素(amh)基因的表达及其在性腺发育中的潜在作用,研究利用RACE技术克隆得到了大口黑鲈amh基因,并制备Amh多克隆抗体,通过qRT-PCR、Western Blot分析Amh在大口黑鲈不同组织和不同发育阶段性腺中的表达模式,最后利用HE染色法和免疫组化观察不同发育阶段性腺的形态组织学变化及其与Amh表达的潜在关系。结果显示:大口黑鲈amh基因cDNA序列全长2050 bp,由24 bp5′非编码区、394 bp3′非编码区和1632 bp的开放阅读框组成,共编码543个氨基酸。amh基因mRNA在大口黑鲈11个组织中均有表达,其中雄鱼精巢中表达量最高,肌肉次之,雌鱼卵巢中表达量最高,肌肉次之。amh基因在雌雄鱼不同发育阶段的性腺中表达存在显著差异,精巢中表达量均显著高于卵巢(P<0.05)。同时,Western Blot结果显示Amh蛋白在精巢中表达丰度较高。amh基因在精巢中的表达量呈先上升后下降的趋势,且在孵化后65d鱼精巢中其表达量达到最高(P<0.05),免疫组化结果显示Amh表达于早期精巢的支持细胞;孵化后135d和215d雄鱼精巢中其表达量明显下降,HE染色显示雄鱼精巢处于精子细胞生成和精子形变期,Amh主要表达于支持细胞中,精子占据精巢的绝大部分空间,支持细胞所占面积比例减少。amh基因在孵化后45d、65d和135d雌鱼卵巢中表达量较低,孵化后215d表达量上升,并且在卵母细胞的细胞膜边缘及外周的滤泡细胞和颗粒细胞检测到了Amh阳性信号。研究结果表明:在精巢中,Amh可能参与早期精巢发育;在卵巢中,其可能参与颗粒细胞和滤泡细胞发育。综上所述,Amh在大口黑鲈性腺发育中发挥着关键的调控作用。

红耳龟Amh基因在温度依赖型性别决定中的功能

为研究Amh基因在TSD(Temperature-dependent sex determination,温度依赖型性别决定)中的功能,文章以红耳龟Trachemys scripta为TSD动物模型,分析了Amh在胚胎性腺中的精细表达特征和细胞定位;通过基因功能缺失和获得研究手段,验证了Amh在TSD中的具体功能。表达分析结果显示,Amh基因在性腺分化启动前的第15期便已呈现产雄温度(Male-producing temperature,MPT)性腺高表达;AMH蛋白主要定位在MPT性腺sertoli前体细胞上,而在各个发育时期的FPT(Female-producing temperature,产雌温度)性腺中仅检测到极其微弱的Amh mRNA和蛋白表达信号。RNA干扰实验显示,敲低Amh后的MPT性腺出现了雄性向雌性完全性逆转,雄性分化因子Sox9明显下调,雌性分化因子Foxl2和Cyp19a1显著上调;相反地,异位表达Amh后的FPT性腺则转向睾丸方向分化,Foxl2和Cyp19a1表达被抑制,Sox9表达上升。上述研究表明,Amh是启动红耳龟早期睾丸分化必需且充分的关键因子,处于TSD雄性分化分子通路上游。

全子宫切除联合双侧输卵管切除术对患者血清AMH及卵巢功能的影响

目的观察全子宫切除术与双侧输卵管切除术联合治疗对患者血清AMH水平、卵巢功能的影响。方法将100例行全子宫切除术治疗的子宫良性疾病患者分为常规组(术中双侧输卵管保留者,n=61)和研究组(术中双侧输卵管切除者,n=39)。结果两组手术时间、手术失血量、术后肛门初次排气时间、住院时间比较无差异(P>0.05);术后,两组4、12周血清AMH水平及雌二醇水平显著降低,黄体生成素以及卵泡刺激素水平升高(P<0.05),但组间无差异(P>0.05);术后,两组Kupperman评分明显高于术前(P<0.05),但组间无差异(P>0.05);研究组术后并发症明显少于常规组(P<0.05)。结论子宫良性疾病患者实施全子宫切除术治疗方案,将会显著降低其血清AMH水平,减弱其卵巢功能,可有效避免相关并发症的发生。