300mm晶圆制造厂AMHS系统工程设计及仿真

集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集型产业,包括几十种生产流程,每道流程之间都需要进行物料流转,在这种情况下,物料流转的精确性和稳定性就极为重要。自动物料搬运系统(AMHS,Automated Material Handling System)应运而生,其是半导体制造实现自动化的重要一环。本文结合某300mm晶圆制造厂的实际情况,基于仿真模型理论,对工厂的AMHS系统进行了建模,并搭建三维仿真模型,分析研究其工程设计、轨道布局设计,提出了符合实际工程情况的评价模型的指标,提高了实际工程问题中AMHS的搬运效率。

ATN/AMHS系统在民航华东地区应用展望与实现

近年来,全球民航新航行系统的发展方兴未艾,欧美一些国家已经在相关的新理念、行业标准和实际应用中走在了前面,而我国在相关领域却刚刚起步.

应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级

鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低。关于安装和工艺判定随项目的结果评述。