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日电ANELVA公司介绍
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《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期280-280,共1页
日电ANELVA公司的社名是由分析(ANALYSIS)、电子(ELECTRONICS)、真空(VACUUM)这三个独立的词意所组成,它标志着ANELVA公司不断开拓尖端领域的含义。日电ANELVA公司作为半导俸制造厂商,以超高真空为基础。
关键词 尖端领域 真空技术 anelva 制造厂商 词意 蒸发装置 干法刻蚀 制膜技术 制造工厂 半导体生产
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