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日电ANELVA公司介绍
1
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989年第4期280-280,共1页
日电ANELVA公司的社名是由分析(ANALYSIS)、电子(ELECTRONICS)、真空(VACUUM)这三个独立的词意所组成,它标志着ANELVA公司不断开拓尖端领域的含义。日电ANELVA公司作为半导俸制造厂商,以超高真空为基础。
关键词
尖端领域
真空技术
anelva
制造厂商
词意
蒸发装置
干法刻蚀
制膜技术
制造工厂
半导体生产
下载PDF
职称材料
题名
日电ANELVA公司介绍
1
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989年第4期280-280,共1页
文摘
日电ANELVA公司的社名是由分析(ANALYSIS)、电子(ELECTRONICS)、真空(VACUUM)这三个独立的词意所组成,它标志着ANELVA公司不断开拓尖端领域的含义。日电ANELVA公司作为半导俸制造厂商,以超高真空为基础。
关键词
尖端领域
真空技术
anelva
制造厂商
词意
蒸发装置
干法刻蚀
制膜技术
制造工厂
半导体生产
分类号
TB7-55 [一般工业技术—真空技术]
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作者
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发文年
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1
日电ANELVA公司介绍
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989
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