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Soitec与ASM制造成功300mm直径应变绝缘硅晶圆
1
《集成电路应用》 2005年第1期61-61,共1页
Soitec SA公司日前宣布，已与ASM国际制造出300mm直径的应变绝缘硅(sSOI）晶圆。两家公司还宣布拓展双方的合作关系，进一步提升制造效率并开发sSOI产品．sSOI品圆应变值为1．5gigapascal(GPa)，晶圆同质度为±7％，创记录的应变对... Soitec SA公司日前宣布，已与ASM国际制造出300mm直径的应变绝缘硅(sSOI）晶圆。两家公司还宣布拓展双方的合作关系，进一步提升制造效率并开发sSOI产品．sSOI品圆应变值为1．5gigapascal(GPa)，晶圆同质度为±7％，创记录的应变对应的硅品格变形度为近1％。应变硅层厚度为200埃， 展开更多
关键词 SOITEC SA公司 asm公司 应变绝缘硅晶圆 性能
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安装技术在香港的发展
2
作者 童枫 《电子电路与贴装》 2002年第6期64-66,79,共4页
关键词 安装技术 香港 电子产品 香港科技大学 asm公司 金柏科技公司
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