尺寸参数对AT切石英晶体谐振器影响的三维有限元仿真

本文以4 MHz圆形AT切晶体谐振器为例,通过ANSYS软件建立了三维有限元模型,分别完成了对该晶体谐振器的石英晶片的直径、石英晶片的厚度和电极的直径的仿真,研究这些尺寸参数对于谐振器厚度剪切振动模态和频率造成的影响,对于圆形AT切晶体谐振器的设计制造起到了一定的指导作用。