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热处理对ATO/Ag/ATO/Cr薄膜电极结构和电性能的影响
被引量:
1
1
作者
翁卫祥
马靖
+1 位作者
许灿华
吕佩伟
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018年第11期45-48,共4页
利用磁控溅射和湿法刻蚀技术在玻璃基底上制备ATO/Ag/ATO/Cr复合薄膜及其电极,研究不同热处理温度对薄膜电极结构、表面形貌以及电学性能的影响。由于ATO (Sb掺杂SnO2)和Cr的共同保护作用,不仅有效阻挡氧气向电极表面扩散造成Ag的氧化,...
利用磁控溅射和湿法刻蚀技术在玻璃基底上制备ATO/Ag/ATO/Cr复合薄膜及其电极,研究不同热处理温度对薄膜电极结构、表面形貌以及电学性能的影响。由于ATO (Sb掺杂SnO2)和Cr的共同保护作用,不仅有效阻挡氧气向电极表面扩散造成Ag的氧化,同时抑制Ag薄膜在高温下的表面凝聚现象,使得薄膜电极在550℃空气退火后,仍然具有较低的电阻率,为23 nΩ·m,且经过600℃的高温处理后依然具有较好的导电性能。因此,选择一定厚度的ATO作为Ag的保护层能显著提高Ag基薄膜电极在热处理过程中的抗氧化性。单项试验结果表明,此厚度30~60 nm为宜。
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关键词
ato/
ag/
ato/
cr
薄膜电极
表面形貌
抗氧化性
电学性能
下载PDF
职称材料
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr新型银基复合薄膜电极的防氧化性能研究
被引量:
3
2
作者
翁卫祥
贾贞
+2 位作者
于光龙
李昱
郭太良
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期381-385,共5页
采用直流磁控溅射技术和光刻工艺制备了Cr/Cu/Ag/Cu/Cr复合薄膜及其电极,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响。Ag层与最外层的Cr层之间的Cu层不仅增强了Cr和Ag之间的粘附力,而且起到了牺牲层和氧气阻挡层...
采用直流磁控溅射技术和光刻工艺制备了Cr/Cu/Ag/Cu/Cr复合薄膜及其电极,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响。Ag层与最外层的Cr层之间的Cu层不仅增强了Cr和Ag之间的粘附力,而且起到了牺牲层和氧气阻挡层的作用;Cr和Cu对Ag的双重保护使得薄膜电极在温度小于500℃时电阻率保持较为稳定,约为3.0×10-84.2×10-8Ω·m之间。然而由于电极表面氧化和边沿氧化的共同作用,薄膜电极的电阻率在热处理温度超过575℃出现了显著的上升。尽管如此,Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜电极仍然是一种能够承受高温热处理并且保持较低电阻率的新型电极,满足场发射平板显示器封接过程中的热处理要求。
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关键词
cr
/Cu
/ag
/Cu
/cr
薄膜
薄膜电极
表面形貌
防氧化性能
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职称材料
题名
热处理对ATO/Ag/ATO/Cr薄膜电极结构和电性能的影响
被引量:
1
1
作者
翁卫祥
马靖
许灿华
吕佩伟
机构
福州大学物理与信息工程学院
出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018年第11期45-48,共4页
基金
福建省教育厅中青年教师教育科研项目(JAT160089)
文摘
利用磁控溅射和湿法刻蚀技术在玻璃基底上制备ATO/Ag/ATO/Cr复合薄膜及其电极,研究不同热处理温度对薄膜电极结构、表面形貌以及电学性能的影响。由于ATO (Sb掺杂SnO2)和Cr的共同保护作用,不仅有效阻挡氧气向电极表面扩散造成Ag的氧化,同时抑制Ag薄膜在高温下的表面凝聚现象,使得薄膜电极在550℃空气退火后,仍然具有较低的电阻率,为23 nΩ·m,且经过600℃的高温处理后依然具有较好的导电性能。因此,选择一定厚度的ATO作为Ag的保护层能显著提高Ag基薄膜电极在热处理过程中的抗氧化性。单项试验结果表明,此厚度30~60 nm为宜。
关键词
ato/
ag/
ato/
cr
薄膜电极
表面形貌
抗氧化性
电学性能
Keywords
ato/ag/ato/cr thin film electrode
surface morphology
anti-oxidation
electrical property
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr新型银基复合薄膜电极的防氧化性能研究
被引量:
3
2
作者
翁卫祥
贾贞
于光龙
李昱
郭太良
机构
福州大学物理与信息工程学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期381-385,共5页
基金
福州大学博士基金(No.826768)
国家"863"计划重大专项(2008AA03A313)
福建省重大科技专项(2004HZ01-2)
文摘
采用直流磁控溅射技术和光刻工艺制备了Cr/Cu/Ag/Cu/Cr复合薄膜及其电极,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响。Ag层与最外层的Cr层之间的Cu层不仅增强了Cr和Ag之间的粘附力,而且起到了牺牲层和氧气阻挡层的作用;Cr和Cu对Ag的双重保护使得薄膜电极在温度小于500℃时电阻率保持较为稳定,约为3.0×10-84.2×10-8Ω·m之间。然而由于电极表面氧化和边沿氧化的共同作用,薄膜电极的电阻率在热处理温度超过575℃出现了显著的上升。尽管如此,Cr/Cu/Ag/Cu/Cr薄膜电极仍然是一种能够承受高温热处理并且保持较低电阻率的新型电极,满足场发射平板显示器封接过程中的热处理要求。
关键词
cr
/Cu
/ag
/Cu
/cr
薄膜
薄膜电极
表面形貌
防氧化性能
Keywords
cr
/Cu
/ag
/Cu
/cr
thin
film
; Thin
film
electrode
; Mi
cr
ostructure; Oxidation resistant;
分类号
TN104.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热处理对ATO/Ag/ATO/Cr薄膜电极结构和电性能的影响
翁卫祥
马靖
许灿华
吕佩伟
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018
1
下载PDF
职称材料
2
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr新型银基复合薄膜电极的防氧化性能研究
翁卫祥
贾贞
于光龙
李昱
郭太良
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引证文献
统计分析
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