微桥式传感器在微小气体流量测量中的应用

介绍一种新型气体流量传感器——AWM系列微桥式气流质量传感器在微小气体流量测量中的应用。简介其原理和在尘埃粒子计数器中的应用,并与浮子式流量计相比较,它可使尘埃粒子计数器体积减小、操作简便、检测精度提高。

微小气体流量检测技术的研究

系统地介绍了用热式流量传感器测量微气体流量的方法,并在此基础上提出了微气体流量检测仪器的设计方案,同时阐述了微气体流量检测的基本概念、检测方法以及热式质量流量的测量原理。设计的检测仪器方案主要以AWM3100为核心组成,相关的电路设计包括A/D转换电路,信号选通电路,复位电路,按键电路以及以AT89C52为核心的采集控制电路,最后为该检测仪器设计了软件流程图。