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AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用
被引量:
1
1
作者
郭占社
吴一辉
孟永钢
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期1062-1065,共4页
为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作...
为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。
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关键词
机械制造工艺
az4903
电磁型平面微电机
绕组线圈
原文传递
题名
AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用
被引量:
1
1
作者
郭占社
吴一辉
孟永钢
机构
清华大学精密仪器与机械学系
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期1062-1065,共4页
文摘
为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。
关键词
机械制造工艺
az4903
电磁型平面微电机
绕组线圈
Keywords
mechanical machining process
az4903
electromagnetic planar micromotor
windings
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用
郭占社
吴一辉
孟永钢
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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