电容式硅微加速度传感器的研究

本文分析了新型电容式加速度传感器，评价了其非线性；提出了将静电激振法用于该传感器的可能性，并给出了在静电力作用下可动系统（悬臂梁）弯曲的分析方法及临界电压的确定方法。