退火温度对Ag-MgF_2颗粒膜结构和内应力的影响

报道用电子薄膜应力分布测试仪测量退火温度对Ag -MgF2 复合颗粒薄膜内应力的影响 ,结果表明 ,退火温度在 40 0℃ ,薄膜平均应力最小 ,应力分布比较均匀。XRD分析表明 ,Ag -MgF2 复合颗粒薄膜的内应力主要来自Ag晶粒的生长过程 ,当Ag的晶格常数接近块体时 (40 0℃温度退火 6 0分钟 ) ,Ag-MgF2 薄膜内应力最小。