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等离子清洗多层陶瓷外壳的研究 被引量:3
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作者 唐娟 程凯 +2 位作者 钟明全 张韧 施德全 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期98-100,共3页
选用O2作为清洗气体,采用等离子清洗法替代有机溶剂清洗法清洗多层陶瓷外壳,以去除表面的颗粒及有机污染物,研究了清洗过程中功率和时间对Ag72Cu28焊料的影响。结果表明:选用O2作为清洗气体的等离子清洗对Ag72Cu28焊料的影响显著;最佳... 选用O2作为清洗气体,采用等离子清洗法替代有机溶剂清洗法清洗多层陶瓷外壳,以去除表面的颗粒及有机污染物,研究了清洗过程中功率和时间对Ag72Cu28焊料的影响。结果表明:选用O2作为清洗气体的等离子清洗对Ag72Cu28焊料的影响显著;最佳工艺条件为功率110 W、处理时间200s。采用最佳工艺对样品进行等离子清洗后再电镀,镀层与基体的结合良好。 展开更多
关键词 等离子清洗 多层陶瓷外壳 ag72cu28焊料 镀层质量 结合力
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