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溅射银超细微晶膜分析
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作者 刘存业 李建 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期1768-1773,共6页
采用真空溅射沉积技术在硅单晶Ｓｉ（１１１）面上制备厚度约为１８ｎｍ的银超细微晶膜（ＡｇＵＦＣＰ）．用掠入射Ｘ射线散射技术分析了ＡｇＵＦＣＰ的结构和膜与衬底Ａｇ／Ｓｉ（１１１）界面形态．用广角Ｘ射线衍射和径向分布函数探... 采用真空溅射沉积技术在硅单晶Ｓｉ（１１１）面上制备厚度约为１８ｎｍ的银超细微晶膜（ＡｇＵＦＣＰ）．用掠入射Ｘ射线散射技术分析了ＡｇＵＦＣＰ的结构和膜与衬底Ａｇ／Ｓｉ（１１１）界面形态．用广角Ｘ射线衍射和径向分布函数探索了ＡｇＵＦＣＰ的半晶态结构特征．用差热扫描量热法检测分析了银超细微晶粒子的表面原子结构，揭示了超细微晶粒子表面生长的热动力学机理对表面壳层结构的温度依赖性． 展开更多
关键词 银 溅射 超细微晶 薄膜 硅单晶 agufcp
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