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一种新型STM纳米计量仪
1
作者
李艳宁
饶志军
+4 位作者
唐洁
宋晓辉
胡晓东
付星
胡小唐
《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第12期1069-1072,共4页
阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫...
阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差.
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关键词
扫描隧道显微镜
ahbe误差
柔性铰链
激光干涉仪
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职称材料
题名
一种新型STM纳米计量仪
1
作者
李艳宁
饶志军
唐洁
宋晓辉
胡晓东
付星
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第12期1069-1072,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50305025)
天津市自然科学基金项目(F204008).
文摘
阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差.
关键词
扫描隧道显微镜
ahbe误差
柔性铰链
激光干涉仪
Keywords
scanning tunneling microscope (STM)
Abbe error
flexible hinge
laser interferometers
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型STM纳米计量仪
李艳宁
饶志军
唐洁
宋晓辉
胡晓东
付星
胡小唐
《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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职称材料
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